一种采用倒金字塔绒面的太阳能电池的制造方法技术

本发明专利技术涉及一种采用倒金字塔绒面的太阳能电池的制造方法，它包括如下步骤，步骤A，对半导体基板进行倒金字塔制绒；步骤B，对经步骤A处理的半导体基板进行表面钝化。本发明专利技术的目的在于提供一种采用倒金字塔绒面的太阳能电池的制造方法，其有别于传统倒金字塔绒面制备方法，提高了制绒效果。提高了制绒效果。提高了制绒效果。

【技术实现步骤摘要】
一种采用倒金字塔绒面的太阳能电池的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种采用倒金字塔绒面的太阳能电池的制造方法。

技术介绍

[0002]在异质结太阳能电池制作的过程中，制绒清洗是必不可少的关键步骤之一，制绒可以使电池片表面形成金字塔绒面，达到减少入射光的反射，提升短路电流的目的。
[0003]一般的单晶或铸锭单晶硅片制绒都是在添加剂辅助下，用碱性溶液进行各向异性反应以形成正向金字塔绒面。但正向金字塔绒面在光照非直射或环境光多为散射光时，对光线的吸收率不佳，而且突出的金字塔尖端在后续工艺中容易受到磨损而破坏，导致钝化失效，PN结受损，影响电池片的良率和效率。
[0004]由此，倒金字塔绒面相对于正向金字塔绒面，弱光吸收能力更佳，内陷的绒面也较不易受到后续工艺的破坏。目前大多数倒金字塔绒面的制备都是采用金属离子辅助制绒形成孔洞后再以碱性溶液进行各向异性反应而形成的。但上述方法对后续硅片的清洗要求较高，容易出现重金属的污染，影响硅片的表面钝化；再者，药液中的重金属离子，如银离子、铜离子对环境污染存在隐患，后期对于废液的处理成本较高，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种采用倒金字塔绒面的太阳能电池的制造方法，其特征在于：它包括如下步骤，步骤A，对半导体基板进行倒金字塔制绒；步骤B，对经步骤A处理的半导体基板进行表面钝化。2.根据权利要求1所述的采用倒金字塔绒面的太阳能电池的制造方法，其特征在于：所述步骤B的具体方法为在半导体基板表面放置带有网孔的第二遮掩结构后进行第一次钝化膜沉积，然后移除第二遮掩结构进行第二次钝化膜沉积。3.根据权利要求2所述的采用倒金字塔绒面的太阳能电池的制造方法，其特征在于：在进行步骤B处理之前，对半导体基板进行酸洗。4.根据权利要求2所述的采用倒金字塔绒面的太阳能电池的制造方法，其特征在于：所述第二遮掩结构为网孔大小与倒金字塔绒面个体大小相适应且网孔分布均匀的网状掩膜板。5.根据权利要求1所述的采用倒金字塔绒面的太阳能电池的制造方法，其特征在于：所述第一次钝化膜沉积和第二次钝化膜沉积均为非晶硅薄膜或二氧化硅薄膜沉积。6.根据权利要求1
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5任意一项所述的采用倒金字塔绒面的太阳能电池的制造方法，其特征在于：所述步骤A的具体方法为在半导体基板表面放置带有网孔的第一遮掩结构后进行蚀刻，然后移...

【专利技术属性】
技术研发人员：林锦山，廖培灿，黄天福，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：发明
国别省市：