具螺旋布置金属电极的氮化物发光二极管及其制造方法技术

技术编号:3213246 阅读:213 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种具螺旋布置金属电极的氮化物发光二极管(Light EmittingDiode;LED)及其制造方法,是利用蚀刻或研磨方法,以在发光二极管的外延结构表面形成螺旋形的凹槽。因此,在后续形成具有两种不同电性的金属电极间,亦形成螺旋平行结构的分布。利用本发明专利技术具螺旋布置金属电极的氮化物发光二极管,可使注入电流平均分布于两种电性的电极间,具有增进电流分散(Current Spreading)与均匀发光区的优点。另外,产生的光子若以大角度放射到发光二极管的表面,将可经由蚀刻螺旋形图案后所暴露出的凹槽侧边逸出,可增进光子的逸出效率(Extraction Efficiency)。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种氮化物发光二极管(Light Emitting Diode;LED)的结构及其制造方法,特别是涉及具螺旋布置金属电极的氮化物发光二极管结构及其制造方法。
技术介绍
目前,发光二极管因其具有低生产成本、低生产困难度、轻便、安装容易以及发展性佳等特点,所以被广泛应用在日常生活中,例如电子看板、指示灯和感应器等方面。虽然如此,有效地进一步提升发光二极管的发光效率,仍是大家期盼的持续目标。图1a所绘示为现有氮化物发光二极管的结构俯视图,而图1b所绘示为图1a的现有氮化物发光二极管沿A-A’剖面线的结构剖面图。请参照图1b,其中现有氮化物发光二极管10的结构与制造方法为在基板12上依序形成缓冲层14、第一电性半导体层16、第一电性夹层18、主动层20(或称活化层)、第二电性夹层22、与第二电性接触层24的外延结构。接着,将上述的外延结构蚀刻或研磨至暴露出部分第一电性半导体层16。接着,再分别沉积第二电性透明电极26、第二电性金属电极垫30、与第一电性金属电极垫28,如图1a所示。现有发光二极管10的结构是利用第二电性透明电极26,以提高电流分散(Current Sprea本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具螺旋布置金属电极的氮化物发光二极管,至少包括: 一基板; 一外延结构位于该基板上,其中该外延结构至少包括: 位于该基板上的一第一次堆叠结构;以及 以一螺旋状分布于该第一次堆叠结构上的一第二次堆叠结构,其中该第二次堆叠结构中具有一凹槽,且该凹槽暴露出该第二次堆叠结构的一侧面与该第一次堆叠结构的一部分表面; 一第一电性金属电极位于该凹槽中,并沿该第二次堆叠结构以螺旋状分布于第一次堆叠结构的部分表面上,其中该第一电性金属电极并与一第一电性金属电极垫连接;以及 一第二电性欧姆电极位于该第二次堆叠结构上,其中该第二电性与第一电性相异,且该第二电性欧姆电极至少包括...

【技术特征摘要】
1.一种具螺旋布置金属电极的氮化物发光二极管,至少包括一基板;一外延结构位于该基板上,其中该外延结构至少包括位于该基板上的一第一次堆叠结构;以及以一螺旋状分布于该第一次堆叠结构上的一第二次堆叠结构,其中该第二次堆叠结构中具有一凹槽,且该凹槽暴露出该第二次堆叠结构的一侧面与该第一次堆叠结构的一部分表面;一第一电性金属电极位于该凹槽中,并沿该第二次堆叠结构以螺旋状分布于第一次堆叠结构的部分表面上,其中该第一电性金属电极并与一第一电性金属电极垫连接;以及一第二电性欧姆电极位于该第二次堆叠结构上,其中该第二电性与第一电性相异,且该第二电性欧姆电极至少包括一第二电性透明电极位于该第二次堆叠结构上;以及一第二电性金属电极位于该第二电性透明电极上,且该第二电性金属电极与一第二电性金属电极垫连接。2.根据权利要求1所述的具螺旋布置金属电极的氮化物发光二极管,其特征在于上述的第一次堆叠结构至少包括含有暴露出该部分表面的一第一电性半导体层,且该第一电性半导体层是由氮化铝镓铟构成;以及一缓冲层位于该第一电性半导体层与该基板间,且该缓冲层的材质可选自于由氮化铝与氮化镓所组成的一族群。3.根据权利要求1所述的具螺旋布置金属电极的氮化物发光二极管,其特征在于上述的第二次堆叠结构至少包括一第一电性夹层位于该第一次堆叠结构上,其中该第一电性夹层是由氮化铝镓铟构成;一主动层位于该第一电性夹层上,其中该主动层的材质可选自于含氮化铝镓铟材料双异质与量子井结构所组成的一族群;一第二电性夹层位于该主动层上,其中该第二电性夹层是由氮化铝镓铟构成;以及一第二电性接触层位于该第二电性夹层上,且该第二电性接触层是由氮化铝镓铟构成。4.根据权利要求1所述的具螺旋布置金属电极的氮化物发光二极管,其特征在于上述的第一电性金属电极垫与该第二电性金属电极垫的形状可选自于由方形、圆形、星形、与任意形状所组成的一族群。5.根据权利要求1所述的具螺旋布置金属电极的氮化物发光二极管,其特征在于若该第一电性为负型,第二电性为正型,则该第一电性金属电极的材质可选自于由钛、铝、与金的单层与多层金属结构、及其合金所组成的一族群,该第一电性金属电极垫的材质可选自由钛、铝、与金的单...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈锡铭
申请(专利权)人:联铨科技股份有限公司陈锡铭
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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