一种便于检修的晶圆测试仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于检修的晶圆测试仪，包括保护壳体，所述保护壳体的内腔滑动设有安装板，所述保护壳体的上端安装有插接组件且所述插接组件与安装板插接，所述安装板的底部和保护壳体内腔底部均安装有横板且两组所述横板上均安装有弹性磁条，所述保护壳体的内腔壁上固定有顶起弹簧，所述安装板的下端呈对称设有移动组件。本实用新型专利技术所述的一种便于检修的晶圆测试仪，本晶圆测试仪将各电气元件安装在安装板上，且安装板滑动设置在保护壳体的内腔，可通过插接组件与安装板的插接可将其固定在保护壳体的内腔，当接触插接组件与安装板的插接时，通过顶起弹簧的弹力作用可使得安装板做移动保护壳体的运动，便于对晶圆测试仪的拆卸检修。的拆卸检修。的拆卸检修。

【技术实现步骤摘要】
一种便于检修的晶圆测试仪


[0001]本技术涉及圆晶测试设备领域，特别涉及一种便于检修的晶圆测试仪。

技术介绍

[0002]现有的圆晶电阻率测试仪的电气元件一般电性连接在电路板上，而电路板设置在壳体的内腔，其壳体的面板通过螺丝固定连接在一起，当需要对圆晶电阻率测试仪内部电气元件进行检修时，需要旋下螺丝，比较麻烦，不便于对圆晶电阻率测试仪的检修，故此，我们提出一种便于检修的晶圆测试仪来解决此问题。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种便于检修的晶圆测试仪，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0005]一种便于检修的晶圆测试仪，包括保护壳体，所述保护壳体的内腔滑动设有安装板，所述保护壳体的上端安装有插接组件且所述插接组件与安装板插接，所述安装板的上安装有电路板且所述电路板上安装有电气元件，所述安装板的底部和保护壳体内腔底部均安装有横板且两组所述横板上均安装有弹性磁条，所述保护壳体的内腔壁上固定有顶起弹簧且所述顶起弹簧的一端与安装在安装板底部的横板的一端本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于检修的晶圆测试仪，包括保护壳体(1)，其特征在于：所述保护壳体(1)的内腔滑动设有安装板(3)，所述保护壳体(1)的上端安装有插接组件(2)且所述插接组件(2)与安装板(3)插接，所述安装板(3)的上安装有电路板(8)且所述电路板(8)上安装有电气元件，所述安装板(3)的底部和保护壳体(1)内腔底部均安装有横板(6)且两组所述横板(6)上均安装有弹性磁条(7)，所述保护壳体(1)的内腔壁上固定有顶起弹簧(5)且所述顶起弹簧(5)的一端与安装在安装板(3)底部的横板(6)的一端相抵触，所述安装板(3)的下端呈对称设有移动组件(4)。2.根据权利要求1所述的一种便于检修的晶圆测试仪，其特征在于：所述安装板(3)包括竖板(31)，所述竖板(31)的右端呈对称设有两组侧板(34)且两组所述侧板(34)之间设有平板(33)，两组所述侧板(34)的上下端及其侧端均设置有若干组万向滚珠(32)且万向滚珠(32)的外壁与保护壳体(1)的内腔壁相抵触。3.根据权利要求2所述的一种便于检修的晶圆测试仪，其特征在于：所述竖板(31)的四侧端上均通过粘黏剂固定与弹性密封垫且四...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾卫民，吴卓鸿，张梅，吴熙文，
申请(专利权)人：无锡芯启博科技有限公司，
类型：新型
国别省市：