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电分色红外接收器件制造技术

技术编号:3223540 阅读:140 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种利用重掺半导体材料的强自由载流子红外吸收作用,由三层半导体结构区组成,长波限可由第三电极电位调节而自由改变并可用于各类红外设备的电分色红外三端接收器件。由可接收红外辐射的吸收区、与吸收区构成可电调势垒P-N结的势垒区和收集渡越结势垒自由载流子的收集区组成芯片,封装于顶部镶嵌滤色片的壳内,对应三区电连通引出三电极线。改变势垒区的电位可改变器件长波限从而改变被吸收光子的波长,达到电分色之目的。(*该技术在2010年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用半导体材料经常规的平面工艺加工制成的具有电分色功能且能广泛用于各类红外设备的电分色红外接收器件。现有的红外接收器件主要分光子探测器和热探测器两大类,均为二端子器件。光子探测器灵敏度高,响应时间快;热探测器具有较宽的频率接收范围,但灵敏度和响应时间等性能较差,无辩色能力。目前使用的光子探测器件由于受半导体材料的光学带隙或杂质光导激活能的限制对光波的接收有一限定的长波限,该长波限限制了光子探测器的使用范围,且是定值,使用中不可能进行调节,所以用其进行红外接收时也无辩色能力,不能测定被测物体的红外辐射频率响应,只能对确定长波限以短的波长的光子总量有响应,即光子探测器不能辩别被测光子的光谱分布。本专利技术的目的在于克服现有光子探测器存在的固定长波限的缺点,寻求设计制做一种其探测光的长波限受器件内部电位调节,即光子能量阈值可进行电调谐,从而使器件本身具有辩色即分色功能的三端子半导体红外探测器件。使用这种器件无须棱镜或光栅等复杂的分色光学装置,便可得到被测物体的红外谱,进而可以提供被测物体红外谱所反映的完全信息。为了实现上述目的,本专利技术采用极为成熟的硅、锗等半导体材本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用半导体材料经平面工艺制成的用于各类红外设备的电分色红外接收器件,其特征在于芯片依次由接收红外辐射的吸收区(作用区)6,与吸收区6形成P-N结势垒的势垒区7和收集被红外激发而渡越P-N结势垒的高能自由载流子的收集区8三个层区构成;芯片1封装于顶部开孔并镶嵌滤色片的管壳内,对应芯片1上三个区由内引线连通至管壳三根外引线构成三端器件。

【技术特征摘要】
1.一种用半导体材料经平面工艺制成的用于各类红外设备的电分色红外接收器件,其特征在于芯片依次由接收红外辐射的吸收区(作用区)6,与吸收区6形成P-N结势垒的势垒区7和收集被红外激发而渡越P-N结势垒的高能自由载流子的收集区8三个层区构成;芯片1封装于顶部开孔...

【专利技术属性】
技术研发人员:陆大荣
申请(专利权)人:青岛大学
类型:发明
国别省市:95[中国|青岛]

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