一种真空磁控溅射镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空磁控溅射镀膜机，涉及镀膜机技术领域，包括安装板、镀膜机本体，所述安装板的顶部固定安装有第一固定板，所述第一固定板的一侧开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内部滑动连接有第一滑块，所述第一滑块的一侧固定连接有第二固定板，所述第二固定板的内部开设有安装槽，本实用新型专利技术的有益效果为：通过利用齿轮的转动，可以与限位板外侧设置有齿条进行啮合连接，由此可以带动限位板进行移动，由此可以将限位板卡入至限位槽的内部，完成对镀膜机本体的限位和固定，保证了镀膜工件的使用效果，保护了镀膜机内部的电子元件，通过利用限位板移动同时带动第二滑块在第二滑槽的内部滑动，可以保证限位板滑动时的稳定性。定性。定性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空磁控溅射镀膜机


[0001]本技术涉及镀膜机
，具体为一种真空磁控溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]随着居民生活水平的提高，人们对玻璃制品的需求也越来越高，玻璃从传统的透明无色发展至今，市场上出现了形形色色的玻璃制品，近年来，人们为提高玻璃制品的视觉效果，使用真空镀膜机对玻璃制品进行镀膜处理，使玻璃制品看上去更为美观，而真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]但是现有的镀膜机进行工作会产生一定的振动，导致镀膜出来的工件使用效果下降，严重时可能会损坏镀膜机内部的电子元件，造成一定的经济损失，并且现有的镀膜机在长时间使用过后，其外侧会覆盖一层灰尘，可能会影响镀膜机的使用，降低了一定的工作效率，实用性较低，为此我们提出了一种真空磁控溅射镀膜机。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种真空磁控溅射镀膜机，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种真空磁控溅射镀膜机，包括安装板、镀膜机本体，所述安装板的顶部固定安装有第一固定板，所述第一固定板的一侧开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内部滑动连接有第一滑块，所述第一滑块的一侧固定连接有第二固定板，所述第二固定板的内部开设有安装槽，所述第二固定板的内部且位于安装槽的一侧开设有两个第二滑槽，所述安装槽的内部转动连接有齿轮，所述齿轮的一侧固定连接有电机。
[0006]优选的，所述两个第二滑槽的内部均滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的一侧固定连接有限位板，所述镀膜机本体的两侧均开设有限位槽，所述限位槽与限位板相适配。
[0007]优选的，所述限位板的外侧设置有齿条，所述齿轮与齿条啮合连接。
[0008]优选的，所述第一滑槽的内部转动连接有丝杆，所述第一固定板的顶部固定安装有电机本体，所述电机本体的输出端与丝杆固定连接，所述丝杆贯穿第一滑块并与第一滑块螺纹连接。
[0009]优选的，所述第二固定板的顶部固定安装有水箱，所述水箱的内部固定安装有水泵，所述水泵的时输出端固定连接有连接水管，所述连接水管的一端贯穿水箱并延伸至水箱的一侧，所述水箱的顶部开设有注入口。
[0010]优选的，所述水箱的一侧固定连接有清洗箱，所述清洗箱的内部设置有环形水管，所述环形水管与连接水管固定连接。
[0011]优选的，所述第二固定板的外侧开设有第二通槽，所述清洗箱的外侧开设有第一
通槽。
[0012]本技术提供了一种真空磁控溅射镀膜机，具备以下有益效果：
[0013]1、该真空磁控溅射镀膜机，通过利用齿轮的转动，可以与限位板外侧设置有齿条进行啮合连接，由此可以带动限位板进行移动，由此可以将限位板卡入至限位槽的内部，完成对镀膜机本体的限位和固定，保证了镀膜工件的使用效果，保护了镀膜机内部的电子元件，通过利用限位板移动同时带动第二滑块在第二滑槽的内部滑动，可以保证限位板滑动时的稳定性。
[0014]2、该真空磁控溅射镀膜机，通过利用水泵可以将水箱内部的水通过连接水管输送给环形水管，然后利用环形水管将水喷出完成对镀膜机本体的清洗，利用电机本体带动丝杆进行转动，可以带动第一滑块进行滑动，由此可以调节环形水管的位置，减小了使用的局限性，保证了镀膜机的使用率，提高了一定的工作效率。
附图说明
[0015]图1为本技术结构示意图；
[0016]图2为本技术第二固定板的俯视图；
[0017]图3为本技术图1中的A处放大图。
[0018]图中：1、安装板；2、镀膜机本体；3、丝杆；4、第一固定板；5、第一滑块；6、第一滑槽；7、电机本体；8、注入口；9、水泵；10、连接水管；11、水箱；12、环形水管；13、第一通槽；14、第二通槽；15、安装槽；16、第二滑块；17、第二滑槽；18、限位板；19、第二固定板；20、齿轮；21、限位槽；22、齿条；23、清洗箱。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]请参阅图1至图3，本技术提供一种技术方案：一种真空磁控溅射镀膜机，包括安装板1、镀膜机本体2，第一滑块5的一侧固定连接有第二固定板19，第二固定板19的内部开设有安装槽15，第二固定板19的内部且位于安装槽15的一侧开设有两个第二滑槽17，安装槽15的内部转动连接有可以带动限位板18进行移动的齿轮20，齿轮20的一侧固定连接有电机，两个第二滑槽17的内部均滑动连接有第二滑块16，通过利用限位板18移动同时带动第二滑块16在第二滑槽17的内部滑动，可以保证限位板18滑动时的稳定性，第二滑块16的一侧固定连接有可以对镀膜机本体2进行限位的限位板18，镀膜机本体2的两侧均开设有限位槽21，限位槽21与限位板18相适配，限位板18的外侧设置有齿条22，齿轮20与齿条22啮合连接，通过利用齿轮20的转动，可以与限位板18外侧设置有齿条22进行啮合连接，由此可以带动限位板18进行移动，由此可以将限位板18卡入至限位槽21的内部，完成对镀膜机本体2的限位和固定。
[0021]安装板1的顶部固定安装有第一固定板4，第一固定板4的一侧开设有第一滑槽6，第一滑槽6的内部滑动连接有第一滑块5，第一滑槽6的内部转动连接有丝杆3，第一固定板4的顶部固定安装有可以带动丝杆3进行转动的电机本体7，电机本体7的输出端与丝杆3固定
连接，丝杆3贯穿第一滑块5并与第一滑块5螺纹连接，通过利用电机本体7带动丝杆3进行滑动，由此可以带动第一滑块5进行升降，通过利用第一滑块5的升降可以调节镀膜机本体2限位的位置，并且可以根据情况调节环形水管12清洗的位置。
[0022]第二固定板19的顶部固定安装有水箱11，第二固定板19的外侧开设有第二通槽14，清洗箱23的外侧开设有第一通槽13，水箱11的一侧固定连接有清洗箱23，清洗箱23的内部设置有环形水管12，环形水管12与连接水管10固定连接，水箱11的内部固定安装有水泵9，水泵9的时输出端固定连接有连接水管10，连接水管10的一端贯穿水箱11并延伸至水箱11的一侧，水箱11的顶部开设有注入口8，通过利用水泵9可以将水箱11内部的水通过连接水管10输送给环形水管12，然后利用环形水管12将水喷出完成对镀膜机本体2的清洗，保证了镀膜机的使用率，提高了一定的工作效率。
[0023]综上，该真空磁控溅射镀膜机，使用时，首先利用电机本体7带动丝杆3进行转动，可以带动第一滑块5进行滑动，由此可以根据需求调节第二固定板19的位置，然后利用齿轮20的转动，可以与限位板18外侧设置有齿条22进行啮合连接，由此可以带动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空磁控溅射镀膜机，包括安装板(1)、镀膜机本体(2)，其特征在于：所述安装板(1)的顶部固定安装有第一固定板(4)，所述第一固定板(4)的一侧开设有第一滑槽(6)，所述第一滑槽(6)的内部滑动连接有第一滑块(5)，所述第一滑块(5)的一侧固定连接有第二固定板(19)，所述第二固定板(19)的内部开设有安装槽(15)，所述第二固定板(19)的内部且位于安装槽(15)的一侧开设有两个第二滑槽(17)，所述安装槽(15)的内部转动连接有齿轮(20)，所述齿轮(20)的一侧固定连接有电机。2.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述两个第二滑槽(17)的内部均滑动连接有第二滑块(16)，所述第二滑块(16)的一侧固定连接有限位板(18)，所述镀膜机本体(2)的两侧均开设有限位槽(21)，所述限位槽(21)与限位板(18)相适配。3.根据权利要求2所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述限位板(18)的外侧设置有齿条(22)，所述齿轮(20)与齿条(22)啮合连接。4.根据权利要求1所述的一种真...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹倩，
申请(专利权)人：唐山中土科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：