光电转换设备制造技术

技术编号:3221478 阅读:167 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
与TFT相同工艺形成光电转换装置,实现高S/N比率、稳定及高速阅读,光电转换设备包括具有第一电极层、半导体层、和第二电极层的光电转换装置,具有第一和第二主电极的开关装置,电源,和阅读电路;第一电极层电连接到第一主电极,第二电极层电连接到电源,第二主电极电连接到阅读电路,在从电源给第二电极层施加电场的更新驱动中接通开关,确定光电转换装置的第一电极层上的电位。(*该技术在2017年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种,尤其涉及一种用作例如扫描器或X射线图像拍摄设备的图像输入装置,并沿一维或两维排列均具有光电转换装置和开关装置的多个象素构成的光电转换设备,及其驱动方法。近年来,作为扫描器,数字复印机、或X射线图像拍摄设备的阅读系统,一种用于阅读图像的具有下述结构的一维或二维的传感器已被投入使用,在上述结构中,包含以能形成薄膜的氢化非晶硅(a-Si)为代表的半导体材料构成的光电转换装置和信号处理单元被形成在大面积基片上。尤其是,a-Si或多晶硅(poly-Si)不但可用作光电转换材料、而且可用作薄膜场效应晶体管(TFT)的半导体材料,因此,光电转换半导体层和TFT半导体层可同时形成。另外,在光电转换设备中,电容器被连接到信号输出线上,或信号输出线具有电容器,且使该电容器初始化(更新)。该光电转换装置中也具有一个电容器元件,储存在该光电转换装置中的电荷被初始化(被更新),以防止对下一个信号阅读产生不利影响。但是,当该光电转换装置仅一个电极的电压被例如用一个开关控制时,初始化(更新)可以进行,但这一操作需要时间。因此,这种结构不能有效满足高速操作的要求。本专利技术是考虑到上述问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光电转换设备,包括: 一个光电转换装置,该装置具有一个第一电极层,一个第二电极层,和一个位于所述第一和第二电极层之间的半导体层; 一个具有第一和第二主电极的开关装置; 一个电源; 一个阅读电路,所述第一电极层被电连接到所述的第一主电极,所述第二电极层被电连接到所述电源,所述第二主电极被电连接到所述阅读电路;和 用于在从所述电源沿着将载流子导向所述第二电极层的方向给所述第二电极层施加一个电场的更新驱动中接通所述开关装置,从而确定所述第一电极层侧上的电位的装置。

【技术特征摘要】
JP 1996-12-24 343144/961.一种光电转换设备,包括一个光电转换装置,该装置具有一个第一电极层,一个第二电极层,和一个位于所述第一和第二电极层之间的半导体层;一个具有第一和第二主电极的开关装置;一个电源;一个阅读电路,所述第一电极层被电连接到所述的第一主电极,所述第二电极层被电连接到所述电源,所述第二主电极被电连接到所述阅读电路;和用于在从所述电源沿着将载流子导向所述第二电极层的方向给所述第二电极层施加一个电场的更新驱动中接通所述开关装置,从而确定所述第一电极层侧上的电位的装置。2.一种如权利要求1所述的设备,其特征在于,在所述光电转换装置中,在所述第一电极层和所述半导体层之间,有一个用于分别阻止具有负电性和正电性的第一和第二载流子通过的绝缘层,在所述半导体层和所述第二电极层之间,有一个用于防止该第一载流子被注入所述半导体层的载流子注入阻挡层。3.一种如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述开关装置包括一个具有用于控制所述第一和第二主电极间电连接的栅电极的薄膜晶体管,一个绝缘层,一个半导体层,和用作该第一和第二主电极的源极和漏极,该第一和第二主电极彼此间有一个间隙,且通过欧姆接触层均被形成在所述的半导体层上。4.一种如权利要求1所述的设备,其特征在于,在所述光电转换装置中,在所述第一电极层和所述半导体层之间,有一个用于分别阻止具有负电性和正电性的第一和第二载流子通过的绝缘层,在所述半导体层和所述第二电极层之间,有一个用于防止该第一载流子被注入所述半导体层的载流子注入阻挡层,和所述开关装置包括一个具有用于控制所述第一和第二主电极间电连接的栅电极的薄膜晶体管、一个绝缘层、一个半导体层,和用作该第一和第二主电极的源极和漏极,该第一和第二主电极彼此间有一个间隙,且通过欧姆接触层均被形成在所述的半导体层上。5.一种如权利要求4所述的设备,其特征在于,所述光电转换装置的所述第一电极层和所述薄膜晶体管的所述栅电极,所述光电转换装置的所述绝缘层和所述薄膜晶体管的所述绝缘层,所述光电转换装置的所述半导体层和所述薄膜晶体管的所述半导体层,所述光电转换装置的所述第一载流子注入阻挡层和所述薄膜晶体管的欧姆接触层,以及所述光电转换装置的所述第二电极层和所述薄膜晶体管的源极和漏极均分别由同一材料制成。6.一种如权利要求5所述的设备,其特征在于,所述半导...

【专利技术属性】
技术研发人员:亀岛登志男远藤丰海部纪之小林功野中秀树小仓隆
申请(专利权)人:佳能株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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