一种判断通孔开路缺陷的方法技术

本发明专利技术涉及集成电路技术领域，具体涉及一种判断通孔开路缺陷的方法；包括：定义金属轮廓台阶长度，并微分化金属轮廓得到金属轮廓面积；对通孔轮廓面积进行计算，并将通孔轮廓替换成和通孔轮廓面积相等的正方形；计算所述正方形与所述金属轮廓的重叠面积；基于重叠面积推算沿金属轮廓方向和垂直金属轮廓方向潜在的开路缺陷概率，从而判断通孔开路是否缺陷，套刻误差会导致通孔无法准确的落在预定设计位置，最终会落在一定范围内，通过推算开路的缺陷概率，判断在范围内是否会发生开路，解决现有技术只能确定预定位置是否开路，无法确定工艺波动下的开路风险。工艺波动下的开路风险。工艺波动下的开路风险。

【技术实现步骤摘要】
一种判断通孔开路缺陷的方法


[0001]本专利技术涉及集成电路
，尤其涉及一种判断通孔开路缺陷的方法。

技术介绍

[0002]用于光学临近效应矫正的计算判断在通孔开路缺陷，主要方法包含的步骤为：
[0003](1)计算via在曝光/刻蚀之后的轮廓与金属metal轮廓的重叠面积overlapped area；
[0004](2)计算重叠面积与原设计尺寸via的面积的比例，表达为
[0005]面积比例＝重叠面积/原设计尺寸via的面积
[0006](3)根据工艺变动范围进行测算，最终会设定面积比例的安全阈值(threshold)；
[0007](4)如果实际的面积比例高于或等于安全阈值threshold：
[0008]面积比例≥安全阈值threshold
[0009]该通孔via就可以被判定为不会发生开路缺陷，因为如果通孔与金属的实际重叠面积足够，就不会发生开路现象。
[0010](5)如果实际的面积比例低于安全阈值threshold：
[0011]面积比例＜安全阈值threshold
[0012]该通孔via就可以被判定为可能发生开路缺陷，并且通孔与金属的实际重叠面积越小，面积比例越小，其会越小于安全阈值threshold，最终也会更加容易导致开路现象的发生。

技术实现思路

[0013]本专利技术的目的在于提供一种判断通孔开路缺陷的方法，旨在解决现有技术只能确定预定位置是否开路，无法确定工艺波动下的开路风险。
[0014]为实现上述目的，本专利技术提供了一种判断通孔开路缺陷的方法，包括以下步骤：定义金属轮廓台阶长度，并微分化金属轮廓得到金属轮廓面积；
[0015]对通孔轮廓面积进行计算，并将通孔轮廓替换成和通孔轮廓面积相等的正方形；
[0016]计算所述正方形与所述金属轮廓的重叠面积；
[0017]基于所述重叠面积推算沿所述金属轮廓方向和垂直所述金属轮廓方向潜在的开路缺陷概率，从而判断通孔开路是否缺陷。
[0018]其中，所述推算沿金属轮廓方向开路缺陷概率的具体方式为：设定所述金属轮廓同方向发生通孔开路的概率安全阈值；
[0019]通过所述正方形与所述金属轮廓同方向的移动距离，计算同方向重叠面积；
[0020]将所述通孔轮廓的原始面积与所述同方向重叠面积相除，得到同向安全阈值；
[0021]基于所述同向安全阈值推算沿所述金属轮廓方向的开路缺陷概率。
[0022]其中，所述推算垂直金属轮廓方向开路缺陷概率的具体方式为：设定与所述金属轮廓垂直方向发生通孔开路的概率安全阈值；
[0023]通过所述正方形与所述金属轮廓垂直方向移动的距离，计算垂直方向重叠面积；
[0024]将所述通孔轮廓的原始面积与所述垂直方向重叠面积相除，得到垂直安全阈值，
[0025]基于所述垂直安全阈值推算垂直于所述金属轮廓线方向的开路缺陷概率。
[0026]其中，所述正方形与所述金属轮廓同方向的移动距离，计算同方向重叠面积的具体方式为：
[0027]将所述正方形沿水平正方向移动，计算移动后的重叠面积；
[0028]将所述正方形沿水平负方向移动，计算移动后的重叠面积。
[0029]其中，所述正方形与所述金属轮廓垂直方向移动的距离，计算垂直方向重叠面积的具体方式为：
[0030]将所述正方形沿垂直所述金属轮廓方向上移，计算移动后的重叠面积；
[0031]将所述正方形沿垂直所述金属轮廓方向下移，计算移动后的重叠面积。
[0032]本专利技术的一种判断通孔开路缺陷的方法，定义金属轮廓台阶长度，并微分化金属轮廓得到金属轮廓面积；所述金属轮廓的顶点非常多，为了加速计算效率，将所述金属轮廓微分化/台阶化，减少所述金属轮廓顶点数，对通孔轮廓面积进行计算，并将通孔轮廓替换成和通孔轮廓面积相等的正方形；通过软件计算所述通孔轮廓的面积，将所述通孔轮廓的面积替换成面积相等的正方形，并将所述正方形代替所述通孔轮廓面积，计算所述正方形与所述金属轮廓的重叠面积；将相邻的所述金属轮廓与所述通孔轮廓微分化，计算所述金属轮廓和所述正方形的重叠面积，基于所述重叠面积推算沿所述金属轮廓方向和垂直所述金属轮廓方向潜在的开路缺陷概率，从而判断通孔开路是否缺陷，套刻误差会导致通孔无法准确的落在预定设计位置，最终会落在一定范围内，本专利技术通过推算沿所述金属轮廓方向和垂直所述金属轮廓方向潜在的开路缺陷概率，判断在范围内是否会发生开路，使用微分化的所述金属轮廓与所述正方形来进行重叠面积的计算，所有的边均为水平与竖直方向的边，计算速度快，面积值也非常接近实际的重叠面积，解决现有技术只能确定预定位置是否开路，无法确定工艺波动下的开路风险。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0034]图1是台阶化/微分化所述金属轮廓示意图。
[0035]图2是所述通孔轮廓面积替代示意图。
[0036]图3是微分化所述金属轮廓和所述正方形重叠面积示意图。
[0037]图4是沿微分所述金属轮廓线方向通孔的移动及范围示意图。
[0038]图5是微分所述金属轮廓外角的定义图。
[0039]图6所述通孔轮廓的边与移动到哪条所述金属轮廓的台阶线需要计算重叠面积的示意图。
[0040]图7是记录数据表。
[0041]图8是重叠面积比例安全阈值的坐标范围图。
[0042]图9是本专利技术提供的一种判断通孔开路缺陷的方法的判断方法流程图。
[0043]图10是本专利技术提供的一种判断通孔开路缺陷的方法推算沿所述金属轮廓方向开路缺陷概率的流程图。
[0044]图11是本专利技术提供的一种判断通孔开路缺陷的方法推算垂直所述金属轮廓方向开路缺陷概率的流程图。
[0045]图12是本专利技术提供的一种判断通孔开路缺陷的方法计算所述同方向重叠面积的流程图。
[0046]图13是本专利技术提供的一种判断通孔开路缺陷的方法计算所述垂直重叠方向面积的流程图。
具体实施方式
[0047]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0048]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种判断通孔开路缺陷的方法，其特征在于，包括以下步骤：定义金属轮廓台阶长度，并微分化金属轮廓得到金属轮廓面积；对通孔轮廓面积进行计算，并将通孔轮廓替换成和通孔轮廓面积相等的正方形；计算所述正方形与所述金属轮廓的重叠面积；基于所述重叠面积推算沿所述金属轮廓方向和垂直所述金属轮廓方向潜在的开路缺陷概率，从而判断通孔开路是否缺陷。2.如权利要求1所述的一种判断通孔开路缺陷的方法，其特征在于，所述推算沿金属轮廓方向开路缺陷概率的具体方式为：设定所述金属轮廓同方向发生通孔开路的概率安全阈值；通过所述正方形与所述金属轮廓同方向的移动距离，计算同方向重叠面积；将所述通孔轮廓的原始面积与所述同方向重叠面积相除，得到同向安全阈值；基于所述同向安全阈值推算沿所述金属轮廓方向的开路缺陷概率。3.如权利要求1所述的一种判断通孔开路缺陷的方法，其特征在于，所述推算垂直金属轮廓方向开路缺陷概率的具...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏晓菁，韦亚一，粟雅娟，张利斌，刘畅，张世鑫，
申请(专利权)人：南京诚芯集成电路技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：