【技术实现步骤摘要】
一种基于三自由度摆式主动隔振基座
[0001]本技术涉及隔振装置
,具体是一种基于三自由度摆式主动隔振基座。
技术介绍
[0002]目前半导体行业飞速发展,半导体生产设备的精度要求越来越高,设备对微振动等环境的要求也越来越敏感,少许的微振动就会降低设备的产出良率,甚至使设备不能正常工作,因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]隔振器能够直接当作是低通的滤波器,这种滤波器能够有效地滤除其固有频率以上的环境振动干扰,但是对于其固有频率附近的振动干扰的抑制效果较弱,甚至有时会出现因为共振现象而放大该振动幅值的现象。因此,为了系统在低频段获得更好的隔振效果,通常采用降低其固有频率的方法,从而避免在某些频率处发生共振。
[0004]然而如何使隔振器在能够较好隔离基台传递到负载的振动干扰的同时,还能够具有较好的定位精度,是一直需要解决的问题。
技术实现思路
[0005]技术的目的在于提供一种基于三自由度摆式主动隔振基座,以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0006]本技术的技术方案是这样实现的:
[0007]一种基于三自由度摆式主动隔振基座,包括顶板、支撑腔体、空气弹簧、活塞、柔性摆杆和数字控制器,所述柔性摆杆连接在顶板下方,所述柔性摆杆下端与活塞滑动连接,所述活塞位于空气弹簧顶部,所述顶板下方设有震动传感器,所述支撑腔体上部设有位置传感器和音圈电机。
[0008]进一步地,所述顶板为矩形,由5mm不锈钢板制造而成。
[0009]进一步地,所述支撑腔体为矩 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于三自由度摆式主动隔振基座,包括顶板、支撑腔体、空气弹簧、活塞、柔性摆杆和数字控制器,其特征在于,所述柔性摆杆连接在顶板下方,所述柔性摆杆下端与活塞滑动连接,所述活塞位于空气弹簧顶部,所述顶板下方设有震动传感器,所述支撑腔体上部设有位置传感器和音圈电机。2.根据权利要求1所述的一种基于三自由度摆式主动隔振基座,其特征在于,所述顶板为矩形,由5mm不锈钢板制造而成。3.根据权利要求1所述的一种基于三自由度摆式主动隔振基座,其特征在于,所述支撑腔体为矩形构造,在支撑腔体的四个外壁上沿...
【专利技术属性】
技术研发人员:高景作,赵小江,孙乐,
申请(专利权)人:大连地拓电子工程技术有限公司,
类型:新型
国别省市:
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