硅棒加工设备及硅棒加工方法技术

技术编号:32506075 阅读:104 留言:0更新日期:2022-03-02 10:19
本申请公开一种硅棒加工设备及硅棒加工方法,其中,所述硅棒加工设备上设有第一加工区位及第二加工区位,即可在两个加工区位上同时进行硅棒加工作业,硅棒加工效率由此提高;同时,所述硅棒加工设备的切割装置可藉由第一转换机构在不同加工区位间切换,研磨装置可藉由第二转换机构在不同加工区位件切换,令硅棒夹具带动所夹持的硅棒沿硅棒轴线方向移动,在任一加工区位即可实现开方切割及研磨作业,硅棒在不同工序间的转运路径被化简;如此,本申请的硅棒加工设备在实现提高加工效率的同时简化了硅棒在不同工序间加工的转运路径,减少了工序流转的人力损耗、时间损耗及硅棒被损坏的风险。的风险。的风险。

【技术实现步骤摘要】
硅棒加工设备及硅棒加工方法


[0001]本申请涉及硅工件加工
,特别是涉及一种硅棒加工设备及硅棒加工方法。

技术介绍

[0002]目前,随着社会对绿色可再生能源利用的重视和开放,光伏太阳能发电领域越来越得到 重视和发展。光伏发电领域中,通常的晶体硅太阳能电池是在高质量硅片上制成的,这种硅 片从提拉或浇铸的硅锭后通过多线锯切割及后续加工而成。
[0003]现有硅片的制作流程,以单晶硅产品为例,一般地,大致的作业工序可包括:先使用硅 棒截断机对原初的长硅棒进行截断作业以形成多段短硅棒;截断完成后,又使用硅棒开方机 对截断后的短硅棒进行开方作业后形成单晶硅棒;再对各个单晶硅棒进行磨面、倒角等加工 作业,使得单晶硅棒的表面整形达到相应的平整度及尺寸公差要求;后续再使用切片机对单 晶硅棒进行切片作业,则得到单晶硅片。
[0004]不过,在一般情形下,在相关技术中,每个工序作业(例如切割开方、磨面、倒角等)所 需的作业是独立布置,相应的加工装置分散在不同的生产单位或生产车间或生产车间的不同 生产区域,执行不同工序作业的工件的转换需要进行搬运调配,且在执行每一工序作业之前 可能都需要进行预处理工作,这样,工序繁杂,效率低下,且易影响硅棒加工作业的品质, 需更多的人力或转运设备,安全隐患大,另外,各个工序的作业设备之间的流动环节多,在 工件转移过程中提高了工件损伤的风险,易产生非生产因素造成的不合格,降低了产品的合 格率及现有的加工方式所带来的不合理损耗,是各个公司面临的重大改善课题。

技术实现思路
r/>[0005]鉴于以上所述相关技术的缺点,本申请的目的在于提供一种硅棒加工设备及硅棒加工方 法,以解决现有技术中存在的硅棒加工中工序繁杂及效率低下的问题。
[0006]为实现上述目的及其他相关目的,本申请在第一方面公开了一种硅棒加工设备,包括: 机座,具有硅棒加工平台,所述硅棒加工平台设有第一加工区位与第二加工区位;至少一第 一硅棒夹具,设于所述第一加工平台,用于夹持硅棒并带动所夹持的硅棒沿第一方向移动; 其中,所述第一方向平行于硅棒轴线方向;至少一第二硅棒夹具,设于所述第二加工平台, 用于夹持硅棒并带动所夹持的硅棒沿第一方向移动;切割装置,设于第一转换机构,用于对 所述硅棒加工平台的第一加工区位或第二加工区位上的硅棒进行切割,以形成切割后硅棒; 其中,所述第一转换机构驱动切割装置在第一加工区位和第二加工区位之间转换位置;其中, 所述第一转换机构设于硅棒加工平台上的第一安装位置;研磨装置,设于第二转换机构,用 于对所述硅棒加工平台的第一加工区位或第二加工区位上的切割后硅棒进行研磨;其中,所 述第二转换机构驱动研磨装置在第一加工区位和第二加工区位之间转换位置;其中,所述第 二转换机构设于硅棒加工平台上的第二安装位置。
[0007]本申请在第二方面还公开了一种硅棒加工方法,应用于硅棒加工设备中,所述硅棒加工 设备包括具有硅棒加工平台的机座、切割装置、研磨装置、第一硅棒夹具及第二硅棒夹具, 其中,所述切割装置设于第一转换机构,所述研磨装置设于第二转换机构,所述第一硅棒夹 具及第二硅棒夹具分别对应设于硅棒加工平台的第一加工区位及第二加工区位,包括以下步 骤:令切割装置位于第一加工区位及研磨装置位于第二加工区位;令第一加工区位上的第一 硅棒夹具装载第一待切割硅棒;令第一硅棒夹具夹持第一待切割硅棒沿第一方向移动以令切 割装置相对第一待切割硅棒进给切割,获得截面为类矩形的第一切割后硅棒;其中,所述第 一方向平行于硅棒轴线方向;令第一转换机构驱动切割装置从第一加工区位转换至第二加工 区位,以及令第二转换机构驱动研磨装置从第二加工区位转换至第一加工区位;令第一硅棒 夹具夹持第一切割后硅棒沿第一方向移动以配合研磨装置对所述第一切割后硅棒进行研磨, 获得第一研磨后硅棒;以及令第二硅棒夹具装载第二待切割硅棒并夹持第二待切割硅棒沿第 一方向移动以令切割装置相对第二待切割硅棒进给切割,获得截面为类矩形的第二切割后硅 棒;对第一硅棒夹具所夹持的第一研磨后硅棒予以卸料并装载第三待切割硅棒;令第一转换 机构驱动切割装置从第二加工区位转换至第一加工区位,以及令第二转换机构驱动研磨装置 从第一加工区位转换至第二加工区位;令第一加工区位的切割装置对第三待切割硅棒进行切 割以获得第三切割后硅棒,以及令第二加工区位的研磨装置对第二切割后硅棒进行研磨以获 得第二研磨后硅棒。
[0008]综上所述,本申请的硅棒加工设备及硅棒加工方法具有如下有益效果:所述硅棒加工设 备上设有第一加工区位及第二加工区位,即可在两个加工区位上同时进行硅棒加工作业,硅 棒加工效率由此提高;同时,通过所述第一转换机构与第二转换机构分别驱动切割装置与研 磨装置转换其所处的加工区位,令硅棒夹具带动所夹持的硅棒沿硅棒轴线方向移动,在任一 加工区位即可实现开方切割及研磨作业,硅棒在不同工序间的转运路径被化简;如此,本申 请的硅棒加工设备在实现提高加工效率的同时简化了硅棒在不同工序间加工的转运路径,减 少了工序流转的人力损耗、时间损耗及硅棒被损坏的风险。
附图说明
[0009]本申请所涉及的专利技术的具体特征如所附权利要求书所显示。通过参考下文中详细描述的 示例性实施方式和附图能够更好地理解本申请所涉及专利技术的特点和优势。对附图简要说明书 如下:
[0010]图1显示为本申请的硅棒加工设备在一实施例中的结构示意图。
[0011]图2显示为本申请的硅棒加工设备在一实施例中的第一转换机构示意图。
[0012]图3显示为本申请的硅棒加工设备在一实施例中的第二转换机构示意图。
[0013]图4显示为本申请的硅棒加工设备的切割装置在一实施例中的结构示意图。
[0014]图5显示为本申请的硅棒加工设备的切割装置在一实施例中的结构示意图。
[0015]图6显示为图5中A处的放大示意图。
[0016]图7显示为本申请的硅棒加工设备在一实施例中的部分结构示意图。
[0017]图8a、图8b显示为本申请的硅棒加工设备的硅棒夹具在一实施例中不同视图方向的结 构示意图。
[0018]图9显示为图8a中的硅棒夹具的部分结构示意图。
[0019]图10显示为本申请的硅棒加工设备在一实施例中的部分结构示意图。
[0020]图11显示为本申请的硅棒加工设备在一实施例中的边皮承托机构的结构示意图。
[0021]图12显示为本申请的硅棒加工设备的部分结构在一实施例中的结构示意图。
[0022]图13显示为图8b中B处的放大示意图。
[0023]图14显示为本申请的硅棒加工设备在一实施例中的硅棒截断装置的结构示意图。
[0024]图15a、图15b显示为本申请的硅棒加工设备的上料装置在一实施例中不同视图方向的 结构示意图。图16显示为本申请的硅棒加工设备的上料装置在一实施例中的部分结构示意图。
具体实施方式
[0025]以下由特定的具体实施例说明本申请的实施方式,熟悉此技术的人士可由本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒加工设备,其特征在于,包括:机座,具有硅棒加工平台,所述硅棒加工平台设有第一加工区位与第二加工区位;至少一第一硅棒夹具,设于所述第一加工平台,用于夹持硅棒并带动所夹持的硅棒沿第一方向移动;其中,所述第一方向平行于硅棒轴线方向;至少一第二硅棒夹具,设于所述第二加工平台,用于夹持硅棒并带动所夹持的硅棒沿第一方向移动;切割装置,设于第一转换机构,用于对所述硅棒加工平台的第一加工区位或第二加工区位上的硅棒进行切割,以形成切割后硅棒;其中,所述第一转换机构设于硅棒加工平台上的第一安装位置,驱动切割装置在第一加工区位和第二加工区位之间转换位置;研磨装置,设于第二转换机构,用于对所述硅棒加工平台的第一加工区位或第二加工区位上的切割后硅棒进行研磨;其中,所述第二转换机构设于硅棒加工平台上的第二安装位置,驱动研磨装置在第一加工区位和第二加工区位之间转换位置。2.根据权利要求1所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述第一转换机构包括第一转轴,所述切割装置沿第一转轴转动预设角度以在第一加工区位与第二加工区位之间转换位置;所述第二转换机构包括第二转轴,所述研磨装置沿第二转轴转动预设角度以在第一加工区位与第二加工区位之间转换位置。3.根据权利要求2所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述第一转轴设于第一方向,所述第二转轴设于重垂线方向;所述第一加工区位与第二加工区位设于第二方向的相对两侧,其中,所述第一方向、第二方向、以及重垂线方向两两垂直。4.根据权利要求2所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述第二转换机构还包括用于驱动所述研磨装置转动的转动驱动机构,所述转动驱动机构包括:主动齿轮,轴接于动力驱动源;从动齿轮,啮合于所述主动齿轮且连接于所述第二转轴。5.根据权利要求2所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述第一转换机构包括:支架,用于设置所述切割装置;转动驱动源,用于驱动所述切割装置相对支架沿第一转轴转动,以在第一加工区位与第二加工区位之间转换位置。6.根据权利要求1所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述切割装置包括:切割架;至少一线切割单元,设于所述切割架,所述线切割单元包括:多个切割轮、过渡轮、及切割线,所述切割线绕于所述多个切割轮及过渡轮以形成至少一切割线锯。7.根据权利要求6所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述线切割单元包括:切割线;第一切割轮及第二切割轮,设于所述切割架,切割线绕于所述第一切割轮及第二切割轮以形成切割线锯;其中,所述第一切割轮的轮面与第二切割轮的轮面相平行或共面;第一过渡轮,邻设于所述第一切割轮,在牵引切割线的状态下令第一切割轮与第一过渡轮的切割线位于第一切割轮中用于缠绕切割线的第一切割线槽所在平面内;第二过渡轮,邻设于所述第二切割轮,在牵引切割线的状态下令第二切割轮与第二过渡轮的切割线位于第二切割轮中用于缠绕切割线的第二切割线槽所在平面内;
至少一第三过渡轮,设于所述第一过渡轮及第二过渡轮之间,用于牵引所述第一过渡轮与所述第二过渡轮之间的切割线,以令所述线切割单元中形成一切割容纳空间,所述切割容纳空间可容纳所述待切割硅棒且所述切割装置中仅有所述切割线锯与所述切割容纳空间相交。8.根据权利要求7所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述第一过渡轮、第二过渡轮、及至少一第三过渡轮用于将所述切割线牵引远离所述切割容纳空间。9.根据权利要求7所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述切割线绕于所述第一切割轮、第二切割轮、第一过渡轮、第二过渡轮及第三过渡轮之间以形成首尾相接的闭环切割线。10.根据权利要求7所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述线切割单元中包括两个第三过渡轮,其中,所述切割线顺次缠绕于所述第一切割轮、第二切割轮、第二过渡轮、一第三过渡轮、另一第三过渡轮、第一过渡轮、第一切割轮以形成首尾相接的闭环切割线。11.根据权利要求7所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述切割装置还包括切割线驱动装置,用于驱动所述切割线运行以对硅棒进行切割。12.根据权利要求11所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述切割线驱动装置为电机,具有动力输出轴且所述动力输出轴轴连接于所述第一切割轮或第二切割轮。13.根据权利要求6所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述线切割装置还包括:至少一调距机构,设于所述至少一线切割单元,用于驱动所述线切割单元中多个切割轮沿垂直于切割轮轮面的方向移动,其中,所述切割轮轮面设于水平面方向或平行于第一方向的竖直面方向。14.根据权利要求13所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述切割装置包括单线切割单元,所述调距机构包括:丝杆,沿切割轮轮面的正交方向设置且与所述单线切割单元螺纹连接;驱动源,用于驱动所述丝杆转动。15.根据权利要求13所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述切割装置包括单线切割单元,所述调距机构包括:伸缩件,沿切割轮轮面的正交方向设置且与所述单线切割单元关联;驱动源,用于驱动所述伸缩件沿切割轮轮面的正交方向伸缩运动。16.根据权利要求13所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述切割装置包括平行且相对设置第一线切割单元和第二线切割单元,所述第一线切割单元和第二线切割单元中的至少一者通过所述调距机构驱动沿切割轮轮面的正交方向移动。17.根据权利要求16所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述调距机构包括:丝杆,沿切割轮轮面的正交方向设置且与所述第一线切割单元或第二线切割单元螺纹连接;驱动源,用于驱动所述丝杆转动。18.根据权利要求16所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述调距机构包括:伸缩件,沿切割轮轮面的正交方向设置且与所述第一线切割单元或第二线切割单元关联;驱动源,用于驱动所述伸缩件沿切割轮轮面的正交方向作伸缩运动。
19.根据权利要求16所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述调距机构包括:双向丝杆,沿切割轮轮面的正交方向设置且与所述第一线切割单元和第二线切割单元螺纹连接;驱动源,用于驱动所述丝杆转动以使得所述第一线切割单元和所述第二线切割单元沿切割轮轮面的正交方向相向移动或相背移动。20.根据权利要求6所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述第一硅棒夹具通过第一导向结构设于所述第一加工区位,其中,所述第一导向结构为沿第一方向设置的转移导轨或导柱;所述第二硅棒夹具通过第二导向结构设于所述第二加工区位,其中,所述第二导向结构为沿第一方向的设置转移导轨或导柱。21.根据权利要求20所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述切割线锯沿第二方向,所述第一硅棒夹具与第二硅棒夹具中的任一者包括:夹臂安装座,设于所对应的转移导轨;动力源,用于驱动所述夹臂安装座沿所对应的转移导轨或导柱移动;一对夹持部,沿第一方向相对设置,用于夹持硅棒的两个端面;一对夹臂,设于水平面内,具有连接于所述夹臂安装座的近端以及连接于所述夹持部的远端;夹臂驱动机构,用于驱动一对夹臂中的至少一个沿第一方向移动以调节所述一对夹臂在第一方向的间距。22.根据权利要求21所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述第一硅棒夹具与第二硅棒夹具中的任一者还包括夹持部转动机构,用于驱动所述夹持部旋转。23.根据权利要求21所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述夹臂驱动机构包括:丝杆,沿第一方向设置且与所述一对夹臂中的任意一个关联;驱动源,用于驱动所关联的夹臂沿第一方向移动。24.根据权利要求21所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述夹臂驱动机构包括:双向丝杆,沿第一方向设置且在两端与所述一对夹臂螺纹连接;驱动源,用于驱动所述丝杆转动以使得所述一对夹臂沿第一方向相向移动或相背移动。25.根据权利要求20所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述至少一切割线锯沿重垂线方向设置,所述第一硅棒夹具与第二硅棒夹具中的任一者包括:夹臂安装座,设于所对应的转移导轨或导柱;动力源,用于驱动所述夹臂安装座沿所对应的转移导轨或导柱移动;一对夹持部,沿第一方向相对设置,用于夹持硅棒的两个端面;一对夹臂,设于垂直于第二方向的平面内,具有连接于所述夹臂安装座的近端以及连接于所述夹持部的远端;夹臂驱动机构,用于驱动一对夹臂中的至少一个沿第一方向移动以调节所述一对夹臂在第一方向的间距。26.根据权利要求25所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述第一硅棒夹具与第二硅棒夹具中的任一者还包括夹持部转动机构,用于驱动所述夹持部旋转。27.根据权利要求25所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述夹臂驱动机构包括:
丝杆,沿第一方向设置且与所述一对夹臂中的任意一个关联;驱动源,用于驱动所关联的夹臂沿第一方向移动。28.根据权利要求25所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述夹臂驱动机构包括:双向丝杆,沿第一方向设置且在两端与所述一对夹臂螺纹连接;驱动源,用于驱动所述丝杆转动以使得所述一对夹臂沿第一方向相向移动或相背移动。29.根据权利要求1所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述硅棒加工设备还包括边皮承托机构,用于抵靠硅棒外侧并承托切割形成的所述边皮。30.根据权利要求29所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述边皮承托机构包括:承托组件,包括:承托部,受控抵靠并承托所述边皮;气缸或液压泵,包括伸缩部,所述伸缩部连接于所述承托部以控制所述承托部远离或抵靠所述边皮;安装部,用于将所述承托组件连接于所述切割装置。31.根据权利要求30所述的硅棒加工设备,其特征在于,所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:苏静洪李鑫钱春军曹奇峰卢建伟
申请(专利权)人:天通日进精密技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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