一种柔性空腔型压电微超声换能器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种柔性空腔型压电微超声换能器，包括压电薄膜叠堆和柔性衬底。压电薄膜叠堆包括自下而上的下电极、压电薄膜和上电极。本实用新型专利技术中的柔性空腔型压电微超声换能器的工作频率设计灵活，结构轻薄，成本低，并且无铅污染，生物相容性好。生物相容性好。生物相容性好。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性空腔型压电微超声换能器


[0001]本技术涉及一种压电微超声换能器，尤其涉及一种柔性空腔型压电微超声换能器。

技术介绍

[0002]在人工智能与信息物联网的时代下，柔性微超声换能器为目前先进的柔性可穿戴设备在传感领域开辟了一个新维度。柔性微超声换能器具有优异的机械灵活性，结构小巧轻薄，能够在一定程度上适应不同的工作环境，满足人体对于设备形变的要求。柔性微超声换能器在可植入式无线供电、异型结构内部的损伤检测、表皮下深层组织的生理信号捕捉等领域表现出独特的优势，在能量收集、神经调控、人体生理健康监控、交互式界面等领域具有广泛的应用前景。
[0003]在现有技术中，主要存在两种结构的柔性微超声换能器。
[0004]一种是基于压电薄膜叠堆的柔性微超声换能器，实现方式为在柔性材料上依次沉积底电极、压电薄膜(PZT、ZnO、AlN等)、上电极以制备器件。这种结构的器件在厚度共振模态下工作，工作频率较高，并且频率设计严格受压电薄膜厚度限制，设计灵活性不高。
[0005]另一种是基于块状压电陶瓷的柔性微超声换能器，实现方式为使用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性空腔型压电微超声换能器，其特征在于：包括压电薄膜叠堆(6)和柔性衬底(7)，所述柔性衬底(7)包括基片(5)以及涂敷在基片(5)上的粘接层(4)，所述基片(5)中心有一柔性衬底通孔(8)用于悬空支撑压电薄膜叠堆(6)以形成空腔结构，位于所述柔性衬底通孔(8)四周设计有依次排列的三角形和矩形对准孔槽(9)用于基片(5)与压电薄膜叠堆(6)对准定位。2.根据权利要求1所述的柔性空腔型压电微超声换能器，其特征在于：所述压电...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘威，吴大伟，曹腾，王柏权，温智益，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：新型
国别省市：