表面处理设备的控制方法技术

本发明专利技术提供了一种表面处理设备的控制方法，本发明专利技术的表面处理设备的控制方法包括以下步骤：S0：提供反应槽、液体循环装置和臭氧发生装置，S1：将所述液体循环装置与所述反应槽连通，将所述臭氧发生装置与所述液体循环装置连通，S2：在所述反应槽内通入一定量的氢氟酸溶液，S3：开启所述臭氧发生装置产生臭氧，开启所述液体循环装置带动所述反应槽内的溶液进入所述液体循环装置，使进入所述液体循环装置的溶液与所述臭氧发生混合，并将混合后的溶液输送回所述反应槽，S4：将待处理的目标物浸入所述反应槽内进行表面处理后取出。本发明专利技术的表面处理设备的控制方法处理步骤简单，且不会产生有碍氧化和去氧化的杂质，成本低。成本低。成本低。

【技术实现步骤摘要】
表面处理设备的控制方法


[0001]本专利技术涉及太阳能
，尤其涉及一种表面处理设备的控制方法。

技术介绍

[0002]硅基板太阳能电池是在硅片的基础上表面生长本征和掺杂非晶硅层形成特殊的PN结，能够将光能转化为电能。由于生长的本征和掺杂的非晶硅层为纳米量级，在制备过程中非常容易受伤，导致漏电现象，降低电池的效率和可靠性。因此需要对硅片制绒后的金字塔结构表面进行处理，使金字塔结构的尖端和棱角更平滑，然后再生长的非晶硅层的厚度更均匀，不易因摩擦破损导致漏电。
[0003]现有的电池制绒的主要流程为：前清洗
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粗抛
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水洗
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制绒
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清洗
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表面处理(削尖腐蚀)
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清洗
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吹干。公开号为CN106449373A的中国专利申请公开了一种异质结电池的制绒清洗方法，该申请在表面处理过程中采用采用硝酸和氢氟酸混合溶液对硅片腐蚀，利用溶液中的硝酸对制绒后的硅片进行氧化，在利用氢氟酸去除氧化层，从而达到腐蚀处理的效果。由于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种表面处理设备的控制方法，其特征在于，包括以下步骤：S0：提供反应槽、液体循环装置和臭氧发生装置；S1：将所述液体循环装置与所述反应槽连通，将所述臭氧发生装置与所述液体循环装置连通；S2：在所述反应槽内通入一定量的氢氟酸溶液；S3：开启所述臭氧发生装置产生臭氧，开启所述液体循环装置带动所述反应槽内的溶液进入所述液体循环装置，使进入所述液体循环装置的溶液与所述臭氧发生混合，并将混合后的溶液输送回所述反应槽；S4：将待处理的目标物浸入所述反应槽内进行表面处理后取出。2.根据权利要求1所述的表面处理设备的控制方法，其特征在于，在所述步骤S4之后还包括以下步骤：S5：提供进液装置和排液装置；S6：将所述进液装置和所述排液装置分别与所述反应槽连通；S7：通过所述排液装置排出一定量的溶液，通过所述进液装置补充一定量的溶液。3.根据权利要求1所述的表面处理设备的控制方法，其特征在于，所述步骤S2中的所述氢氟酸溶液的浓度为0.5
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1.5％...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩培丁，
申请(专利权)人：上海谦阳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：