一种纳米线多色近红外光电探测器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种纳米线多色近红外光电探测器，解决的是均匀性和稳定性差，成品率低，造价昂贵的技术问题，通过采用包括：上下依次设置的Si100基底和SiO2绝缘层，SiO2绝缘层设置多根不同组分的InAsP纳米线作为光吸收区，两端设有金属电极，金属电极覆盖在多根纳米线的两端，并形成欧姆接触；多根纳米线排列与金属电极垂直，纳米线之间相互平行的技术方案，较好的解决了该问题，可用于光电探测器中。可用于光电探测器中。可用于光电探测器中。

【技术实现步骤摘要】
一种纳米线多色近红外光电探测器


[0001]本技术涉及光电探测器领域，具体涉及一种纳米线多色近红外光电探测器。

技术介绍

[0002]光电探测器指的是能将光信号转换为可度量的电信号的一种器件，光电探测器采集光信号，相当于设备的“眼睛”。随着科技的进步，探测器向多波长发展，多色探测器可以得到待测物的“彩色”图像，使得探测信息更丰富、更精确和可靠，极大地提升了待测目标的识别能力。多色红外探测器可同时在多个波段采集目标的特征信息。类似于人眼视网膜三种视锥细胞具有能识别不同颜色的能力，多波长探测能力，可提供被观测物体的更多信息多色光电探测器具有效率高、目标识别能力更强，误警率低、空间分辨率高等优点。传统的多色探测器是由不同波段的探测器组合形成的，每个器件需要独立的成像光路，系统复杂，探测效率低，体积大，且价格昂贵。此外，不同器件采集的空间数据的融合涉及繁琐的图像配准问题，如图像时序同步、不同光轴的平行性校准等，数据处理耗时。与之相比，单片集成式多色探测器，具有集成化、精度和效率高等优点。但是传统的单片集成式多色探测器采用平面型的器件结构，如果超过临界厚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纳米线多色近红外光电探测器，其特征在于：所述纳米线多色近红外光电探测器包括：上下依次设置的Si(100)基底和SiO2绝缘层，SiO2绝缘层设置多根不同组分的InAsP纳米线作为光吸收区，两端设有金属电极，金属电极覆盖在多根纳米线的两端，并形成欧姆接触；多根纳米线排列与金属电极垂直，纳米线之间相互平行。2.根据权利要求1所述的纳米线多色近红外光电探测器，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘林生，苗腾，陈春明，刘乐福，黄祥恩，宋树祥，解文豪，董鹏堂，李锡铭，
申请(专利权)人：广西师范大学，
类型：新型
国别省市：