自动晶圆分选机精密顶出机构制造技术

技术编号:32483700 阅读:37 留言:0更新日期:2022-03-02 09:48
本发明专利技术的自动晶圆分选机精密顶出机构,技术目的是提供一种通过多段顶出结构,顶出精度高并且行程控制精准的自动晶圆分选机精密顶出机构。包括有一基座,基座上设有推动气缸,推动气缸连接有一固定块,所述固定块上设有固定板,在所述固定板上设有一滑动滑轨,所述滑动滑轨上设有顶针基座,所述顶针基座上设有顶针帽,顶针帽中设有顶针,所述顶针帽连接有顶针帽推动杆,顶针帽推动杆的一端连接第一偏心轮及顶针帽推动电机的电机轴上;所述顶针连接有顶针推动杆,顶针推动杆的连接第二偏心轮及顶针推动电机的电机轴上。本发明专利技术实现多阶段顶出结构的精准微调适用于自动晶圆分选机中应用。结构的精准微调适用于自动晶圆分选机中应用。结构的精准微调适用于自动晶圆分选机中应用。

【技术实现步骤摘要】
自动晶圆分选机精密顶出机构


[0001]本专利技术涉及一种顶出机构,更具体的说,涉及一种自动晶圆分选机的顶出机构。

技术介绍

[0002]在现有技术中,在芯片的分选工序中,在基片上设置有成百上千个晶片,通过对每个晶片测试后,将测试数据及晶片位于基片上的数据储存到自动化顶出机构的控制电路中,控制电路再驱动自动化顶出机构的机械装置将某个系列测试数据范围的晶片顶出,完成晶片的顶出分选工序。现有的自动化顶出机构存在着顶出效率不高的技术缺陷,并且由于顶出过程为一次控制,造成精度差,顶出机构故障率高而维修维护成本高。现有技术中的顶出机构存在的技术缺陷,成为本领域技术人员急待解决的技术问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的技术目的是克服现有技术中,晶片顶出机构存在着顶出误差大及故障率高的技术问题;提供一种通过多段顶出结构,顶出精度高并且行程控制精准的自动晶圆分选机精密顶出机构。
[0004]为实现以上技术目的,本专利技术的技术方案是:
[0005]自动晶圆分选机精密顶出机构,包括有一基座,所述基座上设有推动气缸,推动气缸连接有一固定块,所述固定块上设有固定板,在所述固定板上设有一滑动滑轨,所述滑动滑轨上设有顶针基座,所述顶针基座上设有顶针帽,顶针帽中设有顶针,所述顶针帽连接有顶针帽推动杆,顶针帽推动杆的一端设有第一偏心轮,所述第一偏心轮设于顶针帽推动电机的电机轴上;所述顶针连接有顶针推动杆,顶针推动杆的一端设有第二偏心轮,所述第二偏心轮设于顶针推动电机的电机轴上。
[0006]更进一步的,所述固定块滑动于基座滑轨上。
[0007]本专利技术的有益技术效果是:通过推动气缸及多个电机的配合,由推动气缸大行程伸缩,顶针帽推动电机进一步行程伸缩,然后再由顶针推动电机通过第二偏心轮进行顶针伸缩微调,将晶片顶出,实现多阶段顶出结构的精准微调,获得高效率、高精准、低故障率的技术效果。
附图说明
[0008]图1是本专利技术一个实施例的结构示意图。
具体实施方式
[0009]结合图1,详细说明本专利技术的具体实施方式,但不对权利要求作任何限定。
[0010]在本专利技术的实施例中,自动晶圆分选机精密顶出机构,包括有一基座100,在实施中,基座100设于自动化晶圆分选机的固定支架上,在基座100上设有推动气缸101,推动气缸101连接有一固定块102,在实施时,固定块102可以设置有一升降电机,升降电机通过偏
心轮带动顶针基座104上下移动,实现上下微调;固定块102滑动于基座滑轨上。推动气缸101将固定块102推动前进或后退。
[0011]在固定块102上设有固定板103,在实施时,固定板103上设有一滑动滑轨105,所述滑动滑轨105上设有顶针基座104,顶针基座104在固定块102及固定板103的带动下前后移动;顶针基座104上设有顶针帽213,顶针帽213中套设有设有顶针,顶针帽213与顶针为套筒结构,顶针可伸缩于顶针帽中向外伸出或缩回;所述顶针帽213连接有顶针帽推动杆212,顶针帽推动杆212为L形顶柄结构;顶针帽推动杆212的一端设有第一偏心轮211,所述第一偏心轮211设于顶针帽推动电机200的电机轴上;在顶针帽推动电机200的带动下,第一偏心轮211转动,实现对顶针帽推动杆212前推或后缩控制;顶针帽推动杆212与顶针基座104之间可设有复位弹簧;在实施时,顶针连接有顶针推动杆222,顶针推动杆222的一端设有第二偏心轮221,所述第二偏心轮221设于顶针推动电机201的电机轴上。顶针推动电机201带动第二偏心轮221旋转,实现对顶针推动杆222及顶针的推进或后缩控制;顶针推动杆222与顶针基座104之间可设有复位弹簧。第二偏心轮221前顶后,顶针推动杆222可通过复位弹簧后缩复位。
[0012]本专利技术通过推动气缸101及多个电机的配合,由推动气缸101大行程伸缩,再由顶针帽推动电机200进一步推动顶针帽213,然后再由顶针推动电机201通过第二偏心轮221进行顶针伸缩微调,将晶片顶出。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.自动晶圆分选机精密顶出机构,其特征是:包括有一基座,所述基座上设有推动气缸,推动气缸连接有一固定块,所述固定块上设有固定板,在所述固定板上设有一滑动滑轨,所述滑动滑轨上设有顶针基座,所述顶针基座上设有顶针帽,顶针帽中设有顶针,所述顶针帽连接有顶针帽推动杆,顶针帽推动...

【专利技术属性】
技术研发人员:邓朝旭
申请(专利权)人:深圳市朝阳光科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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