检测装置、硅片放置状态的检测方法及片库管理系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检测装置、硅片放置状态的检测方法及片库管理系统，通过光照单元至少照亮所述片盒内侧壁，第一驱动单元驱动片盒作垂向运动，同时，图像检测单元获取在所述片盒作垂向运动过程中至少一个位置的所述片盒内硅片放置状态的图像，并通过所述图像判断所述片盒内硅片的放置状态。由此，即使有很强的光线照射，也不会产生不良影响，相反，由于光线照射能够使得成像质量更高，还能够进一步提高硅片检测的准确性和稳定性。进一步的，在本发明专利技术提供的检测装置、硅片放置状态的检测方法及片库管理系统中，只需要片盒作垂向运动这一个方向上的运动即可，相对于现有技术中两个方向上的运动，还能够简化设备，进一步提高检测的稳定性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
检测装置、硅片放置状态的检测方法及片库管理系统


[0001]本专利技术涉及集成电路制造
，特别涉及一种检测装置、硅片放置状态的检测方法及片库管理系统。

技术介绍

[0002]片库管理系统应用于光刻设备等众多半导体设备中，一般作为这些设备对外的物料接口，进行物料的预处理。其中，检测硅片在片盒中的状态是片库管理系统中重要的检测环节，其检测的准确性和稳定性直接影响后续的物料管理以及机械手能否成功取片。
[0003]硅片在片盒中的状态大致分为以下四类：无片、正常片、叠片和跨槽。目前，采用的检测方式为通过片库管理系统中的扫描轴和垂向轴共同作用，传送两个激光漫反射传感器进入片盒内，从而获取片盒内的硅片状态。但是，由于片盒是透明塑料材质，易反光，在没有硅片时，传感器也能接收到信号。此外传感器很容易受外界环境的干扰，例如当人走在片盒外侧，且位于传感器的光束方向位置时，会影响传感器的检测状态。如果更换为不透明片盒，传感器会出现采集的点数跳动过大，无法区分正常片和叠片的情况。
[0004]因此，需要一种新的片库管理系统、检测装置及检测方法来解决片盒内硅片状态检测不准确、不稳定的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种检测装置、硅片放置状态的检测方法及片库管理系统，以解决片盒内硅片状态检测不准确、不稳定的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种检测装置，用于检测片盒内硅片的放置状态，所述检测装置包括：光照单元、第一驱动单元和图像检测单元；所述光照单元和所述图像检测单元间隔设置，并靠近所述片盒外侧壁；所述第一驱动单元与所述片盒连接；其中，
[0007]所述光照单元用于向所述片盒内提供光照，以至少使所述片盒内侧壁被照亮；
[0008]所述第一驱动单元用于驱动所述片盒作垂向运动；
[0009]所述图像检测单元用于获取在所述片盒作垂向运动过程中至少一个位置的所述片盒内硅片放置状态的图像，并通过所述图像判断所述片盒内硅片的放置状态。
[0010]可选的，在所述的检测装置中，所述第一驱动单元包括电机和运动模组；所述运动模组连接所述片盒和所述电机，所述电机驱动所述运动模组运动，以使所述运动模组带动所述片盒进行垂向运动。
[0011]可选的，在所述的检测装置中，所述运动模组包括丝杠。
[0012]可选的，在所述的检测装置中，所述检测装置还包括第二驱动单元；所述光照单元设置于所述第二驱动单元上，所述第二驱动单元能够驱动所述光照单元沿设定轨迹运动。
[0013]可选的，在所述的检测装置中，所述第二驱动单元为滑台气缸；所述滑台气缸包括基台、设置于所述基台上的导轨以及能够沿着所述导轨滑动的滑块；所述光照单元设置于所述滑块上，所述滑块能够带动所述光照单元沿所述导轨运动。
[0014]可选的，在所述的检测装置中，所述光照单元为卤素灯、发光二极管或荧光灯。
[0015]可选的，在所述的检测装置中，所述图像检测单元包括面阵相机和设置于所述面阵相机上的镜头；其中，所述面阵相机单次获取的图像包括所述片盒内多个硅片放置状态的图像。
[0016]基于同一专利技术构思，本专利技术还提供一种硅片放置状态的检测方法，包括：
[0017]所述光照单元向所述片盒内提供光照；
[0018]第一驱动单元驱动所述片盒作垂向运动；
[0019]在所述片盒作垂向运动的过程中，图像检测单元获取至少一个位置的所述片盒的图像，并根据所述图像判断所述片盒内硅片的放置状态。
[0020]可选的，在所述的硅片放置状态的检测方法中，所述片盒内硅片的放置状态包括正常状态、无片状态、叠片状态以及跨槽状态。
[0021]可选的，在所述的硅片放置状态的检测方法中，所述硅片放置状态的检测方法还包括：所述图像检测单元分别获取硅片在片盒内呈正常状态、无片状态、叠片状态以及跨槽状态的标准图像，以形成所述标准图像的数据库。
[0022]可选的，在所述的硅片放置状态的检测方法中，所述图像检测单元通过将获取的所述图像与所述数据库中的所述标准图像对比，来判断所述片盒内硅片的放置状态。
[0023]可选的，在所述的硅片放置状态的检测方法中，所述图像检测单元将获取的所述图像以及所述数据库中的所述标准图像进行灰度化处理，并获取灰度分布值；通过对比所述图像灰度分布值与所述标准图像的灰度分布值，来判断所述片盒内硅片的放置状态。
[0024]基于同一专利技术构思，本专利技术还提供一种片库管理系统，所述片库管理系统包括片盒、片盒承载框架以及所述检测装置；其中，
[0025]所述片盒用于承载硅片；
[0026]所述片盒承载框架包括基座及设置于所述基座上的导轨，所述片盒能够沿所述导轨作垂向运动；
[0027]所述检测装置用于检测所述片盒内硅片的放置状态。
[0028]可选的，在所述的片库管理系统中，在所述片盒的内侧壁上，沿垂直方向依次设置有多个隔板，相邻两个所述隔板之间用于放置一个硅片。
[0029]综上所述，在本专利技术提供的检测装置、硅片放置状态的检测方法及片库管理系统中，所述光照单元至少使所述片盒内侧壁被照亮，第一驱动单元驱动片盒作垂向运动，同时，图像检测单元获取在所述片盒作垂向运动过程中至少一个位置的所述片盒内硅片放置状态的图像，并通过所述图像判断所述片盒内硅片的放置状态。由此，即使有很强的光线照射，也不会产生不良影响，相反，由于光线照射能够使得成像质量更高，还能够进一步提高硅片检测的准确性和稳定性。进一步的，在本专利技术提供的检测装置、硅片放置状态的检测方法及片库管理系统中，只需要片盒作垂向运动这一个方向上的运动即可，相对于现有技术中两个方向上的运动，还能够简化设备，进一步提高检测的稳定性。
附图说明
[0030]图1是本专利技术实施例的片盒内硅片为无片状态示意图；
[0031]图2是本专利技术实施例的片盒内硅片为正常片状态示意图；
[0032]图3是本专利技术实施例的片盒内硅片为叠片状态示意图；
[0033]图4是本专利技术实施例的片盒内硅片为跨槽状态示意图；
[0034]图5是本专利技术实施例的检测装置俯视图；
[0035]图6是本专利技术片库管理系统示意图；
[0036]其中，附图标记说明：
[0037]100-图像检测单元；101-面阵相机；102-镜头；200-第一驱动单元；201-电机；202-运动模组；300-片盒；301-硅片；302-隔板；400-光照单元；500-第二驱动单元；600-承载框架。
具体实施方式
[0038]以下结合附图和具体实施例对本专利技术提出的一种检测装置、硅片放置状态的检测方法及片库管理系统作进一步详细说明。根据下面说明，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，用于检测片盒内硅片的放置状态，其特征在于，所述检测装置包括：光照单元、第一驱动单元和图像检测单元；所述光照单元和所述图像检测单元间隔设置，并靠近所述片盒外侧壁；所述第一驱动单元与所述片盒连接；其中，所述光照单元用于向所述片盒内提供光照，以至少使所述片盒内侧壁被照亮；所述第一驱动单元用于驱动所述片盒作垂向运动；所述图像检测单元用于获取在所述片盒作垂向运动过程中至少一个位置的所述片盒内硅片放置状态的图像，并通过所述图像判断所述片盒内硅片的放置状态。2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一驱动单元包括电机和运动模组；所述运动模组连接所述片盒和所述电机，所述电机驱动所述运动模组运动，以使所述运动模组带动所述片盒进行垂向运动。3.如权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述运动模组包括丝杠。4.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括第二驱动单元；所述光照单元设置于所述第二驱动单元上，所述第二驱动单元能够驱动所述光照单元沿设定轨迹运动。5.如权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述第二驱动单元为滑台气缸；所述滑台气缸包括基台、设置于所述基台上的导轨以及能够沿着所述导轨滑动的滑块；所述光照单元设置于所述滑块上，所述滑块能够带动所述光照单元沿所述导轨运动。6.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述光照单元为卤素灯、发光二极管或荧光灯。7.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述图像检测单元包括面阵相机和设置于所述面阵相机上的镜头；其中，所述面阵相机单次获取的图像包括所述片盒内多个硅片放置状态的图像。8.一种硅片放置状态的检测方法，其特征在于，使用如权利要求1-7中任意...

【专利技术属性】
技术研发人员：王刚，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：