一种退火炉节能降耗设备制造技术

本实用新型专利技术属于降耗设备技术领域，尤其为一种退火炉节能降耗设备，针对现有的炉体与底座之间的连接方式大多通过螺栓进行连接，从而造成炉体与底座的安装与拆卸工作较为费事费力的问题，现提出如下方案，其包括底座，所述底座的顶部活动安装有炉体，炉体的左右两侧均固定安装有圆环，底座的顶部两侧均固定安装有中空筒，中空筒的内侧活动抵接有U型杆，U型杆的底端固定安装有第一弹簧，第一弹簧的底端固定安装在中空筒的底部内壁上，U型杆的外侧活动抵接在圆环的内侧，圆环的底部固定安装有中空杆。本实用新型专利技术设计合理，通过设置的助燃风机与排废气风机，能够加速空气的流动速度，能够提高工作效率，起到节能降耗的功能。起到节能降耗的功能。起到节能降耗的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种退火炉节能降耗设备


[0001]本技术涉及降耗设备
，尤其涉及一种退火炉节能降耗设备。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
[0003]现有的炉体与底座之间的连接方式大多通过螺栓进行连接，从而造成炉体与底座的安装与拆卸工作较为费事费力的缺点，因此我们提出了一种退火炉节能降耗设备用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有的炉体与底座之间的连接方式大多通过螺栓进行连接，从而造成炉体与底座的安装与拆卸工作较为费事费力的缺点，而提出的一种退火炉节能降耗设备。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种退火炉节能降耗设备，包括底座，所述底座的顶部活动安装有炉体，炉体的左右两侧均固定安装有圆环，底座的顶部两侧均固定安装有中空筒，中空筒的内侧活动抵接有U型杆，U型杆的底端固定安装有第一弹簧，第一弹簧的底端固定安装在中空筒的底部内壁上，U型杆的外侧活动抵接在圆环的内侧，圆环的底部固定安装有中空杆，中空杆的内侧活动安装有水平杆，水平杆的一端固定安装有拉环，拉环的外侧固定安装有第二弹簧，第二弹簧的一端固定安装在中空杆上，水平杆的外侧活动抵接在U型杆的内侧，中空筒的外侧固定安装有横杆，横杆的内侧活动抵接有竖直杆，竖直杆的底端固定安装有挡板，挡板的顶部固定安装有第三弹簧，第三弹簧的顶端固定安装在横杆的底部，竖直杆的外侧活动抵接在拉环的内侧。
[0007]优选的，所述炉体的一侧内壁上设有助燃风机，炉体的顶部内壁上设有排废气风机，通过设置的助燃风机与排废气风机，能够加速空气的流动速度，能够提高工作效率，起到节能降耗的功能。
[0008]优选的，所述炉体的底部内壁上固定安装有物料架，炉体的内侧顶部设有多个火焰喷嘴，通过设置的物料架，从而为物料提供一定的放置功能。
[0009]优选的，所述中空筒的内部开设有圆形槽，U型杆的外侧活动抵接在圆形槽的内侧，通过设置的圆形槽，从而为U型杆的竖直运动起到一定的导向的作用。
[0010]优选的，所述横杆的内部开设有通孔，竖直杆的外侧活动抵接在通孔的内侧，通过设置的通孔，从而为竖直杆的竖直运动起到一定的导向的作用。
[0011]优选的，所述拉环的底部开设有凹槽，竖直杆的顶端插设在凹槽的内侧，通过设置
的凹槽，从而为竖直杆的顶端提供运动范围。
[0012]本技术中，所述的一种退火炉节能降耗设备，通过设置的第一弹簧、第二弹簧与第三弹簧，第一弹簧的复位工作使得U型杆得到竖直向下的运动，从而使得U型杆的外侧活动抵接在圆环的内侧，其次第二弹簧的复位工作使得水平杆的得到水平向右的运动，最后第三弹簧的复位工作使得竖直杆得到竖直向上的运动，从而使得竖直杆的顶端插设在拉环的内部，从而使得炉体与底座之间能够实现快速的安装或者拆卸的工作；
[0013]本技术设计合理，通过设置的助燃风机与排废气风机，能够加速空气的流动速度，能够提高工作效率，起到节能降耗的功能。
附图说明
[0014]图1为本技术提出的一种退火炉节能降耗设备的结构示意图；
[0015]图2为本技术提出的一种退火炉节能降耗设备的A部分的结构示意图；
[0016]图3为本技术提出的一种退火炉节能降耗设备的B部分的结构示意图。
[0017]图中：1、底座；2、炉体；3、圆环；4、中空筒；5、第一弹簧；6、U型杆；7、中空杆；8、水平杆；9、第二弹簧；10、拉环；11、横杆；12、竖直杆；13、挡板；14、第三弹簧；15、助燃风机；16、排废气风机；17、火焰喷嘴；18、物料架。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0019]参照图1
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3，一种退火炉节能降耗设备，包括底座1，底座1的顶部活动安装有炉体2，炉体2的左右两侧均固定安装有圆环3，底座1的顶部两侧均固定安装有中空筒4，中空筒4的内侧活动抵接有U型杆6，U型杆6的底端固定安装有第一弹簧5，第一弹簧5的底端固定安装在中空筒4的底部内壁上，U型杆6的外侧活动抵接在圆环3的内侧，圆环3的底部固定安装有中空杆7，中空杆7的内侧活动安装有水平杆8，水平杆8的一端固定安装有拉环10，拉环10的外侧固定安装有第二弹簧9，第二弹簧9的一端固定安装在中空杆7上，水平杆8的外侧活动抵接在U型杆6的内侧，中空筒4的外侧固定安装有横杆11，横杆11的内侧活动抵接有竖直杆12，竖直杆12的底端固定安装有挡板13，挡板13的顶部固定安装有第三弹簧14，第三弹簧14的顶端固定安装在横杆11的底部，竖直杆12的外侧活动抵接在拉环10的内侧。
[0020]本技术中，炉体2的一侧内壁上设有助燃风机15，炉体2的顶部内壁上设有排废气风机16，通过设置的助燃风机15与排废气风机16，能够加速空气的流动速度，能够提高工作效率，起到节能降耗的功能。
[0021]本技术中，炉体2的底部内壁上固定安装有物料架18，炉体2的内侧顶部设有多个火焰喷嘴17，通过设置的物料架18，从而为物料提供一定的放置功能。
[0022]本技术中，中空筒4的内部开设有圆形槽，U型杆6的外侧活动抵接在圆形槽的内侧，通过设置的圆形槽，从而为U型杆6的竖直运动起到一定的导向的作用。
[0023]本技术中，横杆11的内部开设有通孔，竖直杆12的外侧活动抵接在通孔的内侧，通过设置的通孔，从而为竖直杆12的竖直运动起到一定的导向的作用。
[0024]本技术中，拉环10的底部开设有凹槽，竖直杆12的顶端插设在凹槽的内侧，通过设置的凹槽，从而为竖直杆12的顶端提供运动范围。
[0025]该退火炉节能降耗设备的工作原理如下：第一弹簧5的复位工作使得U型杆6得到竖直向下的运动，从而使得U型杆6的外侧活动抵接在圆环3的内侧，其次第二弹簧9的复位工作使得水平杆8的得到水平向右的运动，从而使得水平杆8的一端插设在U型杆6的内侧，最后第三弹簧14的复位工作使得竖直杆12得到竖直向上的运动，从而使得竖直杆12的顶端插设在拉环10的内部，从而使得炉体2与底座1之间能够实现快速的安装或者拆卸的工作，从而减少安装时间，打破传统的螺栓的连接方式，最后通过设置的助燃风机15与排废气风机16，能够加速空气的流动速度，能够提高工作效率，起到节能降耗的功能。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种退火炉节能降耗设备，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶部活动安装有炉体(2)，炉体(2)的左右两侧均固定安装有圆环(3)，底座(1)的顶部两侧均固定安装有中空筒(4)，中空筒(4)的内侧活动抵接有U型杆(6)，U型杆(6)的底端固定安装有第一弹簧(5)，第一弹簧(5)的底端固定安装在中空筒(4)的底部内壁上，U型杆(6)的外侧活动抵接在圆环(3)的内侧，圆环(3)的底部固定安装有中空杆(7)，中空杆(7)的内侧活动安装有水平杆(8)，水平杆(8)的一端固定安装有拉环(10)，拉环(10)的外侧固定安装有第二弹簧(9)，第二弹簧(9)的一端固定安装在中空杆(7)上，水平杆(8)的外侧活动抵接在U型杆(6)的内侧，中空筒(4)的外侧固定安装有横杆(11)，横杆(11)的内侧活动抵接有竖直杆(12)，竖直杆(12)的底端固定安装有挡板(13)，挡板(13)的顶部固定安装有第三弹簧(14)，第三弹簧(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王均光，韩克卫，田福民，
申请(专利权)人：山东巨野天马玻璃制品有限公司，
类型：新型
国别省市：