测量电阻率的小游移探针头制造技术

一种测量电阻率的小游移探针头，其特征在于（图１）主要包括光面探针（１）、上导引片（４）、红宝石轴套（２４）、下导引片（２３）、以及悬臂式Ｓ形弹簧（１９），在上导引片（４）和下导引片（２３）的轴套（２４）内孔间插入光面探针（１）；上导引片（４）、下导引片（２３）与锥套（３）、弹簧座（１８）及绝缘护片（５）依靠定位销（２２）准确对位；悬臂式Ｓ形弹簧（１９）底端粘接宝石片（２０），宝石片（２０）压着探针（１）顶端，光面探针（１）靠顶端处焊接有定位套（２１），游丝（６）的两端分别与探针（１）、装在接线座（７）上的直角接线柱（８）连接，直角接线柱（８）的另一头通过内引线（１０）与航空插座（１２）上插针联接在一起，调节每根针的压力的调压螺丝（９）装在调压螺丝座（１６）上，调节整个探针头对测试面的总压力的螺丝（２）装在下导引片（２３）上。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种探针头，它是准确测量硅、锗单晶电阻率及各种导电薄膜方块电阻(又称面电阻率)的关键部件，具体地是测量电阻率的小游移探针头。
技术介绍
电阻率是半导体材料的主要质量参数之一，目前多采用探针头来测量。中华人民共和国国家计量检定规程“四探针电阻率测试仪”(JJG508-87)明确规定四探针头的探针间距偏差不大于2％，探针游移率不大于0.3％。现有的探针头都是有探针、探针垂直运动的导引部件、探针的加压弹簧三大要件以精确的几何定位构成的，其中一种探针头的探针为非等径探针，精度高，但加工制造成本太高，无法被广泛采用；另一种探针头是通过模具上四个位置精确的小孔和模针，在锥套上用环氧树脂注塑出四个小深孔，有一定的精度，制造成本低，但由于环氧树脂小深孔的直径难以控制和测量，因此影响了精度的提高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种小游移探针头，它可以显著提高探针头的精度，并以较低成本制造而成，有利于解决半导体、液晶行业以及新材料科学研究中要更准确测量电阻率的需要。如图1所示，本技术的测量电阻率的小游移探针头，主要包括光面探针(1)、上导引片(4)、红宝石轴套(24)、下导引片(23)、以及悬本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量电阻率的小游移探针头，其特征在于(图1)主要包括光面探针(1)、上导引片(4)、红宝石轴套(24)、下导引片(23)、以及悬臂式S形弹簧(19)，在上导引片(4)和下导引片(23)的轴套(24)内孔间插入光面探针(1)；上导引片(4)、下导引片(23)与锥套(3)、弹簧座(18)及绝缘护片(5)依靠定位销(22)准确对位；悬臂式S形弹簧(19)底端粘接宝石片(20)，宝石片(20)压着探针(1)顶端，光面探针(1)靠顶端处焊接有定位套(21)，游丝(6)的两端分别与探针(1)、装在接线座(7)上的直角接线柱(8)连接，直角接线柱(8)的另一头...

【专利技术属性】
技术研发人员：王世进，
申请(专利权)人：王世进，
类型：实用新型
国别省市：