一种用于半导体加工送料的输送机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体加工送料的输送机构，输送组件包括多个等间隙线性排列的输送隔板，相邻的输送隔板相向排列且结构对称，输送隔板的一侧通过螺钉固定连接有固定导轨，在输送隔板上并位于固定导轨的两端对称转接有从动轮，在输送隔板上并位于固定导轨的下方通过螺钉固定连接有驱动电机，驱动电机的输出轴穿设过输送隔板且输出轴上套设有驱动轮，驱动轮和从动轮上套设有传送带，传送带与固定导轨的一侧抵接或保持有间隙，在输送隔板的顶端扣设有导向码，导向码面向固定导轨的一侧为斜面，导向码通过开设于其上的螺纹孔与输送隔板固定连接。本实用新型专利技术提高了半导体加工送料效率，改善了结构稳定性和实用性，提高了市场竞争力。市场竞争力。市场竞争力。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体加工送料的输送机构


[0001]本技术属于半导体加工中转传输设备
，尤其涉及一种用于半导体加工送料的输送机构。

技术介绍

[0002]现有技术中，特别是在半导体生产加工自动化产线上，常涉及半导体加工物料在多台加工设备之间的运输及搬运，往往需要将各个部件分别依次在不同的加工设备上进行加工处理，即每台设备分别完成一定的加工工序，本道加工工序完成后便需要将物料流转到下个加工设备上去完成下一道加工工序，而现有的加工设备中，一般仅靠人力将物料在不同加工设备之间运转，对于某些加工设备要求将入料位置控制在一定精度内时，人力转运往往会出现一定误差，导致半导体产品生产的良品率下降，同时，实际生产加工过程中，当持续不断地进行人工上料操作时，其员工的劳动强度大，生产效率低，影响了产品生产质量和效益，这种情况需要改变。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于半导体加工送料的输送机构，以解决上述
技术介绍
中所提到的问题。
[0004]为实现以上技术目的，采用的技术方案为：
[0005]一种用于半导体加工送料的输送机构，包括运行柜体，所述运行柜体上可拆卸连接有输送组件，所述输送组件包括多个等间隙线性排列的输送隔板，相邻的所述输送隔板相向排列且结构对称，所述输送隔板的一侧通过螺钉固定连接有固定导轨，在所述输送隔板上并位于所述固定导轨的两端对称转接有从动轮，在所述输送隔板上并位于所述固定导轨的下方通过螺钉固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴穿设过所述输送隔板且所述输出轴上套设有驱动轮，所述驱动轮和所述从动轮上套设有传送带，所述传送带与所述固定导轨的一侧抵接或保持有间隙，其中，在所述输送隔板的顶端扣设有导向码，所述导向码面向所述固定导轨的一侧为斜面，所述导向码通过开设于其上的螺纹孔与所述输送隔板固定连接。
[0006]本技术进一步设置为：在所述输送隔板上并位于所述固定导轨和所述驱动轮间还对称转接有侧边轮，所述传送带与所述侧边轮搭接。
[0007]本技术进一步设置为：还包括对称穿设于多个所述输送隔板的底端的固定连杆，所述固定连杆的两端套设有安装座，用于所述输送组件与所述运行柜体的可拆卸连接。
[0008]本技术进一步设置为：在所述固定连杆上且位于所述输送隔板的一侧套设有紧锁耳，所述紧锁耳通过螺钉与所述输送隔板固定连接，用于调整和固定相邻的所述输送隔板的间距。
[0009]本技术进一步设置为：在所述输送隔板上并与所述侧边轮对应处开设有调节条孔，所述侧边轮转接于所述调节条孔上，用于调整侧边轮位置。
[0010]本技术进一步设置为：所述导向码由尼龙塑料制成。
[0011]本技术进一步设置为：所述安装座凸出于所述输送隔板的底端。
[0012]本技术进一步设置为：所述固定连杆与所述紧锁耳过盈连接。
[0013]综上所述，与现有技术相比，本技术公开了一种用于半导体加工送料的输送机构，相邻的输送隔板相向排列且结构对称，在输送隔板上并位于固定导轨的两端对称转接有从动轮，在输送隔板上并位于固定导轨的下方通过螺钉固定连接有驱动电机，驱动电机的输出轴穿设过输送隔板且输出轴上套设有驱动轮，驱动轮和从动轮上套设有传送带，在输送隔板的顶端扣设有导向码，导向码面向固定导轨的一侧为斜面。即通过此设置，提高了半导体加工送料效率，提高了结构稳定性和实用性，提高了市场竞争力。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1是本实施例提供的一种用于半导体加工送料的输送机构的结构示意图；
[0016]图2是本实施例提供的输送组件的整体结构示意图；
[0017]图3是本实施例提供的输送隔板的应用结构示意图；
[0018]图4是本实施例提供的输送隔板的侧视图。
[0019]附图标记：1、输送组件；2、输送隔板；21、导向码；211、螺纹孔；22、固定连杆；23、安装座；24、紧锁耳；25、调节条孔；3、固定导轨；4、从动轮；5、驱动电机；6、驱动轮；7、传送带；8、侧边轮；100、运行柜体。
具体实施方式
[0020]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明，应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]此外，上面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0024]一种用于半导体加工送料的输送机构，如图1
‑
图4所示，包括运行柜体100，运行柜体100上可拆卸连接有输送组件1，输送组件1包括多个等间隙线性排列的输送隔板2，相邻的输送隔板2相向排列且结构对称，输送隔板2的一侧通过螺钉固定连接有固定导轨3，在输送隔板2上并位于固定导轨3的两端对称转接有从动轮4，在输送隔板2上并位于固定导轨3的下方通过螺钉固定连接有驱动电机5，驱动电机5的输出轴穿设过输送隔板2且输出轴上套设有驱动轮6，驱动轮6和从动轮4上套设有传送带7，传送带7与固定导轨3的一侧抵接或保持有间隙，其中，在输送隔板2的顶端扣设有导向码21，导向码21面向固定导轨3的一侧为斜面，导向码21通过开设于其上的螺纹孔211与输送隔板2固定连接。
[0025]在具体实施过程中，运行柜体100承接上一工位的半导体物料并经输送组件1整理输出至下一工位，具体的，在驱动电机5提供驱动力的基础下，通过驱动轮6和从动轮4的配合，传送带7套设其上循环转动，即通过传送带7输出半导体物料，其中，传送带7与固定导轨3的一侧抵接或保持有间隙，以此提高传送带7的承载能力和运输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体加工送料的输送机构，包括运行柜体，所述运行柜体上可拆卸连接有输送组件，其特征在于：所述输送组件包括多个等间隙线性排列的输送隔板，相邻的所述输送隔板相向排列且结构对称，所述输送隔板的一侧通过螺钉固定连接有固定导轨，在所述输送隔板上并位于所述固定导轨的两端对称转接有从动轮，在所述输送隔板上并位于所述固定导轨的下方通过螺钉固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴穿设过所述输送隔板且所述输出轴上套设有驱动轮，所述驱动轮和所述从动轮上套设有传送带，所述传送带与所述固定导轨的一侧抵接或保持有间隙，其中，在所述输送隔板的顶端扣设有导向码，所述导向码面向所述固定导轨的一侧为斜面，所述导向码通过开设于其上的螺纹孔与所述输送隔板固定连接。2.如权利要求1所述的一种用于半导体加工送料的输送机构，其特征在于，在所述输送隔板上并位于所述固定导轨和所述驱动轮间还对称转接有侧边轮，所述传送带与所述侧边轮搭接。3.如权利要求1所述的一种用于半导体加...

【专利技术属性】
技术研发人员：何江，何涛，
申请(专利权)人：深圳市科美通电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：