半导体光学测量真空辅助低温装置制造方法及图纸

一种半导体光学测量真空辅助低温装置，属于光学测试辅助设备。由聚四氟乙烯盖（１１）密封并装有间隙为６ｍｍ的上下两个导光玻璃窗口（８、９）把真空样品室（４）密封，间隙中装有电阻加热丝（１０）保证玻璃窗口不结霜，样品室（４）与无氧铜散热器做成一体，并放入有夹层真空的不锈钢容器（２）中形成样品（７）的低温，从而实现了样品的现场光学测量。本装置价格低，易制作，方便实用适于在低温状态下各种低温光学系统使用。（*该技术在2007年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体光学测试辅助设备，具体地讲是一种方便进行光学测量的真空辅助低温装置。在有些半导体材料及器件的光-荧光测量中，为了获得表征其特征的参数和曲线，通常需要所测样品保持在液氮温度下，在光-荧光测量中现场(in situ)完成。目前，除了使用进口温控装置外，一般是把样品直接浸泡在杜瓦瓶的液氮里，在测量过程中每隔几分种就要用电吹风吹化杜瓦瓶测壁小窗口上的霜来测量。液氮的补充也是手工操作，需把盖子拿下补充液氮。这种简便设备，这种测量方法使得样品很难保持测量温度，测量需断续进行。本设计的目的是采用无氧铜散热器并制成带双层光学窗口的真空样品室实现了光-荧光的现场测量。本设计的主要技术特征是将上部做成为敞口圆筒形真空样品室(4)，下部为同心园柱的无氧铜散热器(3)，通过绝热硬质泡沫盖(12)同心地放入带真空夹层的不锈钢容器(2)中，真空样品室(4)的中心突台(6)上放置样品(7)，其一侧并向外连通有真空管路(5)，通过真空油脂密封在真空样品室(4)的上方盖有下层导光玻璃窗口(9)，置放有上层导光玻璃窗口(8)和电阻加热丝(10)的聚四氟乙烯盖(11)通过螺纹与真空样品室(4)密封联本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体光学测量真空辅助低温装置，包括有外部套有保温外壳（１）的带真空夹层的园桶形不锈钢容器（２），绝热硬质泡沫盖（１２），补充液氮孔（１４）以及放气孔（１３）等，其特征在于将上部做成为敞口园筒形真空样品室（４），下部为同心园柱的无氧铜散热器（３），通过绝热硬质泡沫盖（１２）同心地放入带真空夹层的不锈钢容器（２）中，真空样品室（４）的中心突台（６）上放置样品（７），（４）的一侧向外连通有真空管路（５），通过油脂密封在真空样品室（４）的上方盖有下层导光玻璃窗口（９），置放有上层导光玻璃窗口（８）和电阻加热丝（１０）的聚四氟乙烯盖（１１）通过螺纹与真空样品室（４）密封连接，穿过绝缘硬质泡沫盖（１...

【技术特征摘要】
1.一种半导体光学测量真空辅助低温装置，包括有外部套有保温外壳(1)的带真空夹层的园桶形不锈钢容器(2)，绝热硬质泡沫盖(12)，补充液氮孔(14)以及放气孔(13)等，其特征在于将上部做成为敞口园筒形真空样品室(4)，下部为同心园柱的无氧铜散热器(3)，通过绝热硬质泡沫盖(12)同心地放入带真空夹层的不锈钢容器(2)中，真空样品室...

【专利技术属性】
技术研发人员：武胜利，王立军，付德惠，刘云，
申请(专利权)人：中国科学院长春物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：22[中国|吉林]