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本实用新型公开了一种柔性空腔型压电微超声换能器，包括压电薄膜叠堆和柔性衬底。压电薄膜叠堆包括自下而上的下电极、压电薄膜和上电极。本实用新型中的柔性空腔型压电微超声换能器的工作频率设计灵活，结构轻薄，成本低，并且无铅污染，生物相容性好。生物相...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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