一种核孔膜蚀刻线生产装置制造方法及图纸

技术编号:32387052 阅读:16 留言:0更新日期:2022-02-20 09:21
本实用新型专利技术涉及一种核孔膜蚀刻线生产装置,该装置包括卷膜装置、蚀刻槽、清洗槽、烘干槽、测厚装置和若干传动轴;所述卷膜装置包括卷膜放料装置和卷膜收料装置,所述卷膜放料装置包括放料卷和放料电机,所述卷膜收料装置包括收料卷和收料电机,所述放料卷转轴连接放料电机,所述收料卷转轴连接收料电机;所述放料卷、蚀刻槽、清洗槽、烘干槽、测厚装置以及收料卷顺序依次间隔设置,所述蚀刻槽、清洗槽及烘干槽的底部均设置有传动轴,且相邻两槽之间上方也设置有传动轴;所述放料卷与蚀刻槽之间以及所述烘干槽与测厚装置之间均设置传动轴;所述测厚装置底部平行间隔设置有两个传动轴,所述蚀刻槽内还设置有清洗装置,用于对所述蚀刻槽内的残渣进行清洗。槽内的残渣进行清洗。槽内的残渣进行清洗。

【技术实现步骤摘要】
一种核孔膜蚀刻线生产装置


[0001]本技术是关于一种核孔膜蚀刻线生产装置,涉及核孔膜生产


技术介绍

[0002]核孔膜主要是靠离子在塑料薄膜上打孔,再经过特殊的化学液体进行蚀刻,从而形成小孔。核孔膜材料因为具有众多的优点,广泛应用于电子、生物、食品、医疗及化工领域,核孔膜的生产具有重大的经济价值与社会意义。
[0003]核孔膜辐照完成后只是初始的膜,还需要经过蚀刻才能成为成品膜,这个过程是缺一不可的。核孔膜的蚀刻是一个复杂的过程,蚀刻线的建设是为了大批量蚀刻核孔膜原膜,达到流水线式的工业化生产。
[0004]现有的核孔膜蚀刻中,采用的是固定器皿存放蚀刻液经过浸泡实现蚀刻,这种方式如果小批量实验或生产的话还能勉强应对,如果进行大规模的工业化生产则远远不足,生产效率低下。

技术实现思路

[0005]针对上述问题,本技术的目的是提供一种能够满足大规模工业化生产,提高生产效率的核孔膜蚀刻线生产装置。
[0006]为实现上述目的,本技术采取以下技术方案:一种核孔膜蚀刻线生产装置,该装置包括卷膜装置、蚀刻槽、清洗槽、烘干槽、测厚装置和若干传动轴;
[0007]所述卷膜装置包括卷膜放料装置和卷膜收料装置,所述卷膜放料装置包括放料卷和放料电机,所述卷膜收料装置包括收料卷和收料电机,所述放料卷的转轴连接所述放料电机,所述收料卷的转轴连接所述收料电机;
[0008]所述放料卷、蚀刻槽、清洗槽、烘干槽、测厚装置以及收料卷顺序依次间隔设置,所述蚀刻槽、清洗槽及烘干槽的底部均设置有传动轴,且相邻两槽之间上方也设置有传动轴;所述放料卷与蚀刻槽之间以及所述烘干槽与测厚装置之间均设置传动轴;所述测厚装置底部平行间隔设置有两个传动轴;其中,
[0009]所述蚀刻槽内还设置有清洗装置,用于对所述蚀刻槽内的残渣进行清洗。
[0010]优选地,所述蚀刻槽内设置有蚀刻液,用于将核孔膜上的辐照孔扩大,使孔周围残屑脱落。
[0011]优选地,所述清洗装置包括金属网、运动导轨、水平牵引电机、垂直牵引电机和清洗喷头;所述金细网覆盖在所述蚀刻槽底部,所述运动导轨分布在蚀刻槽的四个边角固定连接所述金属网,用于使所连接的金属网垂直上升到所述蚀刻槽的顶部,所述水平牵引电机和垂直牵引电机通过控制运动导轨进行垂直和水平运动,使得使金属网能自动升降到顶部并平移到蚀刻槽外部,设置在蚀刻槽外部的所述清洗喷头用于清洗金属网上的蚀刻残渣。
[0012]优选地,所述清洗槽内设置有纯水,用于清洗蚀刻后的膜。
[0013]优选地,所述烘干槽内设置有烘干设备,用于烘干清洗后的膜。
[0014]优选地,所述测厚装置采用激光测厚仪,用于测量经蚀刻完成的膜厚度。
[0015]优选地,所述蚀刻槽内还设置有温度传感器和加热棒,所述温度传感器用于对蚀刻液的温度进行实时的监测;所述加热棒设置在蚀刻槽的底部,用于对蚀刻液的温度进行加热。
[0016]优选地,所述蚀刻槽内还设置有浓度传感器,用于对蚀刻槽内的蚀刻液浓度进行实时监测。
[0017]本技术由于采取以上技术方案,其具有以下优点:本技术的核孔膜的辐照原膜经卷膜装置首先通过蚀刻槽进行蚀刻,然后通过清洗槽进行清洗,其次通过烘干槽进行烘干,最后再经卷膜装置进行收卷,能够满足大规模工业化生产,提高生产效率的核孔膜蚀刻线生产装置。
附图说明
[0018]通过阅读下文优选实施方式的详细描述,各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的,而并不认为是对本技术的限制。在整个附图中,用相同的附图标记表示相同的部件。在附图中:
[0019]图1是本技术的核孔膜蚀刻线生产装置结构原理图;
[0020]图2是本技术的核孔膜蚀刻线生产装置三维结构图;
[0021]图3是本技术的清洗装置结构示意图。
具体实施方式
[0022]下面将参照附图更详细地描述本技术的示例性实施方式。虽然附图中显示了本技术的示例性实施方式,然而应当理解,可以以各种形式实现本技术而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反,提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本技术,并且能够将本技术的范围完整的传达给本领域的技术人员。
[0023]应理解的是,文中使用的术语仅出于描述特定示例实施方式的目的,而无意于进行限制。除非上下文另外明确地指出,否则如文中使用的单数形式“一”、“一个”以及“所述”也可以表示包括复数形式。术语“包括”、“包含”、“含有”以及“具有”是包含性的,并且因此指明所陈述的特征、步骤、操作、元件和/或部件的存在,但并不排除存在或者添加一个或多个其它特征、步骤、操作、元件、部件、和/或它们的组合。文中描述的方法步骤、过程、以及操作不解释为必须要求它们以所描述或说明的特定顺序执行,除非明确指出执行顺序。还应当理解,可以使用另外或者替代的步骤。
[0024]尽管可以在文中使用术语第一、第二、第三等来描述多个元件、部件、区域、层和/或部段,但是,这些元件、部件、区域、层和/或部段不应被这些术语所限制。这些术语可以仅用来将一个元件、部件、区域、层或部段与另一区域、层或部段区分开。除非上下文明确地指出,否则诸如“第一”、“第二”之类的术语以及其它数字术语在文中使用时并不暗示顺序或者次序。因此,以下讨论的第一元件、部件、区域、层或部段在不脱离示例实施方式的教导的情况下可以被称作第二元件、部件、区域、层或部段。
[0025]为了便于描述,可以在文中使用空间相对关系术语来描述如图中示出的一个元件
或者特征相对于另一元件或者特征的关系,这些相对关系术语例如为“内部”、“外部”、“内侧”、“外侧”、“下面”、“上面”等。这种空间相对关系术语意于包括除图中描绘的方位之外的在使用或者操作中装置的不同方位。
[0026]如图1、图2所示,本技术提供的核孔膜蚀刻线生产装置,用于进行辐照原膜的蚀刻,包括卷膜装置1、蚀刻槽2、清洗槽3、烘干槽4、测厚装置5和若干传动轴;
[0027]卷膜装置1包括卷膜放料装置11和卷膜收料装置12;卷膜放料装置11包括放料卷111和放料电机112,卷膜收料装置12包括收料卷121和收料电机122。
[0028]放料卷111的转轴连接放料电机112;
[0029]收料卷121的转轴连接收料电机122;
[0030]放料卷111、蚀刻槽2、清洗槽3、烘干槽4、测厚装置5以及收料卷121顺序依次间隔设置,蚀刻槽2、清洗槽3及烘干槽4的底部均设置有传动轴,且相邻两槽之间上方也设置有传动轴;放料卷111与蚀刻槽2之间以及烘干槽4与测厚装置5之间均设置传动轴;测厚装置5底部也平行间隔设置有两个传动轴,其中,辐照原膜的运动方向是从左向右即从放料卷111到收料卷121,依次通过传动轴进行运动,传动轴的作用是能够保持膜的正常运行,改变膜的运行方向。
[0031]如图3所示,蚀本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种核孔膜蚀刻线生产装置,其特征在于,该装置包括卷膜装置、蚀刻槽、清洗槽、烘干槽、测厚装置和若干传动轴;所述卷膜装置包括卷膜放料装置和卷膜收料装置,所述卷膜放料装置包括放料卷和放料电机,所述卷膜收料装置包括收料卷和收料电机,所述放料卷的转轴连接所述放料电机,所述收料卷的转轴连接所述收料电机;所述放料卷、蚀刻槽、清洗槽、烘干槽、测厚装置以及收料卷顺序依次间隔设置,所述蚀刻槽、清洗槽及烘干槽的底部均设置有传动轴,且相邻两槽之间上方也设置有传动轴;所述放料卷与蚀刻槽之间以及所述烘干槽与测厚装置之间均设置传动轴;所述测厚装置底部平行间隔设置有两个传动轴;其中,所述蚀刻槽内还设置有清洗装置,用于对所述蚀刻槽内的残渣进行清洗。2.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线生产装置,其特征在于,所述蚀刻槽内设置有蚀刻液,用于将核孔膜上的辐照孔扩大,使孔周围残屑脱落。3.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线生产装置,其特征在于,所述清洗装置包括金属网、运动导轨、水平牵引电机、垂直牵引电机和清洗喷头;所述金属网覆盖在所述蚀刻槽底部,所述运动导轨分布在蚀刻槽的四...

【专利技术属性】
技术研发人员:李运杰莫丹胡正国段敬来姚会军刘杰
申请(专利权)人:中国科学院近代物理研究所
类型:新型
国别省市:

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