下载半导体光学测量真空辅助低温装置的技术资料

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一种半导体光学测量真空辅助低温装置,属于光学测试辅助设备。由聚四氟乙烯盖(11)密封并装有间隙为6mm的上下两个导光玻璃窗口(8、9)把真空样品室(4)密封,间隙中装有电阻加热丝(10)保证玻璃窗口不结霜,样品室(4)与无氧铜散热器做成一体...
该专利属于中国科学院长春物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春物理研究所授权不得商用。

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