【技术实现步骤摘要】
自动晶圆分选机精密顶出机构
[0001]本专利技术涉及一种顶出机构,更具体的说,涉及一种自动晶圆分选机的顶出机构。
技术介绍
[0002]在现有技术中,在芯片的分选工序中,在基片上设置有成百上千个晶片,通过对每个晶片测试后,将测试数据及晶片位于基片上的数据储存到自动化顶出机构的控制电路中,控制电路再驱动自动化顶出机构的机械装置将某个系列测试数据范围的晶片顶出,完成晶片的顶出分选工序。现有的自动化顶出机构存在着顶出效率不高的技术缺陷,并且由于顶出过程为一次控制,造成精度差,顶出机构故障率高而维修维护成本高。现有技术中的顶出机构存在的技术缺陷,成为本领域技术人员急待解决的技术问题。
技术实现思路
[0003]本专利技术的技术目的是克服现有技术中,晶片顶出机构存在着顶出误差大及故障率高的技术问题;提供一种通过多段顶出结构,顶出精度高并且行程控制精准的自动晶圆分选机精密顶出机构。
[0004]为实现以上技术目的,本专利技术的技术方案是:
[0005]自动晶圆分选机精密顶出机构,包括有一基座,所述基座上设有推动气缸,推动气缸连接有一固定块,所述固定块上设有固定板,在所述固定板上设有一滑动滑轨,所述滑动滑轨上设有顶针基座,所述顶针基座上设有顶针帽,顶针帽中设有顶针,所述顶针帽连接有顶针帽推动杆,顶针帽推动杆的一端设有第一偏心轮,所述第一偏心轮设于顶针帽推动电机的电机轴上;所述顶针连接有顶针推动杆,顶针推动杆的一端设有第二偏心轮,所述第二偏心轮设于顶针推动电机的电机轴上。
[0006]更进一 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.自动晶圆分选机精密顶出机构,其特征是:包括有一基座,所述基座上设有推动气缸,推动气缸连接有一固定块,所述固定块上设有固定板,在所述固定板上设有一滑动滑轨,所述滑动滑轨上设有顶针基座,所述顶针基座上设有顶针帽,顶针帽中设有顶针,所述顶针帽连接有顶针帽推动杆,顶针帽推动...
【专利技术属性】
技术研发人员:邓朝旭,
申请(专利权)人:深圳市朝阳光科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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