【技术实现步骤摘要】
基于深度学习和图像处理的光学元件表面损伤识别方法
[0001]本专利技术涉及元件表面损伤识别
,具体涉及一种基于深度学习和图像处理的光学元件表面损伤识别方法。
技术介绍
[0002]光学元件的激光损伤一直是制约高功率固体激光装置稳定运行的关键瓶颈,损伤一方面会弱化元件材料性能,使损伤更易发生和扩展,严重降低光学元件的使用寿命,另一方面还会影响激光传输并对下游元件造成损害。研究表明,光学元件损伤在初始阶段生长速度较慢,随着强激光辐照次数的增加,损伤的数量和尺寸会逐渐增加。当元件损伤达到一定程度,损伤会急剧增长并最终导致元件报废。因此,当元件出现损伤后及时对其进行修复对于提升元件使用寿命具有重要的作用。目前,工程上常采用CO2激光对熔石英损伤进行局部修复,而通过适当的检测手段获取元件表面损伤的准确信息是进行激光修复的前提。
[0003]元件在转运和安装过程中不可避免的会引入污染物,这些污染物尺寸微小、形状各异且与损伤有着相似的成像特征,会干扰损伤点的检测和修复,因此需要采取合适的方法对损伤和污染物进行区分。早期的识 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.基于深度学习和图像处理的光学元件表面损伤识别方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一、获取多个包含元件表面目标点的显微图像,形成图像数据集;所述元件表面目标点包括缺陷区域和伪缺陷区域;步骤二、对图像数据集进行预处理;步骤三、将预处理后的图像数据集输入基于深度神经网络的损伤识别模型中进行训练,获得训练好的损伤识别模型;步骤四、将包含元件表面目标点的待检测图像输入训练好的损伤识别模型中,获得识别结果。2.根据权利要求1所述的基于深度学习和图像处理的光学元件表面损伤识别方法,其特征在于,步骤一中所述图像数据集中每个目标点对应包含不同光源下采集的多个图像。3.根据权利要求2所述的基于深度学习和图像处理的光学元件表面损伤识别方法,其特征在于,步骤一中不同光源包括背照光源、环形光源和同轴光源。4.根据权利要求3所述的基于深度学习和图像处理的光学元件表面损伤识别方法,其特征在于,步骤二中所述预处理包括:对图像数据进行标注,将包含缺陷区域的图像标注为1,包含伪缺陷区域的图像标注为0;对图像数据进行分割处理,获取目标点图像和目标点的像素尺寸;对图像数据集进行数据增强;将单个目标点在不同光源下采集的多个图像按照红绿蓝三通道顺序进行RGB合成,获取合成后的图像。5.根据权利要求4所述的基于深度学习和图像处理的光学元件表面损伤识别方法,其特征在于,步骤二所述预处理中对图像数据集进行数据增强包括:在分割处理后的目标点轮廓线上均匀取多个点,以这些轮廓点为中心、以轮廓线外接正方形为截取尺寸对目标点进行截取,将截取后的目标点图像填充到原始图像数据中;对图像数据进行翻转、旋转、噪声扰动的数据增强。6.根据权利要求5所述的基于深度学习和图像处理的光学元件表面损伤识别方法,其特征在于,步骤三的具体步骤包括:步骤三一、基于目标点的像素尺寸,将预处理后的图像数据集按照尺寸范围进行划分;步骤三二、将多个尺寸范围对应的图像数据按照比例划分为训练集和验证集;步骤三三、将训练集输入基于深度神经网络ResNeXt的损伤识别模型中进行训练;具体包括:首先,经过由多个卷积核组成的预处理层,对输入图像进行卷积操作,获得经过颜色空间变化处理的RGB图像;然后,迁移载入在I...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈明君,尹朝阳,赵林杰,程健,袁晓东,郑万国,廖威,王海军,张传超,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:
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