超薄镜片的镀膜应变的计算方法及其控制方法、超薄镜片技术

本发明专利技术公开了一种超薄镜片的镀膜应变的计算方法及其控制方法、超薄镜片，其中镀膜应变计算：获取超薄镜片所需膜层材料的镀膜应力与厚度之间的关系模型，根据各膜层所需厚度求解对应的镀膜应力，再按改进的斯通利公式计算超薄镜片的镀膜层应力，进而得到镀膜层对基片的应变大小；镀膜应变控制：基于超薄镜片的镀膜层应力，设计一种金属氧化膜层，且其镀膜应力与镀膜层应力的矢量和小于预设应力阈值，将设计的金属氧化膜层添加到超薄镜片的镀膜层中，实现对镀膜应力的控制。本发明专利技术可以对超薄镜片在镀膜过程中的应变进行预测和控制，得到镀膜后无应变的超薄镜片。镀膜后无应变的超薄镜片。镀膜后无应变的超薄镜片。

【技术实现步骤摘要】
超薄镜片的镀膜应变的计算方法及其控制方法、超薄镜片


[0001]本专利技术属于光学薄膜
，具体涉及一种超薄镜片的镀膜应变的计算方法及其控制方法、超薄镜片。

技术介绍

[0002]光学镀膜是利用真空镀膜机在光学玻璃上镀制各种光学薄膜的过程，光学薄膜在光学系统中的作用非常重要。夫琅和费早在1827年制成了可以说是第一批减反射膜，他将经过精细地抛光的平面玻璃一半放在浓硫酸或浓硝酸中腐蚀而形成减反射膜。二十世纪三十年代中期德国的鲍尔和美国的斯特朗先后用真空蒸发方法制备了单层减反射膜，这种简单的减反射膜至今在一般的光学装置上还被大量地应用。
[0003]当光射到两种透明介质的界面时，若光从光密介质射向光疏介质，光有可能发生全反射；当光从光疏介质射向光密介质，反射光有半波损失。对于玻璃镜头上的增透膜，其折射率大小介于玻璃和空气折射率之间，当光由空气射向镜头时，使得膜两面的反射光均有半波损失，从而使膜的厚度仅仅只满足两反射光的光程差为半个波长。膜的后表面上的反射光比前表面上的反射光多经历的路程，即为膜的厚度的两倍。所以，膜厚应为光在薄膜介质中波本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超薄镜片的镀膜应变的计算方法，所述超薄镜片是指厚度不大于0.1mm的镜片；其特征在于，包括：步骤A1，对于超薄镜片所需的第个膜层材料，均获取其镀膜应力与厚度之间的关系模型；，为超薄镜片所需的膜层层数；步骤A2，获取超薄镜片所需的第个膜层的厚度，基于该膜层材料的镀膜应力与厚度关系模型，求解该膜层的镀膜应力；；步骤A3，根据超薄镜片所需的每个膜层的镀膜应力，按下列关系式计算超薄镜片的镀膜层应力：式中，分别是超薄镜片的基片的杨氏模量、泊松比和厚度，为镀膜区域的半径；步骤A4，根据超薄镜片的镀膜层应力，求解得到超薄镜片的镀膜层对基片的应变大小。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，每个膜层材料的镀膜应力与厚度的关系模型为：型为：式中，F和d分别表示任意膜层材料的镀膜应力和厚度为关系模型中的m+1个系数；获取每个膜层材料的镀膜应力与厚度之间的关系模型，即为求解该关系模型中的系数，求解方法为：对于每个膜层材料，获取多种不同厚度的膜层材料在基片上镀膜后的应力，每种厚度得到一组镀膜应力与厚度数据，将所有的数据组输入到系数未知的关系模型中并采用偏最小二乘法进行拟合计算，得到该膜层材料的关系模型系数。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤A4求解应变的计算式为：式中，为超薄镜片的镀膜层对基片的应变大小，表示镀膜层的杨氏模量。4.一种超薄...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘安练，范鹏，
申请(专利权)人：湖南大学，
类型：发明
国别省市：