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本发明公开一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺，包括一组以上的杠杆耦合检测机构、驱动电容、检测质量块、外解耦机构、内解耦机构和菱形耦合机构，杠杆耦合检测机构与外解耦机构相连，外解耦机构与检测质量块相连，检测质量块与内解耦机构相连，相邻的内解耦...
该专利属于北京芯动致远微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京芯动致远微电子技术有限公司授权不得商用。

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