隧道型约瑟夫森器件及其制造方法技术

一种隧道型约瑟夫森器件包括由复合氧化物超导材料形成的一对超导体层和在这对超导体层之间形成的绝缘层。该绝缘层是由超导体层的复合氧化物超导材料中组成元素相同的复合氧化物形成的，但具有不呈现超导特性的原子比。此外，该超导体层和该绝缘层是在供氧的同时连续形成的。（*该技术在2010年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。进言之，涉及了一种有效利用复合氧化物系超导材料优异特征，新的。所谓的瑟夫森器件是通过超导体相互之间的弱耦合构成。目前已提出若干种结构作为用于实现这种弱耦合的具体构成，最典型的结构是人们所熟知的隧道型约瑟夫森器件。也就是说，隧道型约瑟夫森器件具有这样的结构，在一对超导体之间插入极薄的绝缘体层。迄今在实际制造的隧道型约瑟夫森器件中，用Nb、NbN、Pb的等作为超导体，用在Nb或Pb表面形成的氧化膜或者MgO或α－Si的淀积膜作为绝缘体层。然而，这些金属系超导体，通常超导临界温度非常之低，实际上若不用价格高昂的液体He,就不可能发挥出其有效的特性。另一方面，1988年专利技术(La、Ba)2CuO4和(La、Sr)2CuO4等复合氧化物烧结体是具有高Tc的超导材料。继而证实了以Y1Ba2Cu3O7-X表示其组分的复合氧化物，在液氮温度以上的温度范围内，呈现出有效的超导特性。对于象这样高的温度下呈现超导特性的材料，由于可使用廉价的液氮作为冷却介质，所以推动了超导技术的实际应用研究，为实现使用复合氧化物系超导材料的约瑟夫森器件进行着各种试验。然而，人们已经知道，使用上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有由复合氧化物系超导材料形成的一对超导体层和在这对超导体层之间形成的绝缘体层的隧道型约瑟夫森器件，其特征是该绝缘体层是由与形成该超导体层的复合氧化物的相同组成元素，但不呈现超导特性的组分比的复合氧化物形成。

【技术特征摘要】
JP 1989-3-31 82690/891.一种具有由复合氧化物系超导材料形成的一对超导体层和在这对超导体层之间形成的绝缘体层的隧道型约瑟夫森器件，其特征是该绝缘体层是由与形成该超导体层的复合氧化物的相同组成元素，但不呈现超导特性的组分比的复合氧化物形成。2.根据权利要求1所述的隧道型约瑟夫森器件，其特征是，前述一对超导体层的每一层由YBa2Cu3O7-x构成;前述绝缘体层由Y2Ba1Cu1O5-y或Y1Ba3Cu2O2构成。3.根据权利要求2所述的隧道型约瑟夫森器件，其特征是，前述绝缘体层膜厚为20-100。4.根据权利要求3所述的隧道型约瑟夫森器件，其特征是，前述1对超导体层的每一层厚度为1000-3000。5.根据权利要求4所述的隧道型约瑟夫森器件，其特征是，前述一对超导器件之一是在SrTio3单晶基片或MgO单晶基片上形成。6.根据权利要求1所述的隧道型约瑟夫森器件，其特征是，前述1对超导体层用RBa2Cu3O7-x(R表示镧系元素)构成;前述绝缘体层由R2BaCuO7-x构成。7.一种具有由复合氧化物系超导材料形...

【专利技术属性】
技术研发人员：中西秀典，田中三郎，糸崎秀夫，矢津修示，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]