一种晶圆叉清洗方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及设备维护技术领域，尤其涉及一种晶圆叉清洗方法及装置，该晶圆叉清洗装置，包括：清洗室、设置于清洗室内的喷洒装置和刷子、设置于清洗室出入口的气刀；所述喷洒装置，用于喷淋清洗液；所述刷子，用于对伸入所述清洗室内的晶圆叉进行洗刷，气刀，用于对所述待清洗的晶圆叉进行吹扫，以及对清洗后的晶圆叉进行干燥，进而实现对晶圆叉进行有效、自动地清洗，进而避免晶圆的交叉污染，也提高了产能。也提高了产能。也提高了产能。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆叉清洗方法及装置


[0001]本专利技术涉及设备维护
，尤其涉及一种晶圆叉清洗方法及装置。

技术介绍

[0002]晶圆叉，用于承载晶圆，实现晶圆的运送、翻转等，如图1a、图1b、图1c所示，在晶圆叉上与晶圆相接触的位置，容易藏污纳垢。
[0003]晶圆叉需要周期性进行维护，包括清洗等等，以防止晶圆的交叉污染。目前，通常在设备不运转的情况下，以人工直接做清洗。
[0004]但是，这种清洗方式效率并不高，因此，影响产能。

技术实现思路

[0005]鉴于上述问题，提出了本专利技术以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种晶圆叉清洗方法及装置。
[0006]第一方面，本专利技术实施例提供了一种晶圆叉清洗装置，包括：
[0007]清洗室、设置于清洗室内的喷洒装置和刷子、设置于所述清洗室出入口的气刀；
[0008]所述喷洒装置，用于喷淋清洗液；
[0009]所述刷子，用于对待清洗的的晶圆叉进行洗刷，以实现边喷淋清洗液边洗刷；
[0010]所述气刀，用于对所述待清洗的晶圆叉进行吹扫，以及对清洗后的晶圆叉干燥。
[0011]进一步地，在所述喷洒装置集成于所述刷子上时，还包括：
[0012]第一轨道，设置在所述清洗室顶端，用于承载所述刷子；
[0013]第一驱动装置，连接所述刷子，用于驱动所述刷子沿着所述第一轨道移动，以实现边喷淋清洗液边洗刷。
[0014]进一步地，所述刷子包括：刷头和第一支撑杆；/>[0015]所述第一支撑杆一端设置所述刷头，另一端设置于所述第一轨道上；
[0016]所述刷头上设置有刷毛，且在刷毛的间隙设置有喷淋清洗液的喷淋孔。
[0017]进一步地，在所述喷洒装置与所述刷子并排设置时，还包括：
[0018]第二支撑杆；
[0019]第二轨道，设置在所述清洗室顶端，用于承载所述第二支撑杆；
[0020]所述第二支撑杆的一端设置于所述第二轨道，另一端连接横板，所述横板一端设置所述刷子，另一端设置所述喷洒装置；
[0021]第二驱动装置，连接所述第二支撑杆，用于驱动所述第二支撑杆沿着所述第二轨道移动，以使所述喷洒装置和所述刷子均沿着所述第二轨道移动，以实现边喷淋清洗液边洗刷。
[0022]进一步地，在所述清洗室的上部、下部以及侧边均固定设置有所述喷洒装置；
[0023]还包括：
[0024]第三轨道，设置在所述清洗室顶端，用于承载所述刷子；
[0025]第三驱动装置，连接所述刷子，用于驱动所述刷子沿着所述第三轨道移动，以在所述喷洒装置喷淋清洗液的区域进行洗刷。
[0026]进一步地，还包括：
[0027]第四驱动装置，所述第四驱动装置连接所述刷子，用于驱动所述刷子旋转，以实现旋转洗刷。
[0028]进一步地，还包括：
[0029]第五驱动装置，所述第五驱动装置连接所述第二支撑杆，用于驱动所述第二支撑杆旋转，以使所述横板上的刷子和喷洒装置在旋转过程中实现边喷洒清洗液边洗刷。
[0030]第二方面，本专利技术还提供了一种晶圆叉清洗方法，包括：
[0031]控制将晶圆叉插入清洗室，并控制气刀对待清洗的晶圆叉进行吹扫；
[0032]控制开启喷洒装置进行喷淋清洗液，并控制刷子对所述待清洗的晶圆叉进行过洗刷，以实现边喷淋清洗液边洗刷；
[0033]控制将所述晶圆叉移出所述清洗室，并控制气刀对清洗后的晶圆叉进行干燥。
[0034]进一步地，所述在控制气刀对所述晶圆叉进行吹扫之后，还包括：
[0035]控制关闭所述气刀；
[0036]所述在控制气刀对所述晶圆叉进行干燥之后，还包括：
[0037]控制关闭所述气刀。
[0038]进一步地，所述控制开启喷洒装置进行喷淋清洗液，并控制刷子对所述待清洗的晶圆叉进行洗刷，包括：
[0039]控制开启喷洒装置；
[0040]控制所述喷洒装置移动或者调整所述喷洒装置的喷洒朝向，使得所述喷洒装置喷淋的清洗液将所述待清洗的晶圆叉全部覆盖；
[0041]控制刷子在喷淋清洗液的区域对所述待清洗的晶圆叉进行旋转洗刷。
[0042]本专利技术实施例中的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
[0043]本专利技术提供了一种晶圆叉清洗装置，包括清洗室，设置于清洗室内的喷洒装置和刷子、设置于清洗室出入口的气刀，该喷洒装置，用于喷淋清洗液，刷子，用于对伸入清洗室内的晶圆叉进行洗刷，以实现边喷淋清洗液边洗刷，气刀，用于对待清洗的晶圆叉进行吹扫，以及对清洗后的晶圆叉进行干燥，进而实现对晶圆叉进行有效、自动地清洗，进而避免晶圆的交叉污染，也提高了产能。
附图说明
[0044]通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本专利技术的限制。而且在整个附图中，用相同的参考图形表示相同的部件。在附图中：
[0045]图1a、图1b、图1c示出了晶圆叉的结构示意图；
[0046]图2示出了本专利技术实施例一中晶圆叉清洗装置的结构示意图；
[0047]图3示出了本专利技术实施例一中刷子与喷洒装置集成设置的结构示意图；
[0048]图4示出了本专利技术实施例一中刷子与喷洒装置并排设置的结构示意图；
[0049]图5示出了本专利技术实施例一中刷子与喷洒装置单独设置的结构示意图；
[0050]图6示出了本专利技术实施例二中晶圆叉清洗方法的步骤流程示意图。
具体实施方式
[0051]下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
[0052]实施例一
[0053]本专利技术实施例一提供了一种晶圆叉清洗装置，应用于周期性的设备维护中，对晶圆叉进行清洗。
[0054]该晶圆叉清洗装置，如图2所示，包括：清洗室101、设置于清洗室101内的喷洒装置102和刷子103、设置于清洗室101出入口的气刀106，该喷洒装置102用于喷淋清洗液；该刷子103，用于对伸入该清洗室101内的晶圆叉进行洗刷，以实现边喷淋清洗液边洗刷；气刀106，用于对待清洗的晶圆叉进行吹扫，以及对清洗后的晶圆叉进行干燥。
[0055]该喷洒装置102不仅能够喷淋清洗液，而且，在喷淋清洗液的同时，不利用刷子103，仅利用冲力，也可将晶圆叉上的杂质冲掉。
[0056]在借助刷子103的洗刷时，能够将清洗液无法冲刷的地方进行洗刷。
[0057]其中，该喷洒装置102和刷子103可集成在一起，也可以单独设置。
[0058]下面就喷洒装置102和刷子103集成在一起的结本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆叉清洗装置，其特征在于，包括：清洗室、设置于清洗室内的喷洒装置和刷子、设置于所述清洗室出入口的气刀；所述喷洒装置，用于喷淋清洗液；所述刷子，用于对待清洗的晶圆叉进行洗刷，以实现边喷淋清洗液边洗刷；所述气刀，用于对所述待清洗的晶圆叉进行吹扫，以及对清洗后的晶圆叉进行干燥。2.如权利要求1所述的晶圆叉清洗装置，其特征在于，所述喷洒装置集成于所述刷子上时，还包括：第一轨道，设置在所述清洗室顶端，用于承载所述刷子；第一驱动装置，连接所述刷子，用于驱动所述刷子沿着所述第一轨道移动，以实现边喷淋清洗液边洗刷。3.如权利要求2所述的晶圆叉清洗装置，其特征在于，所述刷子包括：刷头和第一支撑杆；所述第一支撑杆一端设置所述刷头，另一端设置于所述第一轨道上；所述刷头上设置有刷毛，且在刷毛的间隙设置有喷淋清洗液的喷淋孔。4.如权利要求1所述的晶圆叉清洗装置，其特征在于，在所述喷洒装置与所述刷子并排设置时，还包括：第二支撑杆；第二轨道，设置在所述清洗室顶端，用于承载所述第二支撑杆；所述第二支撑杆的一端设置于所述第二轨道，另一端连接横板，所述横板一端设置所述刷子，另一端设置所述喷洒装置；第二驱动装置，连接所述第二支撑杆，用于驱动所述第二支撑杆沿着所述第二轨道移动，以使所述喷洒装置和所述刷子均沿着所述第二轨道移动，以实现边喷淋清洗液边洗刷。5.如权利要求1所述的晶圆叉清洗装置，其特征在于，在所述清洗室的上部、下部以及侧边均固定设置有所述喷洒装置；还包括：第三轨道，...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜喆求，胡艳鹏，李琳，卢一泓，
申请(专利权)人：真芯北京半导体有限责任公司，
类型：发明
国别省市：