磁控溅射生产线罐体旋片泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射生产线罐体旋片泵，本实用新型专利技术在使用时，定子和旋片配合将气缸内分隔为三个区域，旋片逆时针转动时从进气口抽气，并从出气口排气，将进气口对接太阳能管的需要抽真空的区域，从而实现抽气和排气实现抽真空；活动板套设在固定板上构成活塞结构以实现伸缩，牵引电磁铁排斥永磁片以向外推活动板，在磁推力的作用下，活动板始终具有向外伸长趋势，从而贴紧气缸内壁以分隔三个区域；通过磁推动的方式使得旋片推紧在气缸内壁上，在活动板活塞伸缩往复运动中，只有无接触式的磁力推动，从而避免了机械往复结构的不可靠性为旋片带来的不可靠性。可靠性为旋片带来的不可靠性。可靠性为旋片带来的不可靠性。

【技术实现步骤摘要】
磁控溅射生产线罐体旋片泵


[0001]本技术涉及太阳能器件
，具体涉及一种磁控溅射生产线罐体旋片泵。

技术介绍

[0002]真空管是太阳能热水器的核心，内外层之间为真空。在内玻璃管的表面上需要利用特种工艺涂有光谱选择性吸收涂层，用来最大限度的吸收太阳辐射能。在镀膜时主要采用磁控溅射的方式进行，在生产线中，需要先对太阳能真空管进行抽真空，现有的低成本抽真空泵一般采用旋片式真空泵，目前的旋片式真空泵的旋片多采用弹簧装置进行长度伸缩，这种结构在太阳能真空管这种高真空要求的生产线中，高真空度和高速运转的状态下，弹簧装置存在高负荷的往复机械运动，抽真空过程中，弹簧装置会受到大量的横向作用力，很容易导致弹簧装置爆裂。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中的缺陷，本技术提供磁控溅射生产线罐体旋片泵，以降低旋片爆裂概率。
[0004]磁控溅射生产线罐体旋片泵，包括泵体，所述泵体开设有进气口和出气口，所述泵体内部还包括截面为圆形的气缸，所述气缸内设置有定子和旋片，所述定子上设有用于驱动旋片转动的电机，电机驱动所述旋片转动，所述旋片的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.磁控溅射生产线罐体旋片泵，其特征在于：包括泵体(1)，所述泵体(1)开设有进气口(101)和出气口(102)，所述泵体(1)内部还包括截面为圆形的气缸(5)，所述气缸(5)内设置有定子(2)和旋片(3)，所述定子(2)上设有用于驱动旋片(3)转动的电机，电机驱动所述旋片(3)转动，所述旋片(3)的转轴与气缸(5)中轴不共轴，所述定子(2)的一部分与气缸(5)内壁相连固定，所述旋片(3)始终将所述气缸(5)分隔为两个区域，所述进气口(101)通至定子(2)的左侧，所述出气口(102)通至定子(2)的右侧；所述旋片(3)包括转轴(306)，所述转轴(306)与定子(2)的电机转轴连接固定，转轴(306)的两边固定有第一固定板(305)和第二固定板(307)；所述第一固定板(305)外围套设有第一活动板(302)，第一固定板(305)内部开设有空腔，第一活动板(302)的空腔与第一固定板(305)的空腔相通，第一活动板(302)的空腔内设置有磁固定板(312)，所述磁固定板(312)上设置有多个第一永磁片(303)，所述第一固定板(305)的空腔内设置有第一牵引电磁铁(304)，第一牵引电磁铁(304)始终对第一永磁片(303)施有排斥电磁力；所述第二固定板(307)外围套设有第二活动板(309)，第二固定板(307)内部开设有空腔，第二活动板(309)的空腔与第二固定板(307)的空腔相通，第二活动板...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴存春，崔永增，
申请(专利权)人：大理星球太阳能科技开发有限公司，
类型：新型
国别省市：