3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构制造方法及图纸

本发明专利技术3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构属于半导体加工测试技术领域；该装置包括底座、上压板组件、右底板、第一上固定板、第一下固定板、第一上压紧板、第一下移动板、第一导向杆、第一调节螺栓、下压板组件、左底板、第二上固定板、第二下固定板、第二上压紧板、第二下移动板、第二导向杆、第二调节螺栓、卡扣、喷嘴组件、压缩空气进口、清洗液进口、高温氮气进口、合页和3DMEMS探针；本申请设置有便于安装的底座，在清洗时能够通过下移动板和上压紧板实现纱网绷紧，能够方便探针的放置，并能够提高探针的清洗效果；能够将清洗液打散成雾状喷洒在纱网上，完成对探针的清洗，再通入高温氮气，对探针进行烘干。对探针进行烘干。对探针进行烘干。

【技术实现步骤摘要】
3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构


[0001]本专利技术3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构属于半导体加工测试


技术介绍

[0002]MEMS是指微机电技术，在电子产品中的地位愈来愈重要，不论是在汽车、工业、医疗或军事上需要用到此类精密的元器件，在信息、通讯和消费性电子等大众的市场，也可以看到快速增长的MEMS应用，芯片测试探针卡是用于芯片引脚测试，根据不同工序要求芯片引脚测试需求也不同，为了满足不同测试需求，设计了3D MEMS探针，根据工艺生产需要，3D MEMS探针需要做成相互连接结，当3D MEMS探针膜从硅片上释放后，由于表面有药剂、水渍，需要进行表面清洗，并且要进行烘干，然后才能进入下一道工序。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的就在于提供一种3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构。
[0004]本专利技术的目的是这样实现的：3DMEMS探针清洗烘干装置，包括底座、上压板组件、下压板组件、喷嘴组件、合页和3DMEMS探针，所述上压板组件和下压板组件安装在底座上，所述压板组件和下压板组件侧壁都固定安装有喷嘴组件，用于对3DMEMS探针进行清洗，所述底座底部开有泄流槽的结构，用于清洗液排出，合页用于连接两侧的上压板组件和下压板组件，所述上压板组件和下压板组件之间设置有3DMEMS探针；所述上压板组件包括右底板、第一上固定板和第一下固定板，设置在右底板表面的第一下固定板和第一下移动板，设置在第一下固定板侧壁的第一上固定板，设置在第一下移动板侧壁的第一上压紧板，设置在右底板顶部的第一调节螺栓和设置在右底板侧壁的第一导向杆；所述右底板顶部与第一调节螺栓螺纹连接，所述第一调节螺栓底端与第一导向杆内部转动连接，所述第一导向杆与第一下移动板固定连接，所述第一下固定板和第一上固定板通过螺丝固定，所述第一下固定板和第一上固定板之间夹持有纱网，所述第一下移动板和第一上压紧板之间夹持有纱网；所述下压板组件包括左底板、第二上固定板和第二下固定板，设置在左底板表面的第二下固定板和第二第一上压紧板，设置在左底板顶部的第二调节螺栓和设置在左底板侧壁的第二导向杆；所述左底板顶部与第二调节螺栓螺纹连接，所述第二调节螺栓底端与第二导向杆内部转动连接，所述第二导向杆与第二下移动板固定连接，所述第二下固定板和第二上固定板通过螺丝固定，所述第二下固定板和第二上固定板之间夹持有纱网，所述第二下移动板和第二上压紧板之间夹持有纱网；所述喷嘴组件包括压缩空气进口、清洗液进口和高温氮气进口，所述压缩空气进口分别与清洗液进口以及高温氮气进口固定连接。
[0005]3DMEMS探针清洗烘干装置的上压板组件，包括右底板、第一上固定板和第一下固
定板，设置在右底板表面的第一下固定板和第一下移动板，设置在第一下固定板侧壁的第一上固定板，设置在第一下移动板侧壁的第一上压紧板，设置在右底板顶部的第一调节螺栓和设置在右底板侧壁的第一导向杆；所述右底板顶部与第一调节螺栓螺纹连接，所述第一调节螺栓底端与第一导向杆内部转动连接，所述第一导向杆与第一下移动板固定连接，所述第一下固定板和第一上固定板通过螺丝固定，所述第一下固定板和第一上固定板之间夹持有纱网，所述第一下移动板和第一上压紧板之间夹持有纱网。
[0006]3DMEMS探针清洗烘干装置的下压板组件，包括左底板、第二上固定板和第二下固定板，设置在左底板表面的第二下固定板和第二第一上压紧板，设置在左底板顶部的第二调节螺栓和设置在左底板侧壁的第二导向杆；所述左底板顶部与第二调节螺栓螺纹连接，所述第二调节螺栓底端与第二导向杆内部转动连接，所述第二导向杆与第二下移动板固定连接，所述第二下固定板和第二上固定板通过螺丝固定，所述第二下固定板和第二上固定板之间夹持有纱网，所述第二下移动板和第二上压紧板之间夹持有纱网。
[0007]3DMEMS探针清洗烘干装置的喷嘴组件，包括压缩空气进口、清洗液进口和高温氮气进口，所述压缩空气进口分别与清洗液进口以及高温氮气进口固定连接。
[0008]3DMEMS探针清洗烘干方法，包括以下步骤：步骤a、安装上压板组件：第一下固定板固定在右底板上，第一下移动板通过第一导向杆和第一调节螺栓与右底板连接在一起；纱网平铺在第一下固定板和第一下移动板上，然后使用第一上固定板和第一上压紧板压住螺丝拧紧，然后使用第一调节螺栓移动第一下移动板，使纱布绷紧，从而达到绷紧的状态；步骤b、安装下压板组件：卡扣固定在左底板上，第二下固定板固定在左底板上，第二下移动板通过第二导向杆和第二调节螺栓与左底板连接在一起；纱网平铺在第二下固定板和第二下移动板上，然后使用第二上固定板和第二上压紧板压住螺丝拧紧，然后使用第二调节螺栓移动第二下移动板，使纱布绷紧，从而达到绷紧的状态；步骤c、下压板组件和上压板组件连接：右底板与左底板通过合页固定在一起，下压板组件纱网中放置3D MEMS探针，然后把上压板组件合过来，使用卡扣锁紧；步骤3D、固定到底座：把夹持工装固定到底座凹槽中；步骤e、清洗：压缩空气进口和清洗液进口工作，高温氮气进口停止工作，根据二流体原理，清洗液被压缩空气打散，然后雾化成直径微小的水滴，最后喷洒到纱网中对3D MEMS探针进行清洗。
[0009]步骤f、烘干：压缩空气进口和清洗液进口停止工作，高温氮气进口工作，喷高温氮气，使用高温带走水蒸气，从而达到烘干效果。
[0010]本专利技术的有益效果是：第一、本专利技术提供了一种3DMEMS探针清洗烘干装置及其清洗烘干机构；第二、本专利技术采用高弹性、轻薄、耐高温的塑料纱网材料，可以保证在清洗烘干时不变形，避免对探针造成损伤；第三、本专利技术设计了一种绷紧结构，可以绷紧纱网，在清洗时能够通过下移动板和上压紧板实现纱网绷紧，能够方便探针的放置，同时能够提高探针的清洗效果；第四、本专利技术设计了一种既可以进行清洗，又可以进行烘干的喷嘴，能够将清洗液打散成雾状喷洒在纱网上，完成对3D MEMS探针的清洗，再通入高温氮气，对探针进行烘干，
有利于实现探针的快速清洗和烘干；第五、本专利技术设计了一种快捷的方式，设置有便于安装的底座，能够实现底板的安装固定，能够在底板内部进行探针的清洗，可以使上下盖板可以快速合起来并锁住。
附图说明
[0011]图1为本专利技术3DMEMS探针清洗烘干装置的整体立体结构示意图；图2为本专利技术3DMEMS探针清洗烘干装置的主视图；图3为本专利技术3DMEMS探针清洗烘干装置的侧视图；图4为本专利技术3DMEMS探针清洗烘干装置的俯视图；图5为本专利技术3DMEMS探针清洗烘干装置的截面图；图6为上压板组件和下压板组件折叠后的立体图一；图7为上压板组件和下压板组件折叠后的立体图二；图8为上压板组件和下压板组件展开后的立体图；图9为上压板组件和下压板组件展开后的主视图；图10为上压板组件和下压板组件展开后的侧视图；图11为上压板组件和下压板组件展开后俯视图；图12为上压板组件和下压板组件展开后剖面图；图13为喷嘴结构的主视图；图14为喷嘴结构的侧视图；图15为喷嘴结构的截面图；图16为底座的立体图；图17本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.3DMEMS探针清洗烘干装置，其特征在于：包括底座（1）、上压板组件（2）、下压板组件（3）、喷嘴组件（4）、合页（5）和3DMEMS探针（6），所述上压板组件（2）和下压板组件（3）安装在底座（1）上，所述压板组件（2）和下压板组件（3）侧壁都固定安装有喷嘴组件（4），用于对3DMEMS探针（6）进行清洗，所述底座（1）底部开有泄流槽的结构，用于清洗液排出，合页（5）用于连接两侧的上压板组件（2）和下压板组件（3），所述上压板组件（2）和下压板组件（3）之间设置有3DMEMS探针（6）；所述上压板组件（2）包括右底板（2
‑
1）、第一上固定板（2
‑
2）和第一下固定板（2
‑
3），设置在右底板（2
‑
1）表面的第一下固定板（2
‑
3）和第一下移动板（2
‑
5），设置在第一下固定板（2
‑
3）侧壁的第一上固定板（2
‑
2），设置在第一下移动板（2
‑
5）侧壁的第一上压紧板（2
‑
4），设置在右底板（2
‑
1）顶部的第一调节螺栓（2
‑
7）和设置在右底板（2
‑
1）侧壁的第一导向杆（2
‑
6）；所述右底板（2
‑
1）顶部与第一调节螺栓（2
‑
7）螺纹连接，所述第一调节螺栓（2
‑
7）底端与第一导向杆（2
‑
6）内部转动连接，所述第一导向杆（2
‑
6）与第一下移动板（2
‑
5）固定连接，所述第一下固定板（2
‑
3）和第一上固定板（2
‑
2）通过螺丝固定，所述第一下固定板（2
‑
3）和第一上固定板（2
‑
2）之间夹持有纱网，所述第一下移动板（2
‑
5）和第一上压紧板（2
‑
4）之间夹持有纱网；所述下压板组件（3）包括左底板（3
‑
1）、第二上固定板（3
‑
2）和第二下固定板（3
‑
3），设置在左底板（3
‑
1）表面的第二下固定板（3
‑
3）和第二第一上压紧板（2
‑
4），设置在左底板（3
‑
1）顶部的第二调节螺栓（3
‑
7）和设置在左底板（3
‑
1）侧壁的第二导向杆（3
‑
6）；所述左底板（3
‑
1）顶部与第二调节螺栓（3
‑
7）螺纹连接，所述第二调节螺栓（3
‑
7）底端与第二导向杆（3
‑
6）内部转动连接，所述第二导向杆（3
‑
6）与第二下移动板（3
‑
5）固定连接，所述第二下固定板（3
‑
3）和第二上固定板（3
‑
2）通过螺丝固定，所述第二下固定板（3
‑
3）和第二上固定板（3
‑
2）之间夹持有纱网，所述第二下移动板（3
‑
5）和第二上压紧板（3
‑
4）之间夹持有纱网；所述喷嘴组件（4）包括压缩空气进口（4
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1）、清洗液进口（4
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2）和高温氮气进口（4
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3），所述压缩空气进口（4
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1）分别与清洗液进口（4
‑
2）以及高温氮气进口（4
‑
3）固定连接。2.根据权利要求1所述的3DMEMS探针清洗烘干装置的关键结构，为上压板组件（2），其特征在于：包括右底板（2
‑
1）、第一上固定板（2
‑
2）和第一下固定板（2
‑
3），设置在右底板（2
‑
1）表面的第一下固定板（2
‑
3）和第一下移动板（2
‑
5），设置在第一下固定板（2
‑
3）侧壁的第一上固定板（2
‑
2），设置在第一下移动板（2
‑
5）侧壁的第一上压紧板（2
‑
4），设置在右底板（2
‑
1）顶部的第一调节螺栓（2
‑
7）和设置在右底板（2
‑
1）侧壁的第一导向杆（2
‑
6）；所述右底板（2
‑
1）顶部与第一调节螺栓（2
‑
7）螺纹连接，所述第一调节螺栓（2
‑
7）底端与第一导向杆（2
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6）内部转动连接，所述第一导向杆（2

【专利技术属性】
技术研发人员：于海超，徐兴光，王艾琳，
申请(专利权)人：强一半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：