一种基于对称保护型连续体束缚态的太赫兹传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于对称保护型连续体束缚态的太赫兹传感器，由多个单元结构呈周期性排布构成，多个单元结构的结构相同，均包括融合石英构成的衬底，衬底上表面设置有N型掺杂硅所构成的微结构柱A和微结构柱B。本发明专利技术可以提高检测的灵敏度，同时克服金属太赫兹传感器易被氧化、高欧姆损耗、结构复杂的问题。结构复杂的问题。结构复杂的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种基于对称保护型连续体束缚态的太赫兹传感器


[0001]本专利技术属于太赫兹光谱应用
，具体涉及一种基于对称保护型连续体束缚态的太赫兹传感器。

技术介绍

[0002]太赫兹(Terahertz，简称THz)波是指频率范围在0.1THz
‑
10 THz(波长在3mm
‑
30μm)的电磁波，在电磁波谱中其频谱位于红外电磁波与微波频谱之间，具备红外电磁波与微波的优点。太赫兹辐射的光子能量低于绝大多数的化学键之间的能量，对大多数电介质具有很好的穿透特性。此外，太赫兹波的频带较宽，很多凝聚态体系的声子和其它元激发，以及诸多生物大分子的振动和转动能级都处于这一波段，并且该波段包含了丰富的光谱信息，有利于研究其它物质在该波段的光谱特性，可以通过特征共振对物质进行探测分辨。因此，太赫兹波在无损检测、物体成像尤其是医学成像与病变组织检测方面应用潜力巨大。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于对称保护型连续体束缚态的太赫兹传感器，其特征在于，由多个单元结构呈周期性排布构成，多个单元结构的结构相同，均包括融合石英构成的衬底(1)，衬底(1)上表面设置有N型掺杂硅所构成的微结构柱A(2)和微结构柱B(3)。2.根据权利要求1所述的一种基于对称保护型连续体束缚态的太赫兹传感器，其特征在于，所述微结构柱A(2)的几何中心位于所述衬底(1)横切面0.25倍的长边、0.5倍的短边处；微结构柱B(3)的几何中心位于所述衬底(1)横切面0.75倍的长边、0.5倍的短边处。3.根据权利要求2所述的一种基于对称保护型连续体束缚态的太赫兹传感器，其特征在于，所述衬底(1)横切面为长方形，衬底(1)长边长度130～152μm，衬底(1)短边长度为61～81μm；衬底(1)厚度为30～50μm。4.根据权利要求2所述的一种基于对称保护型连续体束...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玥，张达篪，陈曦，崔子健，张晓菊，马成，李存霞，陈素果，
申请(专利权)人：西安理工大学，
类型：发明
国别省市：