狭缝喷嘴制造技术

本发明专利技术提供一种排出口的宽度在长度方向均匀的狭缝喷嘴。该狭缝喷嘴可降低由螺栓直接传递来的应力所导致的对涂敷分布的影响。在沿长度方向延伸的沟槽（１６、１７）上形成穿插螺栓（３１）的通孔（１１、１２）的端部开口，而不是使之与对面的半体（２）的相对面直接接触，由此，螺栓（３１）的紧固力不会集中在通孔（１１、１２）的开口周缘，而是在喷嘴的长度方向均匀地分散。其结果，狭缝状排出口（１４）的宽度也变得均匀。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种以规定的宽度在玻璃基板或半导体晶片等被处理物的表面涂敷光致抗蚀剂液或形成滤色片的涂敷液的狭缝喷嘴。
技术介绍
如专利文献1所示，狭缝喷嘴一般通过接合左右的半体而构成。具体来讲，如图5所示，在左右的半体101、102上在宽度方向形成有通孔103，通过在该通孔103中穿插并紧固螺栓104来组装狭缝喷嘴。在此状态下，在左右的半体101、102之间，形成有涂敷液的储存部105和狭缝状排出部106。此外，在专利文献2和专利文献3中也公开了相同结构的狭缝喷嘴。其结构也均为通过用螺栓紧固左右的半体来组装狭缝喷嘴。专利文献1JP特开平11-274071号公报专利文献2JP特开平11-57533号公报专利文献3JP特开2000-33312号公报但是，对于上述结构的狭缝喷嘴而言，在用螺栓紧固左右的半体时，由于从螺栓向靠近螺栓的部分，即螺栓穿插用通孔周边直接传递应力，所以与其它部分相比，通孔周边被更牢地紧固，从而狭缝状排出口的宽度在局部有所不同，出现涂敷分布不均的问题。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术提供一种可降低由螺栓直接传递来的应力所导致的对涂敷分布的影响的狭缝喷嘴。本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种狭缝喷嘴，以规定宽度在被处理物表面涂敷涂敷液，该狭缝喷嘴的特征在于，上述狭缝喷嘴在左右的半体上，在宽度方向形成有螺栓穿插用通孔，在上述左右的半体中的至少一个半体的对接面上，在长度方向连续地形成有其上形成上述螺栓穿插用通孔的开口的 沟槽。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高濑真治，升芳明，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]