MEMS麦克风及其微机电结构制造技术

本申请公开了一种MEMS麦克风及其微机电结构。该微机电结构包括：背板；振动膜，具有至少一个通孔，并与背板构成可变电容；至少一个连接柱，每个连接柱的一端与背板固定连接；以及至少一个可动结构，分别位于相应的通孔中以与振动膜分离，每个可动结构与相应的连接柱的另一端固定连接，其中，可动结构与通孔之间的间隙用于气体流通。该微机电结构通过在振动膜的通孔中设置与振动膜分离的可动结构，使得可动结构与通孔之间存在间隙，从而使得微机电结构的泄气量适应于不同外界声压，进而在保障MEMS麦克风性能的同时，改善了振动膜形变量大的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
MEMS麦克风及其微机电结构


[0001]本申请涉及半导体器件制造领域，更具体地，涉及MEMS麦克风及其微机电结构。

技术介绍

[0002]基于微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)制造的麦克风被称为MEMS麦克风，通常包括微机电结构以及与之电连接的功能集成电路 (Application Specific Integrated Circuit,ASIC)芯片。
[0003]在传统MEMS麦克风中，为了保证MEMS麦克风的低频频响性能，通常会在微机电结构的振动膜上开设小尺寸的通孔结构作为气体流通通道，在外界声压（气压）较大的情况下，作用在振动膜上的气体来不及通过小尺寸的通孔结构完全泄出，导致振动膜发生很大的形变，最终导致MEMS麦克风失效。
[0004]在现有技术中，通过将振动膜加厚或者优化振动膜的材料使得振动膜可承受的应力增大，从而降低振动膜的形变量。然而，通过改变振动膜的厚度或材料会对微机电结构的灵敏度造成影响，从而降低了MEMS麦克风的性能。
[0005]因此，希望提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微机电结构，其特征在于，包括：背板；振动膜，具有至少一个通孔，并与所述背板构成可变电容；至少一个连接柱，每个所述连接柱的一端与所述背板固定连接；以及至少一个可动结构，分别位于相应的所述通孔中以与所述振动膜分离，每个所述可动结构与相应的所述连接柱的另一端固定连接，其中，所述可动结构与所述通孔之间的间隙用于气体流通。2.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，所述至少一个可动结构包括呈圆柱的所述可动结构和/或呈多棱柱的所述可动结构，其中，所述可动结构的形状与所述通孔匹配。3.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，所述至少一个可动结构包括呈圆柱的所述可动结构和/或呈多棱柱的所述可动结构，所述可动结构包括至少一个凹槽和/或至少一个泄气槽，所述至少一个凹槽自所述可动结构的柱面沿径向向内延伸，并且所述至少一个凹槽贯穿所述可动结构的顶面与底面；所述至少一个泄气槽贯穿所述可动结构的顶面与底面。4.根据权利要求3所述的微机电结构，其特征在于，所述凹槽的数量为多个，多个所述凹槽的开口沿所述可动结构的外周边沿均匀分布。5.根据权利要求3所述的微机电结构，其特征在于，所述泄气槽的数量为多个，多个所述泄气槽围绕所述可动结构的中心并互相分隔。6.根据权利要求3所述的微机电结构，其特征在于，所述可动结构包括多个所述泄气槽与多个所述凹槽，所述泄气槽的数量与所述凹槽的数量相同，多个所述凹槽的开口沿所述可动结构的外周边沿均匀分布，多个所述泄气槽围绕所述可动结构的中心，每个所述泄气槽位于相邻的两个所述凹槽之间，并与所述凹槽分隔。7.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：荣根兰，孙恺，孟燕子，胡维，
申请(专利权)人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：