一种带有校准机构的离子注入机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有校准机构的离子注入机，涉及离子注入机相关技术领域，包括支撑架，支撑架的一侧固定有支撑板，支撑板的一端固定有发射机，支撑板的另一端固定有接收机，支撑板的正前方开设有凹槽，凹槽的内部一侧固定有微型电机，微型电机的动力输出端传动有反向螺纹杆，反向螺纹杆的外表面滑动有传动板，支撑板的正前方固定有固定板，固定板的内部设有调节板，利用连接板带动支撑块的滑动，从而使调节板与接收机和发射机之间的距离发生变化，进而可以对离子注入机发射的离子束位置进行较准，另外通过调节板与固定板之间的相对运动，从而改变通孔所呈现的大小，进而改变离子束所投放范围的大小。离子束所投放范围的大小。离子束所投放范围的大小。

【技术实现步骤摘要】
一种带有校准机构的离子注入机


[0001]本技术涉及离子注入机相关
，具体为一种带有校准机构的离子注入机。

技术介绍

[0002]离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多，它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等，现有技术中的一种带有校准机构的离子注入机存在以下问题：
[0003]1、离子注入机不具有校准离子束投放位置的功能，同时离子机所投放的离子束范围大小单一，不方便使用；
[0004]2、离子注入机的离子束投射范围一般通过手动调节，手动调节过程操作复杂。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种带有校准机构的离子注入机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种带有校准机构的离子注入机，包括支撑架，支撑架的一侧固定有支撑板，支撑板的一端固定有发射机，支撑板的另一端固定有接收机，支撑板的正前方开设有凹槽，凹槽的内部一侧固定有微型电机，微型电机的动力输出端传动有反向螺纹杆，反向螺纹杆的外表面滑动有传动板，支撑板的正前方固定有固定板，固定板的内部设有调节板。
[0007]优选的，传动板有两个且平行安装在反向螺纹杆的外侧壁，调节板滑动插接在固定板的正前方，固定板的外侧壁开设有滑槽，调节板的一端侧壁固定有支撑块，支撑块有两个且关于调节板的纵向中心轴对称，滑槽与支撑块相适配，调节板的外表面开设有通孔，调节板的一端端面固定有限位弹簧，限位弹簧远离调节板的一端与固定板的内壁固定连接。
[0008]优选的，两个传动板远离反向螺纹杆的一端侧壁均转动有连接板，连接板远离传动板的一端与支撑块的一端侧壁转动连接。
[0009]优选的，两个连接板关于固定板的纵向中心轴对称，传动板的侧壁固定有复位弹簧，复位弹簧远离传动板的一端与连接板的侧壁固定连接。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0011]1、通过反向螺纹杆的转动，使传动板带动连接板转动，然后利用连接板带动支撑块的滑动，从而使调节板与接收机和发射机之间的距离发生变化，进而可以对离子注入机发射的离子束位置进行较准，另外通过调节板与固定板之间的相对运动，从而改变通孔与离子束的接触面积，进而改变离子束所投放范围的大小，使离子束所投放的范围大小能够具有普遍性；
[0012]2、通过微型电机带动反向螺纹杆的转动来间接调节调节板的位置，从而改变了传
统的通过手动调节离子束投射范围，简化了操作过程，方便离子注入机的使用。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1为本技术结构示意图。
[0015]图2为本技术固定板结构示意图。
[0016]图3为本技术调节板结构示意图。
[0017]图4为本技术调节板结构局部俯剖图。
[0018]图中：1、接收机；2、传动板；3、连接板；4、反向螺纹杆；5、支撑板；6、发射机；7、固定板；8、凹槽；9、支撑架；10、微型电机；11、滑槽；12、调节板；13、通孔；14、支撑块；15、复位弹簧；16、限位弹簧。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]实施例：如图1
‑
4所示，本技术提供了一种带有校准机构的离子注入机，包括支撑架9，支撑架9的一侧固定有支撑板5，支撑架9用于对支撑板5的支撑，支撑板5的一端固定有发射机6，支撑板5的另一端固定有接收机1，发射机6为现有技术中发射离子束的装置，接收机1为现有技术与发射机6相匹配的接收离子束的装置。
[0021]本实施例中，为了使反向螺纹杆4能够发生转动，支撑板5的正前方开设有凹槽8，凹槽8的内部一侧固定有微型电机10，微型电机10的动力输出端传动有反向螺纹杆4，微型电机10为微型伺服电机，能够按照固定的频率进行逆时针与顺时针方向的转换，微型电机10为反向螺纹杆4提供了动力来源。
[0022]进一步的，反向螺纹杆4的外表面滑动有传动板2，传动板2有两个且平行安装在反向螺纹杆4的外侧壁，当反向螺纹杆4发生转动时，两个传动板2之间的距离能够发生相互靠近或者远离，两个传动板2远离反向螺纹杆4的一端侧壁均转动有连接板3，连接板3远离传动板2的一端与支撑块14的一端侧壁转动连接，两个连接板3关于固定板7的纵向中心轴对称。
[0023]支撑板5的正前方固定有固定板7，固定板7的内部设有调节板12，调节板12滑动插接在固定板7的正前方，固定板7的外侧壁开设有滑槽11，调节板12的一端侧壁固定有支撑块14，支撑块14有两个且关于调节板12的纵向中心轴对称，滑槽11与支撑块14相适配，滑槽11为支撑块14提供了滑动空间，方便支撑块14的转动。
[0024]进一步的，当两个传动板2相互靠近或者远离时，两个传动板2会带动连接板3转动，当连接板3转动时，连接板3会带动支撑块14发生移动。
[0025]调节板12的外表面开设有通孔13，调节板12的一端端面固定有限位弹簧16，限位弹簧16远离调节板12的一端与固定板7的内壁固定连接，限位弹簧16提供向内部的拉力，能够使调节板12及时复位。
[0026]另外，传动板2的侧壁固定有复位弹簧15，复位弹簧15远离传动板2的一端与连接板3的侧壁固定连接，复位弹簧15提供向内部的弹力，能够使连接板3与传动板2之间及时复位。
[0027]工作原理：当需要对调节板12与发射机6和接收机1之间的位置矫正时，只需要打开微型电机10，使微型电机10能够带动反向螺纹杆4发生转动，当反向螺纹杆4发生转动时，会带动两个传动板2发生相互靠近或者远离，当两个传动板2发生相互靠近或者远离时，两个传动板2会带动连接板3发生转动，当两个连接板3发生转动时，连接板3会带动支撑块14在滑槽11内发生滑动，当支撑块14发生滑动时，支撑块14会带动调节板12顺着固定板7的中心轴方向发生滑动，从而实现调节板12与接收机1和发射机6之间的位置矫正，由于调节板12的外侧壁开设有通孔13，当调节板12在固定板7的内部滑动时，通孔13与发射机6所释放的离子束接触面积会发生变化，从而可以改变离子束所投放的范围大小，使离子注入机内部所释放的离子束大小多变，从而使离子注入机具有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有校准机构的离子注入机，包括支撑架(9)，所述支撑架(9)的一侧固定有支撑板(5)，所述支撑板(5)的一端固定有发射机(6)，所述支撑板(5)的另一端固定有接收机(1)，其特征在于：所述支撑板(5)的正前方开设有凹槽(8)，所述凹槽(8)的内部一侧固定有微型电机(10)，所述微型电机(10)的动力输出端传动有反向螺纹杆(4)；所述反向螺纹杆(4)的外表面滑动有传动板(2)，所述支撑板(5)的正前方固定有固定板(7)，所述固定板(7)的内部设有调节板(12)。2.如权利要求1所述的一种带有校准机构的离子注入机，其特征在于，所述传动板(2)有两个且平行安装在反向螺纹杆(4)的外侧壁。3.如权利要求1所述的一种带有校准机构的离子注入机，其特征在于，所述调节板(12)滑动插接在固定板(7)的正前方，所述固定板(7)的外侧壁开设有滑槽(11)，所述调节板(12)的一端侧壁固定有支撑块(14...

【专利技术属性】
技术研发人员：张玲，
申请(专利权)人：扬州信尚电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：