注入式非相干发射体制造技术

技术编号:3217087 阅读:167 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及注入式非相干发射体,它能减小定向的自发和出射辐射的输出的发散角,同时增加外部效率以及增加能量和照明功率,该发射体包括,在整个异质结构(2)内多层具有位于预定范围内的组分和厚度的层和子层,还包括多层供辐射输出区(7)用的层,本发明专利技术还涉及不同异质结构和输出区的改进,他们允许在不同的控制方向内输出辐射,包括垂直于所述的发射体的有源层的方向的输出,本发明专利技术还涉及多光束的非相干发射体,包含具有自动控制光束的辐射平面和矩阵控制器。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光电子技术,尤其是涉及高效,高功率,超发光和具有窄辐射图形的便携式半导体二极管自发发射光源。
技术介绍
注入式非相干光发射体(下称发射体)是一种光发射装置,它能将电能转换成具有特定光谱成分和空间分布(在没有光学谐振腔情况下)的光辐射能。已知各种形式的波长范围从红外到兰和紫外光辐射的宽波长范围的注入式非相干光辐射体其中,面发射的光发射二极管,包括多路发光的光发射二极管[F.A.Kish et al.,Appl.Phys.Lett.,v.64,No.20,pp.2839-2841(1994);H.Sugawara et al.,Jap.J.Appl.Phys.,v.31,No.8,pp.2446-2451(1992);3M.Watanabe,et al.,US Patent,No.5,537,433,July16,1996;S Nakamura et al.,Jap.J.Appl.Phys.lett.,v34,L1332,(1995)]以及边发射体[A.T.Semenov et al.,Electron.Lett.,v.29,pp.854-857,(1993);G.A.Alphonse et al.,Ieee J.of Quant.Electronics,v.QE-24,pp2454-2457,(1988)]。这些辐射源的进一步的应用由于其不甚高的效率,辐射强度和功率以及大的辐射发散,而使它在其它的许多方面的应用受到限制。由[F.A.Kish et al.,Appl.Phys.Lett.,v.64,No.20,pp.2839-2841(1994)]给出的发射体是多路的发射体,它包括依据半导体化合物AlGaInP的异质结构,异质结构中包含一层禁带宽度为Ea(ev),厚度da在1μm-1.5μm范围内的有源层和由单层组成的两层光学均匀的包层(p-型和n-型导电层),所述的两层包层分别沉积在有源层的第一和相反的第二面上。两个辐射输出区的面积为Sinμm2的内表面设置在远离有源层两侧的包层表面上;所述的辐射输出区(下称ROR)是由均匀的可以透过辐射并具有n-型和p型导电率的半导体化合物GaP制成,其形状为平行六面体。该平行六面体的横向面与内和外表面的倾角φ为90,并与有源层平面具有同样的倾角。面积为SIR(μm2)的电荷载流子的注入区与有源层一致,并相对于p-型和n-型辐射输出区形成欧姆接触,还需要有相应的金属层。在加入直流电流时,在注入区出现非平衡载流子的再复合同时产生自发发射,并从注入区的所有方向传播,如包括向p-型和n-型辐射输出区方向的传播。在经过随机的多次反射后,一部分自发发射以不同的角度从光发射二极管通过输出面出射。而其余部分位于p-型输出区的外表面以及两种类型的输出区的横向表面上。在这种情况下,在垂直面内输出辐射的发散角θ1以及在水平面内输出辐射的发散角θ2都具有最大的允许值(直至180)。下面,我们将定义垂直面为垂直于有源层面的平面。而将水平面定义为垂直于垂直面的平面并位于输出面上。需注意,每个通过水平面的辐射的方向可以与它自身的垂直面的方向一致并包含上述方向的辐射光线。对于波长为604nm的辐射,已知的辐射体[F.A.Kish et al.,Appl.Phys.Lett.,v.64,No.20,pp.2839-2841,(1994)]具有外部效率为11.5%,辐射的光功率为93.21m/A(电流为1A)。在连续波(cw)操作时的工作电流密度不大于100A/cm2。在这种情况下,光束相对于输出面的方向是随机的。本专利技术着手解决的问题是设计一种辐射体,该辐射体具有增加的外部效率,功率,光功率,辐射强度和光辐射强度,并使它的输出在宽的方向范围内能够实现定向的自发发射,所述的辐射体包括设计多光束发射体,线性和平面发射体列阵,还包括那些可以独立输出光束的发射体,以及对于发射光束进行放大的技术。按照本专利技术,提出一种注入式非相干发射体来解决所需解决的问题,该发射体包含含有有源层的异质结构,包层,欧姆接触,和一个至少在有源层的一侧上并相邻于相应的包层的能透过辐射的辐射输出区;至少具有一个辐射输出区,所述的输出区至少具有包含下述特性的层,该层的折射率为nRORq,辐射的光学损耗因子为σRORq(cm-1),厚度为dRORq(μm),其中q=1,2,…,p为整数,表示输出区的各层的序数,并从它的具有异质结构的边界计数;具有相邻辐射输出区的异质结构用有效折射率neff表征,这里所述的有效折射率neff和折射率nROR1需满足下述关系式 arccos(neff/nROR1)arccos(neff-min/nROR1),以及neff-min大于nmin,其中,neff-min是对于具有辐射输出区的激光异质结构的所有可能的neff的实际值的neff的最小值,而nmin是在异质结构的包层内折射率的最小值。本专利技术所提出的发射体的不同点主要在于整个异质结构和辐射输出区的特征,这些特征将影响其操作细节和发射体的输出特性。根据所需的发射体来选择异质结构的层数和子层数,以及他们的厚度和组成以取得窄的辐射图形,尤其是在垂直面内的图形,增强注入区内的自发发射并使发射集中在相对于有源层面的传播角度为φ的方向上。必需满足已知的在激光二极管的光学谐振腔内传播激光模的泄漏条件的关系式[J.K.Buttier,Y.Kressel and I.Ladany,IEEE Journ.Quant.Electron.,v.QE-11,p.402,(1975)]neff<nROR1(1)有效折射率neff可以通过关系式β=(2π/λ)neff计算,得到式中β是在有源层3的一个方向内辐射的复合波传播常数的绝对值,λ是辐射波长。在本专利技术中,我们提出并由实验证实上述条件(1)也适用于自发发射。因此,将定向自发发射的传播角φ定义为等于激光模的泄漏角,表示为φ=arccos(neff/nROR1)(2)我们还提出将传播角φ的整个范围用于定向自发发射,因此该比率的整个范围为(neff/nROR1)。关系式(1)和(2)确定角度φ(φ大于0)下限。我们提出利用关系式(3)和(4)确定传播角上限φmaxarcos(neff/nROR1)arcos(neff-mim/nROR1)=φmax(3)neff-min大于nmin(4)式中neff-min是对于具有辐射输出区7的异质结构2的所有可能的neff实际值的neff最小值,而nmin是在异质结构的包层内折射率的最小值。对一些实际使用的异质结构进行了数字计算,例如依据化合物InGaAs/GaAs/AlGaAs的异质结构,表明最大的泄漏角φmax近似于30°-35°。在输出区内的用于自发发射传播的垂直面上的发散角Δφ由光谱色散(即,由作为波长λ的函数的传播角φ的扩展,对于自发发射在波段Δλ范围内变化)和衍射来确定。对于已知折射率neff和nROR1与波长λ(在Δλ范围内)的关系时,限制色散的发散角Δφ1可以由式(2)的数字计算确定衍射限制的发散角。在利用已知的近似关系[H.C.Casey andM.B.Panish,Heterostructure Laser,Pt.1(Russian transla本文档来自技高网...

【技术保护点】
注入式非相干发射体,其所含的异质结构包含有源层,包层,欧姆接触,以及至少在有源层的一侧相邻于包层的并透过辐射的辐射输出区;其特征在于,至少形成一个具有合适结构的辐射输出区,所述的输出区至少其中一层的折射率为n↓[RORq],辐射的光学损耗因子为α↓[RORq](cm↑[-1]),厚度为d↓[RORq](μm),其中q=1,2,…,p为整数,表示标记输出区层数的序数,从它的具有异质结构的边界起数;具有相邻辐射输出区的异质结构由有效的折射率n↓[eff]表征,其中将有效折射率n↓[eff]和折射率n↓[ROR1]选择成满足下述关系式:arccos(n↓[eff]/n↓[ROR1])≤arccos(n↓[eff-min]/n↓[ROR1]),以及n↓[eff-min]>n↓[min],式中,n↓[eff- min]是对于许多具有实际值的辐射输出区的异质结构其所有可能的有效折射率n↓[eff]中的n↓[eff]的最小值,而n↓[min]是在异质结构的包层内折射率的最小值。

【技术特征摘要】
RU 1998-12-29 981232481.注入式非相干发射体,其所含的异质结构包含有源层,包层,欧姆接触,以及至少在有源层的一侧相邻于包层的并透过辐射的辐射输出区;其特征在于,至少形成一个具有合适结构的辐射输出区,所述的输出区至少其中一层的折射率为nRORq,辐射的光学损耗因子为αRORq(cm-1),厚度为dRORq(μm),其中q=1,2,…,p为整数,表示标记输出区层数的序数,从它的具有异质结构的边界起数;具有相邻辐射输出区的异质结构由有效的折射率neff表征,其中将有效折射率neff和折射率nROR1选择成满足下述关系式arccos(neff/nROR1)≤arccos(neff-min/nROR1),以及neff-min>nmin,式中,neff-min是对于许多具有实际值的辐射输出区的异质结构其所有可能的有效折射率neff中的neff的最小值,而nmin是在异质结构的包层内折射率的最小值。2.如权利要求1所述的注入式非相干发射体,其特征是异质结构的有源层由至少一子层形成。3.如上述权利要求的任一项所述的注入式非相干发射体,其特征是分别设置有源层的第一和相对的第二层上的包层分别由包子层Ii和IIi形成,其中I=1,2…K,j=1,2…m,是整数,表示标记从有源层起数的包子层的序数,其折射率分别为nIi和nIIi,在每个包层内至少形成一个包子层。4.如权利要求3所述的注入式非相干发射体,其特征是至少使异质结构的一包子层作为一梯度层。5.如上述权利要求的任一项所述的注入式非相干发射体,其特征是至少在操作的发射体内形成一个注入区。6.如上述权利要求的任一项所述的注入式非相干发射体,其特征是选择相邻于辐射输出区的包层的厚度小于设置在有源层的相反侧上的包层的厚度。7.如上述权利要求的任一项所述的注入式非相干发射体,其特征是选择相邻于辐射输出区的包子层的折射率大于设置在有源层的相反侧上的外包子层的折射率。8.如上述权利要求的任一项所述的注入式非相干发射体,其特征是选择注入区的尺寸和面积SIR小于相邻于异质结构的称为内表面的辐射输出区的表面的尺寸和面积SIN。9.如上述权利要求的任一项所述的注入式非相干发射体,其特征是选择辐射输出区dRORq的厚度在1-10,000μm范围内。10.如上述权利要求的任一项所述的注入式非相干发射体,其特征是辐射输出区是导电的。11.如权利要求10所述的注入式非相干发射体,其特征是对辐射输出区的外表面,即,与内表面相反的面形成欧姆接触。12.如上述权利要求的任一项所述的注入式非相干发射体,其特征是辐射输出区是由光学均匀的材料制成。13.如上述权利要求的任一项所述的注入式非相干发射体,其特征是辐射输出区至少有两层,第一层邻接异质结构是导电层,而第二层是由光学损耗因子αROR2小于第一层的光学损耗因子αROR1的材料形成。14.如权利要求13所述的注入式非相干发射体,其特征是第二层做成绝缘层。15.如权利要求13所述的注入式非相干发射体,其特征是选择第二层的折射率nROR2小于邻接于异质结构的第一层的折射率nROR1。16.如上述权利要求的任一项所述的注入式非相干发射体,其特征是至少辐射输出区的一层是由半导体制成的。17.如上述权利要求的任一项所述的注入式非相干发射体,其特征是至少辐射输出区的一层是由引入的衬底制成的。18.如上述权利要求的任一项所述的注入式非相干发射体,其特征是对于辐射输出区的第一导电层形成欧姆接触。19.如上述权利要求的任一项所述的注入式非相干发射体,其特征是输出区由至少是以直角截锥的形式形成,圆锥的底设置在与其相邻的包子层上。20.如权利要求19所述的注入式非相干发射体,其特征是选择由辐射输出区的横表面的母线与其内表面所形成的...

【专利技术属性】
技术研发人员:瓦西里伊万诺维奇什韦金
申请(专利权)人:瓦西里伊万诺维奇什韦金
类型:发明
国别省市:RU[俄罗斯]

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