一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺制造技术

本发明专利技术公开一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺，包括一组以上的杠杆耦合检测机构、驱动电容、检测质量块、外解耦机构、内解耦机构和菱形耦合机构，杠杆耦合检测机构与外解耦机构相连，外解耦机构与检测质量块相连，检测质量块与内解耦机构相连，相邻的内解耦机构之间通过菱形耦合机构相连，所述各机构和驱动电容通过各自的锚点固定。采用压阻/压电检测，有利于减小陀螺体积，提高精度；采用杠杆耦合检测机构和菱形耦合机构，提高陀螺力学环境适应性；压阻/压电检测梁与杠杆相连，提高陀螺灵敏度；杠杆两端通过外解耦合机构与检测质量块相连，有利于提高陀螺灵敏度和精度。有利于提高陀螺灵敏度和精度。有利于提高陀螺灵敏度和精度。

【技术实现步骤摘要】
一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺


[0001]本专利技术涉及一种微机械陀螺，特别是关于一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺。

技术介绍

[0002]微机械陀螺因具有体积小、重量轻、成本低、功耗小、易集成等优点而有着广泛的市场需求，已应用于工业、农业、汽车、消费电子等民用以及兵器、航天等军用领域。随着应用领域的拓展和使用要求的提高，要求微机械陀螺的体积不断缩小，精度不断提高、环境适应性不断增强，而小体积、精度和环境适应性难以兼顾。
[0003]现有的微机械陀螺多采用两质量块或四质量块的音叉耦合结构，采用静电激励和电容检测，为提高检测精度，往往需要较大的检测电容，但是大的检测电容一方面要占用较大的芯片面积，从而增大陀螺面积，另一方面大的电容还会引入较大的耦合干扰，无法实现小体积下的高精度要求，而且，电容的增大还会增大运动阻尼，导致品质因子降低而不利于提高陀螺精度；两质量块或四质量块的音叉耦合结构使得非工作模态难以提高，从而难以提高陀螺的环境适应能力。现有的采用压阻检测的微机械陀螺，一方面采用音叉耦合，非工作模态难以提高，从而难以提高陀螺的环本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺，其特征在于：包括至少一组杠杆耦合检测机构、检测质量块、外解耦机构、内解耦机构、菱形耦合机构和驱动电容；其中，各组杠杆耦合检测机构、检测质量块、外解耦机构、内解耦机构、菱形耦合机构和驱动电容均相对于陀螺中心线对称分布；所述的杠杆耦合检测机构包括杠杆、柔性铰链、铰链锚点、压阻/压电检测梁和检测梁锚点，所述柔性铰链连接杠杆和铰链锚点，压阻/压电检测梁连接杠杆和检测梁锚点，所述杠杆两端各与一组外解耦机构连接；所述的外解耦机构位于检测质量块的外侧，外解耦机构包括外解耦框架、第一外解耦折叠梁、第二外解耦折叠梁、第三外解耦折叠梁和外解耦锚点，第一外解耦折叠梁连接外解耦框架和检测质量块，第二外解耦折叠梁连接外解耦锚点和外解耦框架，第三外解耦折叠梁连接外解耦框架和杠杆；所述的内解耦机构位于每相邻的两个检测质量块之间，内解耦机构包括内解耦框架、...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭中洋，
申请(专利权)人：北京芯动致远微电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：