一种离子注入机晶圆红外实时测温系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种离子注入机晶圆红外实时测温系统，包括：处理腔室，该处理腔室内被注入离子；晶圆处理机，该晶圆处理机包括臂盖，臂盖上设置有臂腔室和臂窗口，处理腔室内的离子被注入到臂腔室内，晶圆在臂窗口上移动；温度传感器，该温度传感器安装在臂盖上；以及控制器，该控制器与温度传感器通信。本实用新型专利技术可以实时监控植入后晶圆的温度并实时显示温度值，并且本实用新型专利技术可以设定温度极限报警值且与机台联锁，在达到报警值时可以停止植入晶圆。此外，本实用新型专利技术还可以实现蜂鸣报警，收值实现统计过程控制管控。实现统计过程控制管控。实现统计过程控制管控。

【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机晶圆红外实时测温系统


[0001]本技术涉及离子注入机的测温系统，并且更具体地，涉及一种离子注入机晶圆红外实时测温系统。

技术介绍

[0002]目前的离子注入机在离子注入时，当离子束能量较大时，注入时晶圆会迅速升温，所以离子注入厂商会设计套冷却系统将晶圆温度导走，现有的Viista 80机台同时设计了水冷却系统及空气冷却系统，但在实际应用过程中当发现部件故障时，机台不会冷却，机台也不会发出任何警报，离子束植入后的晶圆携带的热量无法及时有效被移除，最终导致晶圆植入后表面光阻爆掉。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种令人期望的离子注入机晶圆红外实时测温系统。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]根据本技术的方面，提供一种离子注入机晶圆红外实时测温系统，包括：
[0006]处理腔室，该处理腔室内被注入离子；
[0007]晶圆处理机，该晶圆处理机包括臂盖，臂盖上设置有臂腔室和臂窗口，处理腔室内的离子被注入到臂腔室内，晶圆在臂窗口上移动；
[0008]温度传感器，该温度传感器安装在臂盖上；以及
[0009]控制器，该控制器与温度传感器通信。
[0010]在本技术的一个实施例中，臂腔室设置为2个或多个。
[0011]在本技术的一个实施例中，温度传感器安装在臂盖的中部。
[0012]在本技术的一个实施例中，温度传感器是红外温度传感器。
[0013]在本技术的一个实施例中，控制器包括界面、IPC(工控机)和FDC(故障检测与分类装置)。
[0014]在本技术的一个实施例中，系统通过控制器来设定温度极限报警值。
[0015]在本技术的一个实施例中，温度极限报警值为37
°
。
[0016]在本技术的一个实施例中，系统能够与机台联锁，在达到温度极限报警值时所述机台停止植入晶圆。
[0017]在本技术的一个实施例中，系统与机台上的蜂鸣器通信。
[0018]在本技术的一个实施例中，蜂鸣器在达到温度极限报警值时进行蜂鸣报警。
[0019]通过采用上述技术方案，本技术相比于现有技术具有如下优点：
[0020]本技术可以实时监控植入后晶圆的温度并实时显示温度值，并且本技术可以设定温度极限报警值且与机台联锁，在达到报警值时可以停止植入晶圆。此外，本技术还可以实现蜂鸣报警，收值实现统计过程控制管控。
附图说明
[0021]图1示出了本技术的离子注入机晶圆红外实时测温系统的示意图；
[0022]图2a示出了改造前的臂盖的示意图；
[0023]图2b示出了改造后的臂盖的示意图；
[0024]图3示出了晶圆移动通过臂窗口的示意图。
[0025]附图标记列表
[0026]1处理腔室、2晶圆处理机、21臂盖、22臂腔室、23臂窗口、24温度传感器、25控制器。
具体实施方式
[0027]应当理解，在示例性实施例中所示的本技术的实施例仅是说明性的。虽然在本技术中仅对少数实施例进行了详细描述，但本领域技术人员很容易领会在未实质脱离本技术主题的教导情况下，多种修改是可行的。相应地，所有这样的修改都应当被包括在本技术的范围内。在不脱离本技术的主旨的情况下，可以对以下示例性实施例的设计、操作条件和参数等做出其他的替换、修改、变化和删减。
[0028]本技术提供了一种离子注入机晶圆红外实时测温系统，包括：处理腔室，该处理腔室内被注入离子；晶圆处理机，该晶圆处理机包括臂盖，臂盖上设置有臂腔室和臂窗口，处理腔室内的离子被注入到臂腔室内，晶圆在臂窗口上移动；温度传感器，该温度传感器安装在臂盖上；以及控制器，该控制器与温度传感器通信。
[0029]在上述技术方案中，臂腔室设置为2个或多个。
[0030]在上述技术方案中，温度传感器安装在臂盖的中部。
[0031]在上述技术方案中，温度传感器是红外温度传感器。
[0032]在上述技术方案中，控制器包括界面、IPC(工控机)和FDC(故障检测与分类装置)。
[0033]在上述技术方案中，系统通过控制器来设定温度极限报警值。
[0034]在上述技术方案中，温度极限报警值为37
°
。
[0035]在上述技术方案中，系统能够与机台联锁，在达到温度极限报警值时机台停止植入晶圆。
[0036]在上述技术方案中，系统与机台上的蜂鸣器通信。
[0037]在上述技术方案中，蜂鸣器在达到温度极限报警值时进行蜂鸣报警。
[0038]下面通过具体实施例对本技术提供的系统进行详细地说明。
[0039]如图1、2a
‑
2b和3所示，一种离子注入机晶圆红外实时测温系统，包括：处理腔室1，该处理腔室1内被注入离子；晶圆处理机2，该晶圆处理机2包括臂盖21，臂盖21上设置有臂腔室22和臂窗口23，处理腔室1内的离子被注入到臂腔室22内，晶圆在臂窗口23上移动；温度传感器24，该温度传感器24可以安装在臂盖21上；以及控制器25，该控制器25与温度传感器24通信，并且其中该控制器25包含界面、IPC(工控机)和FDC(故障检测与分类装置)。
[0040]再次参照图2a
‑
2b，分别示出了改造前的臂盖和改造后的臂盖的示意图，如图2a所示，臂盖21上设置有均为一长方形的臂腔室22和臂窗口23，如图2b所示，本申请为了安装温度传感器24，对臂盖21的结构进行了改进，臂盖21的臂腔室22分为对称的两个部分，温度传感器24安装在臂盖21的中部。
[0041]再次参照图3，示出了晶圆移动通过臂窗口的示意图，由于本申请在臂盖21上设置
了温度传感器24，因此当晶圆移动通过臂窗口23时，可以实时监控植入后晶圆的温度，再次如图1所示，该温度传感器24与控制器25连接，控制器25可以设定温度极限报警值，例如37
°
，当通过温度传感器24检测到的温度超过温度极限报警值时，可以命令机台停止植入晶圆并且使机台发出警报，从而实现对植入后晶圆的温度的实时监控，保护相应的晶圆。
[0042]以上所述仅为本技术的较佳实施例，并非用来限定本技术的实施范围；如果不脱离本技术的精神和范围，对本技术进行修改或者等同替换，均应涵盖在本技术权利要求的保护范围当中。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子注入机晶圆红外实时测温系统，其特征在于，包括：处理腔室，所述处理腔室内被注入离子；晶圆处理机，所述晶圆处理机包括臂盖，所述臂盖上设置有臂腔室和臂窗口，所述处理腔室内的所述离子被注入到所述臂腔室内，所述晶圆在所述臂窗口上移动；温度传感器，所述温度传感器安装在所述臂盖上；以及控制器，所述控制器与所述温度传感器通信。2.根据权利要求1所述的离子注入机晶圆红外实时测温系统，其特征在于，所述臂腔室设置为2个或多个。3.根据权利要求1所述的离子注入机晶圆红外实时测温系统，其特征在于，所述温度传感器安装在所述臂盖的中部。4.根据权利要求3所述的离子注入机晶圆红外实时测温系统，其特征在于，所述温度传感器是红外温度传感器。5.根据权利要求1所述的离子注入机晶圆红外实时测温系...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建圣，何伟，
申请(专利权)人：和舰芯片制造苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：