一种半导体尾气燃烧室的升降移除机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体尾气燃烧室的升降移除机构，旨在解决手动拆装燃烧室时耗费人力、也容易碰伤零件、造成安全事故的不足。该实用新型专利技术包括相对燃烧室对称设置的移动本体，移动本体包括横移单元和升降单元，升降单元包括设于燃烧室侧壁的连接筒、支撑杆、升降螺杆以及固定板，支撑杆沿燃烧室的径向方向插装并固定连接在连接筒上，固定板上设有升降导槽，支撑杆的端部伸出连接筒并与升降导槽相对滑动，升降螺杆螺纹连接固定板，升降螺杆的顶部抵接连接筒，横移单元包括滑槽构件和固定连接在固定板上的滑条，滑条滑动连接滑槽构件。本装置节省人工，不会发生设备和人身事故。不会发生设备和人身事故。不会发生设备和人身事故。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体尾气燃烧室的升降移除机构


[0001]本技术涉及燃烧室维护设备，更具体地说，它涉及一种半导体尾气燃烧室的升降移除机构。

技术介绍

[0002]在集成电路的生产制造过程中，其中的一些工艺流程模块如：化学气相沉积、刻蚀、离子注入和扩散，以及非晶硅薄膜太阳能、液晶及薄膜的PECVD工艺等都会用到大量的特殊工艺气体。这些气体参与工艺反应之后，以废气的形式被排放,其种类可分为：有毒、酸性、碱性、自燃、易燃、腐蚀性以及PFCS与VOC类气体等。
[0003]这些原来作为工艺原料或者反应副产物的有毒有害气体，其中一些有腐蚀各类管线的危险，有的在与其它危害物相遇或累积较高浓度时会有火灾爆炸的危险，还有的会造成作业人员中毒、破坏大气环境等危害。为避免这些危害的发生，这些气体都必须经过无害化处理，使之符合国家大气排放标准后，方可排入大气中。目前的半导体、光伏行业等工厂大都会在工艺设备后端安装尾气处理装置用于处理这些危害性的特殊气体。
[0004]燃烧式尾气处理设备间隔一段时间需要维护保养，因燃烧室较重拆装会困难且拆装过程中容易碰伤零件或伤到人。因此，亟需一种半导体尾气燃烧室的升降移除机构来移出设备，减少拆装难度，避免伤人或碰伤零件。

技术实现思路

[0005]本技术克服了手动拆装燃烧室时耗费人力、也容易碰伤零件、造成安全事故的不足，提供了一种半导体尾气燃烧室的升降移除机构，它能轻松的拆装燃烧室，不会发生设备和人身事故。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0007]一种半导体尾气燃烧室的升降移除机构，包括相对燃烧室对称设置的移动本体，移动本体包括横移单元和升降单元，
[0008]升降单元包括设于燃烧室侧壁的连接筒、支撑杆、升降螺杆以及固定板，支撑杆沿燃烧室的径向方向插装并固定连接在连接筒上，固定板上设有升降导槽，支撑杆的端部伸出连接筒并与升降导槽相对滑动，升降螺杆螺纹连接固定板，升降螺杆的顶部抵接连接筒，
[0009]横移单元包括滑槽构件和固定连接在固定板上的滑条，滑条滑动连接滑槽构件。
[0010]燃烧室为了保证气密性，需要先与上部结构分离，因此，需要先通过升降单元降下燃烧室，然后再利用横移单元将燃烧室移出。燃烧室在解除相关的锁紧结构后受到的竖向方向的支撑来自于升降螺杆对连接筒的支撑。转动升降螺杆可以降下燃烧室。燃烧室在降下的过程中受到来自升降导槽和支撑杆的导向。支撑杆与连接筒固定连接，其端部伸入到固定板的升降导槽中，所述导向作用避免燃烧室相对固定板产生左右晃动。在燃烧室降低到可以正常横移位置时，推动燃烧室沿滑槽机构方向移动。所述方式简单可靠，不需要过多人力参与，在降下的过程中不会造成磕碰导致燃烧室失效，全程受到相关结构的导向和限
位，可以有效保障人身安全。
[0011]作为优选，滑槽构件包括第一滑槽和第二滑槽，第一滑槽滑动连接第二滑槽，第二滑槽滑动连接滑条。所述结构可以在减小滑槽完全收缩状态下的长度，实现多段式的伸长，所述结构在抽屉中也有应用，减少了占用体积。其中第一滑槽固定连接在相邻的墙壁或隔板上，滑条固定连接在固定板上，第一滑槽、第二滑槽和滑条的端部设有避免从滑槽中脱出的限位结构，此为本领域的公知常识，不在此赘述。
[0012]作为优选，支撑杆伸出升降导槽并套装有滑块，滑块上设有升降导槽适应的滑槽。支撑杆末端细，滑块的滑槽与升降导槽适应使得滑块只能沿升降导槽方向运动。
[0013]作为优选，连接筒的底部设有抵接孔，升降螺杆的端部呈半球状，升降螺杆插装在抵接孔中。所述结构使得升降螺杆与连接筒之间的连接更可靠，避免升降螺杆抵偏连接筒，端部的半球状可减少螺杆旋转时与抵接孔的摩擦。
[0014]作为优选，固定板上固定连接有定位板，定位板上设有到位螺栓和定位螺栓，定位螺栓分别螺纹连接支撑杆和定位板，到位螺栓螺纹连接定位板并穿过定位板。定位螺栓为前文提及的锁紧结构，在燃烧室到达安装位置后，通过定位螺栓固定连接定位板和滑块，与升降螺杆一起对燃烧室进行定位。调节到位螺栓的位置，当滑块抵接到位螺栓时显示燃烧室已经到达上限位。
[0015]作为优选，支撑杆螺纹连接连接筒。所述结构可以调节燃烧室相对移动本体的左右位置，便于现场调节。
[0016]作为优选，固定板的底部设有固定块，固定块呈“L”字形，升降螺杆螺纹连接固定块，升降螺杆的下端设有手柄。手柄为沿升降螺杆径向方向滑动连接在其中的杆体，通过转动所述手柄转动升降螺杆更为省力。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果是：（1）节省人工，不会发生设备和人身事故；（2）多部件采用螺纹连接方式，方便调试，可以消除零件的尺寸偏差。
附图说明
[0018]图1是本技术的立体图；
[0019]图2是本技术的剖面图；
[0020]图3是本技术的移动本体；
[0021]图4是本技术的移动本体的爆炸图；
[0022]图中：
[0023]连接筒1、抵接孔2、升降螺杆3、支撑杆4、固定块5、滑块6、固定板7、升降导槽8、第一滑槽9、第二滑槽10、滑条11、滑槽12、定位板13、到位螺栓14、定位螺栓15、手柄16。
具体实施方式
[0024]下面结合附图与实施例对本公开作进一步说明。
[0025]应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0026]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根
据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0027]在本公开中，术语如“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“侧”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，只是为了便于叙述本公开各部件或元件结构关系而确定的关系词，并非特指本公开中任一部件或元件，不能理解为对本公开的限制。
[0028]本公开中，术语如“固接”、“相连”、“连接”等应做广义理解，表示可以是固定连接，也可以是一体地连接或可拆卸连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的相关科研或技术人员，可以根据具体情况确定上述术语在本公开中的具体含义，不能理解为对本公开的限制。
[0029]实施例：
[0030]一种半导体尾气燃烧室的升降移除机构，如图1、2所示，包括相对燃烧室对称设置的移动本体，移动本体包括横移单元和升降单元，
[0031]如图2、3所示，升降单元包括设于燃烧室侧壁的连接筒1、支撑杆4、升降螺杆3以及固定板7，支撑杆4沿燃烧室的径向方向插装并固定连接在连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体尾气燃烧室的升降移除机构，其特征是，包括相对燃烧室对称设置的移动本体，移动本体包括横移单元和升降单元，升降单元包括设于燃烧室侧壁的连接筒、支撑杆、升降螺杆以及固定板，支撑杆沿燃烧室的径向方向插装并固定连接在连接筒上，固定板上设有升降导槽，支撑杆的端部伸出连接筒并与升降导槽相对滑动，升降螺杆螺纹连接固定板，升降螺杆的顶部抵接连接筒，横移单元包括滑槽构件和固定连接在固定板上的滑条，滑条滑动连接滑槽构件。2.根据权利要求1所述的一种半导体尾气燃烧室的升降移除机构，其特征是，滑槽构件包括第一滑槽和第二滑槽，第一滑槽滑动连接第二滑槽，第二滑槽滑动连接滑条。3.根据权利要求1所述的一种半导体尾气燃烧室的升降移除机构，其特征是，支撑杆伸出升降导槽并套装...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁云鑫，周永君，李剑聪，苏小海，刘黎明，
申请(专利权)人：杭州慧翔电液技术开发有限公司，
类型：新型
国别省市：