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本实用新型公开了一种磁控溅射生产线罐体旋片泵，本实用新型在使用时，定子和旋片配合将气缸内分隔为三个区域，旋片逆时针转动时从进气口抽气，并从出气口排气，将进气口对接太阳能管的需要抽真空的区域，从而实现抽气和排气实现抽真空；活动板套设在固定板上...
该专利属于大理星球太阳能科技开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大理星球太阳能科技开发有限公司授权不得商用。

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