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本发明提供一种提高原料气化系统的浓度控制的响应性且用于原料气化系统(100)的浓度控制模块(6)，其具备：浓度检测部(61)，其检测原料气体的浓度；阀(62)，其设置在将原料气体从罐(2)导出的导出管(4)；压力目标值计算部(63a)，其使...
该专利属于株式会社堀场STEC所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社堀场STEC授权不得商用。

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