一种具有侧门的晶体炉制造技术

一种具有侧门的晶体炉，包括晶体炉本体及位于晶体炉本体一侧的侧门；晶体炉本体的形状为圆柱形，晶体炉本体的一侧沿弦向开设有侧向开口，晶体炉本体于侧向开口的周向外侧突出设置有连接框；侧门包括侧门本体及设置于侧门中部的凹腔部，凹腔部朝向晶体炉本体的一侧凹陷设置有弧形的凹腔；连接框及侧门的两侧均开设有若干连接槽；一锁定机构活动地位于连接槽中，并将侧门锁紧至连接框上。在晶体炉本体的一侧沿弦向开设有侧向开口，侧向开口处设置有侧门，侧门通过锁定机构锁紧，如此便于清理及清洗。清洗。清洗。

【技术实现步骤摘要】
一种具有侧门的晶体炉


[0001]本技术涉及单晶材料生产设备领域，特别是一种具有侧门的晶体炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器等将多晶硅等多晶材料熔化，然后用直拉法向上直拉生长出晶棒的设备。晶棒可用于制作无错位单晶材料。
[0003]中国专利CN212688230U揭示了一种单晶炉，其整体为圆柱形结构，其周向外侧壁上设置有开口，在完成晶棒制作后，在对单晶炉的内部进行清理及清洗时非常麻烦，容易有物料残留，无法清理完全。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提供了一种具有侧门、便于清理及清洗的具有侧门的晶体炉，以解决上述问题。
[0005]一种具有侧门的晶体炉，包括晶体炉本体及位于晶体炉本体一侧的侧门；晶体炉本体的形状为圆柱形，晶体炉本体的一侧沿弦向开设有侧向开口，晶体炉本体于侧向开口的周向外侧突出设置有连接框；侧门包括侧门本体及设置于侧门中部的凹腔部，凹腔部朝向晶体炉本体的一侧凹陷设置有弧形的凹腔；连接框及侧门的两侧均开设有若干连接槽；一锁定机构活动地位于连接槽中，并将侧门锁紧至连接框上。
[0006]进一步地，所述锁定机构包括设置于连接框的连接槽远离侧门的一侧的球头支撑座、一端转动地位于球头支撑座中的球头螺杆及与球头螺杆螺纹连接的锁紧螺母；球头螺杆具有一个转动地位于球头支撑座中的球头转动部及一个可活动地位于连接槽中的螺杆部。
[0007]进一步地，所述连接框及侧门的同一侧还通过若干合页转动连接。
[0008]进一步地，所述侧门远离晶体炉本体的侧面且远离合页的一侧设置有把手。
[0009]进一步地，所述侧门朝向晶体炉本体的一侧于凹腔的周向外侧设置有第一嵌槽，第一嵌槽内设置有第一密封圈。
[0010]进一步地，所述连接框朝向侧门的一侧于侧向开口的周向外侧设置有第二嵌槽，第二嵌槽内设置有第一密封圈。
[0011]进一步地，所述凹腔部的中部设置有透明的观察窗。
[0012]进一步地，所述晶体炉本体的底部还连接有若干支脚。
[0013]与现有技术相比，本技术的具有侧门的晶体炉包括晶体炉本体及位于晶体炉本体一侧的侧门；晶体炉本体的形状为圆柱形，晶体炉本体的一侧沿弦向开设有侧向开口，晶体炉本体于侧向开口的周向外侧突出设置有连接框；侧门包括侧门本体及设置于侧门中部的凹腔部，凹腔部朝向晶体炉本体的一侧凹陷设置有弧形的凹腔；连接框及侧门的两侧均开设有若干连接槽；一锁定机构活动地位于连接槽中，并将侧门锁紧至连接框上。在晶体
炉本体的一侧沿弦向开设有侧向开口，侧向开口处设置有侧门，侧门通过锁定机构锁紧，如此便于清理及清洗。
附图说明
[0014]以下结合附图描述本技术的实施例，其中：
[0015]图1为本技术提供的具有侧门的晶体炉的立体示意图。
[0016]图2为本技术提供的具有侧门的晶体炉中侧面展开的结构示意图。
[0017]图3为图2中的A部分的放大示意图。
[0018]图4为本技术提供的具有侧门的晶体炉的局部示意图。
[0019]图5为本技术提供的具有侧门的晶体炉的流体管道的示意图。
具体实施方式
[0020]以下基于附图对本技术的具体实施例进行进一步详细说明。应当理解的是，此处对本技术实施例的说明并不用于限定本技术的保护范围。
[0021]请参考图1至图5，本技术提供的具有侧门的晶体炉包括晶体炉本体 10、侧门20、进料管30及出料管40。
[0022]晶体炉本体10的形状大致为圆柱形，其一侧沿弦向开设有侧向开口。晶体炉本体10于侧向开口的周向外侧突出设置有连接框11；侧门20包括侧门本体 21及设置于侧门20中部的凹腔部22。侧门本体21与连接框11抵接，凹腔部 22朝向晶体炉本体10的一侧凹陷设置有弧形的凹腔。凹腔与晶体炉本体10的内腔组成圆腔，不会对晶体炉本体10内的物料的流动或移动造成影响。
[0023]晶体炉本体10的底部还连接有若干支脚12。
[0024]连接框11及侧门20的两侧沿厚度方向均开设有若干连接槽13，一锁定机构60部分地位于连接槽13中以将侧门20锁紧至连接框11上。
[0025]连接框11及侧门20的同一侧通过若干合页70转动连接。
[0026]锁定机构60包括设置于连接框11的连接槽13远离侧门20的一侧的球头支撑座61、一端转动地位于球头支撑座61中的球头螺杆13及与球头螺杆13螺纹连接的锁紧螺母63。锁紧螺母63与侧门本体21抵接。
[0027]球头螺杆13具有一个转动地位于球头支撑座61中的球头转动部及一个可活动地位于连接槽13中的螺杆部。
[0028]侧门20朝向晶体炉本体10的一侧于凹腔的周向外侧设置有第一嵌槽，连接框11朝向侧门20的一侧于侧向开口的周向外侧设置有第二嵌槽，第一嵌槽或第二嵌槽内设置有第一密封圈，锁定机构60将侧门20锁紧至连接框11上，侧门20与连接框11之间通过第一密封圈实现密封。
[0029]侧门20远离晶体炉本体10的侧面且远离合页70的一侧设置有把手90，便于用户操作。
[0030]凹腔部22的中部设置有透明的观察窗80，便于用户观察晶体炉本体10内的工作状态。
[0031]进料管30突出设置于晶体炉本体10的顶面，出料管40突出设置于晶体炉本体10远
离侧门20的一侧。
[0032]请参考图4，出料管40的中部开设有出料口41，出料管40远离晶体炉本体10的第一端面上于出料口41的外侧设置有第三嵌槽42，第三嵌槽42中设置有第二密封圈，出料管40的第一端面上于第三嵌槽42的外侧开设有若干连接孔43。外部的一个管道通过法兰及螺柱与出料管40连接。螺柱穿过法兰及连接孔43并与一螺母螺纹连接，法兰与出料管40抵接时，第二密封圈实现法兰与出料管40之间的密封。
[0033]出料管40的周向外侧壁靠近第一端面的位置凹陷设置有螺母槽44，螺母槽 44的深度与第三嵌槽42至出料管40的周向边缘的距离相当或相等，如此使得螺柱穿过连接孔43后位于螺母槽44中。螺母位于螺母槽44中，并与穿过法兰及连接孔43的螺柱螺纹连接。
[0034]出料管40与晶体炉本体10之间还焊接有L形的加强块45，加强块45的一侧与出料管40焊接，另一侧与晶体炉本体10焊接。加强块45能够加强出料管 40的连接可靠度。
[0035]现有的晶体炉中仅具有一个散热流道，散热流道靠近进水口的部分的散热效果较好，靠近出水口的部分的散热效果较差。
[0036]请参考图5，本方案中，晶体炉本体10于侧向开口的一侧设置有若干进水口51，于侧向开口的另一侧设置有若干出水口52，晶体炉本体10的侧壁具有夹层，每一进水口51与一出水口52之间通过一流体管道53连通，流体管道53 设置于夹层中，每一进水口51的高度小于对应连接的出水口52的高度。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有侧门的晶体炉，其特征在于：包括晶体炉本体及位于晶体炉本体一侧的侧门；晶体炉本体的形状为圆柱形，晶体炉本体的一侧沿弦向开设有侧向开口，晶体炉本体于侧向开口的周向外侧突出设置有连接框；侧门包括侧门本体及设置于侧门中部的凹腔部，凹腔部朝向晶体炉本体的一侧凹陷设置有弧形的凹腔；连接框及侧门的两侧均开设有若干连接槽；一锁定机构活动地位于连接槽中，并将侧门锁紧至连接框上。2.如权利要求1所述的具有侧门的晶体炉，其特征在于：所述锁定机构包括设置于连接框的连接槽远离侧门的一侧的球头支撑座、一端转动地位于球头支撑座中的球头螺杆及与球头螺杆螺纹连接的锁紧螺母；球头螺杆具有一个转动地位于球头支撑座中的球头转动部及一个可活动地位于连接槽中的螺杆部。3.如权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：史晓莉，戴永丰，戴永成，
申请(专利权)人：浙江臻强精密机械股份有限公司，
类型：新型
国别省市：