一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，包括多个单元：金属纳米六角板、介质层、金属膜以及基底。传感器各个单元从下往上分别为基底、金属膜、介质层和金属纳米六角板。本发明专利技术所展示的结构是单个纳米颗粒与金膜构成的纳米腔，探究的是纳米尺度的传感响应。本发明专利技术解决了LSPR传感器的灵敏度偏低问题，使得该纳米腔传感器灵敏度可达360nm/RIU。解决了金属结构辐射损耗很高的问题，使得该纳米腔的品质因数高达11RIU

【技术实现步骤摘要】
一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器


[0001]本专利技术属于光学折射率传感领域，涉及一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器。

技术介绍

[0002]折射率传感是一个快速发展的领域，已经广泛应用于生物、化学、医学、食品安全以及环境监测等方面，因此对低成本和高效率的需求也在不断增加。光学折射率传感器具有快速、定量、低成本和无标记分析的能力，同时也为小型化片上集成提供了的可能性。
[0003]在光学折射率传感器中，基于金属纳米颗粒的局域表面等离激元共振(Localized Surface Plasmon Resonance,LSPR)折射率传感器展现出了优异的传感性能。LSPR峰位强烈依赖于周围环境的折射率，因此可以通过探测LSPR峰位的变化实现对环境折射率的探测。LSPR传感器造价低廉、工艺简单，更加小型化，更适用于表面折射率传感和生物分子检测。然而，现有的大多数LSPR传感器的灵敏度范围在50
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400nm/RIU，灵敏度相对较低；并且，金属纳米颗粒在可见光波段的辐射损耗很高，使得基于LSPR的折射本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于包括基底(1)、超光滑金属膜(2)、介质层(3)和金属纳米六角板(4)；基底(1)上部设有金属膜(2)，金属膜(2)上为介质层(3)，介质层(3)的中部为金属纳米六角板(4)；所述金属膜(2)和金属纳米六角板(4)采用金属材料为金。2.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于：所述基底(1)、金属膜(2)和介质层(3)的对边长度比金属纳米六角板的对边长度大于0.5cm。3.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于：所述介质层(3)的材质为三氧化二铝或二氧化硅。4.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖发俊，王其发，李晨阳，侯莉萍，赵建林，
申请(专利权)人：西北工业大学，
类型：发明
国别省市：