表面处理设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种表面处理设备，本申请的表面处理设备包括反应槽、臭氧发生装置、进液装置、排液装置和液体循环装置，进液装置和排液装置均与反应槽连通，臭氧发生装置与液体循环装置连通，臭氧发生装置用于产生臭氧并将臭氧输送至液体循环装置内，液体循环装置与反应槽连通，液体循环装置用于将反应槽内的部分液体抽出，并输送回反应槽。本申请的表面处理设备无需设置排液稀释管路、结构简单，且无需耗费大量的人力物力处理含氮废液，可以降低加工成本；氧化和去氧化过程中不会产生有碍反应的杂质，便于对太阳能电池进行表面处理；通过进液装置和排液装置的配合可以不停机处理，能够提升加工效率。能够提升加工效率。能够提升加工效率。

【技术实现步骤摘要】
表面处理设备


[0001]本技术涉及太阳能
，尤其涉及一种表面处理设备。

技术介绍

[0002]硅基板太阳能电池是在硅片的基础上表面生长本征和掺杂非晶硅层形成特殊的PN结，能够将光能转化为电能。由于生长的本征和掺杂的非晶硅层为纳米量级，在制备过程中非常容易受伤，导致漏电现象，降低电池的效率和可靠性。因此需要对硅片制绒后的金字塔结构表面进行处理，使金字塔结构的尖端和棱角更平滑，然后再生长的非晶硅层的厚度更均匀，不易因摩擦破损导致漏电。
[0003]现有的电池制绒的主要流程为：前清洗
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粗抛
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水洗
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制绒
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清洗
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表面处理(削尖腐蚀)
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清洗
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吹干。公开号为CN106449373A的中国专利申请公开了一种异质结电池的制绒清洗方法，该申请在表面处理过程中采用硝酸和氢氟酸混合溶液对硅片腐蚀，利用溶液中的硝酸对制绒后的硅片进行氧化，再利用氢氟酸去除氧化层，从而达到腐蚀处理的效果。由于硝酸在反应过程中会产生亚硝酸，因此容易影响反应速率、稳定性差、换液频次高，而且需要在槽体设备处同时设置两种酸液的进液管路和排液稀释管路，以便将反应一段时间后浓度不满足要求的混酸液排掉。此外，使用硝酸进行表面处理时会产生大量的热量，为了保证设备的稳定性需要配置低温恒温系统。由此可见，该现有技术的方法会导致硝酸的使用量大，并导致处理设备复杂、成本高的问题。
[0004]因此，需要设计一种结构简单便于使用且成本低的处理设备。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种表面处理设备，用以改善现有技术中表面处理设备结构复杂、处理成本高的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种表面处理设备，包括反应槽、臭氧发生装置、进液装置、排液装置和液体循环装置，所述进液装置和所述排液装置均与所述反应槽连通，所述反应槽用于对目标物进行表面处理，所述进液装置用于向所述反应槽内输入液体，所述排液装置用于排出所述反应槽内的液体，所述臭氧发生装置与所述液体循环装置连通，所述臭氧发生装置用于产生臭氧并将所述臭氧输送至所述液体循环装置内，使至少部分所述臭氧溶解于所述液体循环装置内的液体中并形成回流液体，所述液体循环装置与所述反应槽连通，所述液体循环装置用于将所述反应槽内的部分液体抽出，并将所述回流液体输送回所述反应槽。
[0007]本技术的表面处理设备的有益效果在于：所述进液装置和所述排液装置均与所述反应槽连通，所述反应槽用于对目标物进行表面处理，所述进液装置用于向所述反应槽内输入液体，所述排液装置用于排出所述反应槽内的液体，所述臭氧发生装置与所述液体循环装置连通，所述臭氧发生装置用于产生臭氧并将所述臭氧输送至所述液体循环装置内，使至少部分所述臭氧溶解于所述液体循环装置内的液体中并形成回流液体，所述液体
循环装置与所述反应槽连通，所述液体循环装置用于将所述反应槽内的部分液体抽出，并将所述回流液体输送回所述反应槽。通过向所述反应槽内加入一定量的氢氟酸溶液，之后通过所述液体循环装置将所述反应槽内的溶液抽送至所述液体循环装置内，并同时通过所述臭氧发生装置对所述液体循环装置内的溶液输入臭氧，形成溶解有臭氧的氢氟酸溶液，并在所述液体循环装置的继续作用下将溶解有臭氧的氢氟酸溶液输送回所述反应槽内，对电池进行处理时通过溶解的臭氧对硅片表面进行氧化，再通过氢氟酸去除氧化层，臭氧反应后分解成氧气后扩散，氢氟酸反应后生成水和无机物，生成的水和无机物溶解于溶液内或沉淀在底部，不会产生有碍氧化和去氧化的杂质，并通过所述进液装置和所述排液装置将所述反应槽内的溶液定量排出和补充，能够保证反应槽内的溶液的浓度，可以不停机处理电池，由此可见，本申请的表面处理设备无需设置排液稀释管路、结构简单，且无需耗费大量的人力物力处理含氮废液，可以降低加工成本；氧化和去氧化过程中不会产生有碍反应的杂质，便于对电池进行表面处理；通过所述进液装置和所述排液装置的配合可以不停机处理，能够提升加工效率。
[0008]在一种可行的方案中，还包括温控装置，所述温控装置设置于所述反应槽，所述温控装置用于获取所述反应槽的温度并用于调控所述反应槽的温度。其有益效果在于：设置所述温控装置可以监测并调控所述反应槽内的温度，便于在氧化和去氧化过程中保持外界条件的稳定，便于保证反应过程的正常进行，且使用所述臭氧对电池进行氧化，不会产生大量的热量，可以简化所述温控装置的结构。
[0009]在一种可行的方案中，所述液体循环装置包括第一管路、第二管路和循环泵，所述第一管路的两端分别与所述反应槽和所述循环泵的一端连通，所述第二管路的两端分别与所述反应槽和所述循环泵的另一端连通，所述循环泵用于通过所述第一管路抽出所述反应槽内的液体并通过所述第二管路将所述液体输送至所述反应槽，所述臭氧发生装置包括臭氧发生器、第三管路和射流器，所述第三管路的两端分别与所述臭氧发生器和所述第二管路连通，所述射流器设置于所述第三管路与所述第二管路的连接处，所述臭氧发生器用于产生臭氧并输送至所述第三管路，所述射流器用于将所述第三管路内的所述臭氧输送至所述第二管路内。其有益效果在于：所述循环泵通过所述第一管路将所述反应槽内的溶液抽送至所述循环泵内，并在所述循环泵的继续作用下将所述循环泵内的溶液通过所述第二管路继续抽送回所述反应槽内，同时通过所述臭氧发生器制造臭氧并输送至所述第三管路内，所述射流器将所述第三管路内的臭氧输送至所述第二管路内，能够使得所述臭氧溶解于所述第二管路内的溶液内，通过这种槽外溶解臭氧的方式相比于直接在所述反应槽内通入臭氧的方式更能够提升臭氧的溶解率，提升臭氧的使用效率，同时通过所述射流器将所述臭氧输送至所述第二管路内，能够降低所述臭氧通过所述第三管路回流至所述臭氧发生器的比例，辅助所述臭氧进入所述第二管路内。
[0010]在一种可行的方案中，还包括臭氧分解装置，所述臭氧分解装置与所述第二管路连通，所述臭氧分解装置用于分解未溶解的臭氧。其有益效果在于：由于所述臭氧在水中的溶解值有限，设置所述臭氧分解装置能够将未溶解的所述臭氧通过所述臭氧分解装置进行分解，避免过量的臭氧直接排放在空气中对工作人员造成损伤。
[0011]在一种可行的方案中，所述第二管路包括依次连通的第一段部、第二段部和第三段部，所述第一段部与所述循环泵连通，所述第三段部与所述反应槽连通，所述第一段部和
所述第三段部均竖直设置，所述第二段部水平设置，且所述第二段部位于所述第一段部和所述第三段部的顶侧，所述臭氧分解装置与所述第二段部连通。其有益效果在于：这样设置便于提升输送回所述反应槽内的所述回流液体中所述臭氧的稳定程度，降低所述臭氧在所述反应槽处扩散至大气中的量，同时利用气体的密度小于水的密度并通过所述臭氧分解装置将聚集于所述第二段部处的所述臭氧运送出去，避免气体堆积阻断所述第二管路的流通。
[0012]在一种可行的方案中，还包括第一控制器和压力传感器，所述压力传感器设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种表面处理设备，其特征在于，包括反应槽、臭氧发生装置、进液装置、排液装置和液体循环装置；所述进液装置和所述排液装置均与所述反应槽连通，所述反应槽用于对目标物进行表面处理，所述进液装置用于向所述反应槽内输入液体，所述排液装置用于排出所述反应槽内的液体；所述臭氧发生装置与所述液体循环装置连通，所述臭氧发生装置用于产生臭氧并将所述臭氧输送至所述液体循环装置内，使至少部分所述臭氧溶解于所述液体循环装置内的液体中并形成回流液体；所述液体循环装置与所述反应槽连通，所述液体循环装置用于将所述反应槽内的部分液体抽出，并将所述回流液体输送回所述反应槽。2.根据权利要求1所述的表面处理设备，其特征在于，还包括温控装置；所述温控装置设置于所述反应槽，所述温控装置用于获取所述反应槽的温度并用于调控所述反应槽的温度。3.根据权利要求1所述的表面处理设备，其特征在于，所述液体循环装置包括第一管路、第二管路和循环泵；所述第一管路的两端分别与所述反应槽和所述循环泵的一端连通，所述第二管路的两端分别与所述反应槽和所述循环泵的另一端连通，所述循环泵用于通过所述第一管路抽出所述反应槽内的液体并通过所述第二管路将所述液体输送至所述反应槽；所述臭氧发生装置包括臭氧发生器、第三管路和射流器；所述第三管路的两端分别与所述臭氧发生器和所述第二管路连通，所述射流器设置于所述第三管路与所述第二管路的连接处，所述臭氧发生器用于产生臭氧并输送至所述第三管路，所述射流器用于将所述第三管路内的所述臭氧输送至所述第二管路内。4.根据权利要求3所述的表面处理设备，其特征在于，还包括臭氧分解装置，所述臭氧分解装置与所述第二管路连通，所述臭氧分解装置用于分解未溶解的臭氧。5.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩培丁，
申请(专利权)人：上海谦阳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：