一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺制造技术

本发明专利技术一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺属于对微型燃料电池技术的研究，尤其涉及一种微型燃料电池金属流场板的制作方法。其制作工艺是在金属片表面通过光刻技术制作掩蔽层，通过化学蚀刻或者电化学蚀刻的方法加工出微细结构，以及在金属表面制作导电耐蚀层。所用材料为金属板，包括不锈钢、钛及其合金、铝合金、或铜及其合金。能加工微孔、微沟道、微突起结构，通过多次的光刻、蚀刻工艺，制作三维微细结构的金属流场板。采用此工艺制作的流场板具有电阻小、耐蚀、耐磨、无加工变质层、无切削残余应力、一致性好。微结构的最小线宽可以达到５０μｍ，结合大尺幅光刻蚀刻技术，可以实现低成本，大批量生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于对微型燃料电池技术的研究，尤其涉及一种微型燃料电池金属 流场板的制作方法。技术背景随着电子技术的飞速发展，诸如笔记本电脑、手机、MP3等便携式电子设备 层出不穷，然而便携式电源技术已远远落后于微电子的发展速度。随着微型燃 料电池(Micro Fuel Cell, MFC)在关键材料方面取得的进展，其作为新一代 便携式电源越来越受到关注。这类电池一般以聚合物膜作为质子传导介质，以 醇或者氢气为燃料，以氧气为氧化剂，反应产物是水和二氧化碳。微型燃料电 池具有高比能、高效率、使用方便、清洁环保等优点，是目前锂电池、镍氢、 镍镉电池等理想的替代品。微型燃料电池区别于一般意义燃料电池的特点之一是其流场板的微型化。 流场板是燃料电池中的重要部件，在燃料电池中起着分配流场、收集电流、支 撑电池结构等作用。如附图1所示，燃料(如甲醇、氢气等)和氧化剂(如氧 气、空气等)分别通过阳极流场板和阴极流场板上的流场进入燃料电池； 经催化剂分解后产生的电子，也需要流场板的导电作用流向外部负载。同时流 场板还需要保证电池结构的坚固，起到保护内部膜电极的作用。流场板中流场的形状一般分为三类 一本文档来自技高网...

【技术保护点】
本专利技术涉及一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺，其特征是，在金属片表面通过光刻技术制作掩蔽层，通过化学蚀刻或者电化学蚀刻的方法加工出微细结构，以及在金属表面制作导电耐蚀层，具体工艺步骤如下：１）首先将金属片下料、抛光，采用碱性溶 液或有机溶剂浸泡或超声清洗，清洗后用大量水冲净，１１０℃－１５０℃烘３０－６０分钟；２）然后采用光刻工艺在单面或者双面制作掩蔽层，基本步骤包括：旋涂或空丝网涂布２０－６０微米左右耐蚀光刻胶，７５℃－８５℃前烘２０－３０分钟，采用掩模 曝光方法，曝光剂量为２０ｍＪ／ｃｍ－３５ｍＪ／ｃｍ↑［２］，１％Ｎａ↓［２］ＣＯ↓［３］溶液显影３０...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘冲，孙灵俊，梁军生，施维枝，王立鼎，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：91[中国|大连]