【技术实现步骤摘要】
全自动晶圆分选机固晶环校正机构
[0001]本专利技术涉及一种晶圆分选机，更具体的说，涉及一种全自动晶圆分选机的校正机构。
技术介绍
[0002]在现有技术中，晶片分选机需要对通过测试后的不同电子数据晶片进行分选，几百或几千个不同数据的晶片附着于一块基片中，多个基片竖放于一个基片槽中。当前技术具备有自动化的分选设备，但是，由于当前技术中的分选设备存在着固晶环校正机构的精度差的技术问题，在晶片分选时容易出现校正不精准的缺陷，由于晶片体积细小，固晶环校正机构不能精确校位进行取晶固定是现有技术中设备存在的技术缺陷，当前取晶片工序的自动化设备存在着精度差的技术缺陷，成为本领域技术人员急待解决的技术问题。
技术实现思路
[0003]本专利技术的技术目的是克服现有技术中晶圆分选机存在着校正不精准并且设备复杂的技术问题，提供一种通过横轴及竖轴定位，并通过圆形固晶环实现旋转精准定位的全自动晶圆分选机固晶环校正机构。
[0004]为实现以上技术目的，本专利技术的技术方案是：
[0005]全自动晶圆分选机固晶环校正机构，包括有Y轴运动电机，所述Y轴运动电机的电机轴上设有丝杆传动结构，丝杆传动结构的移动块上设有固晶环固定块，所述固晶环固定块上设有固晶环驱动电机，所述固晶环驱动电机的电机轴与固晶环套设有传动皮带；固晶环的一侧设有晶片固定盘，所述固晶环与固晶环固定块之间设有轴转结构；Y轴运动电机及固晶环固定块设于一X轴运动电机上并由X轴运动电机水平移动。
[0006]更进一步的，所述固晶环固定块上设有固...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.全自动晶圆分选机固晶环校正机构，其特征是：包括有Y轴运动电机，所述Y轴运动电机的电机轴上设有丝杆传动结构，丝杆传动结构的移动块上设有固晶环固定块，所述固晶环固定块上设有固晶环驱动电机，所述固晶环驱动电机的电机轴与固晶环套设有传动皮带；固晶环的一侧设有晶片固定盘，...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓朝旭，
申请(专利权)人：深圳市朝阳光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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