一种磨片机下料全自动水道运输线制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磨片机下料全自动水道运输线，包括固定底架，固定底架的顶部固定安装若干传送辊，传送辊顶部分别设有交换桁架和搬运桁架，交换桁架和搬运桁架上的一侧分别滑动安装有固定框，固定框内滑动卡接有升降装置，升降装置的底部活动安装有气缸，气缸的两侧端部固定安装有夹取臂，夹取臂之间活动卡接有装载水箱，装载水箱的底部摩擦安装在下载平台上，装载水箱内活动安装有装载片盒，本实用新型专利技术解决磨片工序物料传输搬运问题，实现工序自动化管理，提高工厂自动化管理程度；一方面实现自动化运输，另一方面解决磨片机磨盘更换工作时的影响；通过夹取臂装夹装载水箱，通过桁架运输到传送辊上进行运输。过桁架运输到传送辊上进行运输。过桁架运输到传送辊上进行运输。

【技术实现步骤摘要】
一种磨片机下料全自动水道运输线


[0001]本技术涉及磨片机下料运输
，具体为一种磨片机下料全自动水道运输线。

技术介绍

[0002]半导体行业中，各工艺机台性能各异，要求上载晶圆分为干燥状态(后称为干法)，或湿润浸湿状态(后称为湿法)上载。下载端口同理。同时也会要求上载晶圆片载具类型，如OC片盒，FOUP盒，FOSB盒，单张晶圆片等等。并且随着科技发展与进步，需求量越来越大，产能也越来越高，所需人工也相应的增大。为了减少人工，提高设备效率，工厂自动化生产便成了现在生产车间主流。
[0003]磨片车间上载需要将单张晶圆片装贴在U型盘槽位处(机台专用工装)，下载时，需使用吸盘将其取出，放入片篮内，并进行浸泡。后将由操作员运输至下一工序中。因磨盘重量在1T多，需要1.5T叉车进行拆卸更换，现有的自动化运输线承重能力有限，为此我们提出一种磨片机下料全自动水道运输线用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种磨片机下料全自动水道运输线，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磨片机下料全自动水道运输线，包括固定底架(1)，其特征在于：所述固定底架(1)的顶部固定安装若干传送辊(2)，所述传送辊(2)顶部分别设有交换桁架(3)和搬运桁架(5)，所述交换桁架(3)和搬运桁架(5)上的一侧分别滑动安装有固定框(9)，所述固定框(9)内滑动卡接有升降装置(6)，所述升降装置(6)的底部活动安装有气缸(7)，所述气缸(7)的两侧端部固定安装有夹取臂(8)，所述夹取臂(8)之间活动卡接有装载水箱(10)，所述装载水箱(10)的底部摩擦安装在下载平台(11)上，所述装载水箱(10)内活动安装有装载片盒(12)。2.根据权利要求1所述的一种磨片机下料全自动水道运输线，其特征在于：所述传送辊(2)在固定底架(1)的顶部并列设有两排并且每个传送辊(2)的轴心重合。3.根据权利要求1所述的一种磨片机下料全自动水道运输线，其特征在于：所述固定底架(1)的一侧设有叉车(4)，所述叉车(4)为1.5T负载，叉车(4)尺寸：车体长度2140
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【专利技术属性】
技术研发人员：李健乐，张丰，张淳，齐风，李伦，孙晨光，王彦君，陈健华，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：