南京诚芯集成电路技术研究院有限公司专利技术

南京诚芯集成电路技术研究院有限公司共有2项专利

  • 本发明公开了倒梯形或T型结构的工艺质量评估方法及系统,设计与目标图层对标的前层衍射套刻结构和目标图层的衍射套刻结构,目标图层的衍射套刻结构沿平行前层衍射套刻结构方向偏移相同的套刻偏移量;光刻和刻蚀获取目标需要的倒梯形结构或T型结构;进行...
  • 本发明的一种基于机器学习确定光刻系统焦面位置的方法,包括以下步骤:S1:选取焦面位置测量标记,于标定的光刻系统中,在已知的不同焦面位置曝光,记录位置,利用光刻空间像传感器采集并记录光刻空间像的二维分布;S2:将有光刻空间像有效结果分为训...
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