【技术实现步骤摘要】
一种蒸发镀膜设备及蒸发镀膜挡板
[0001]本技术涉及新能源
，特别涉及一种蒸发镀膜设备及蒸发镀膜挡板。
技术介绍
[0002]在半导体制造领域，蒸发镀膜是一种常见的镀膜沉积工艺。
[0003]蒸发镀膜设备的挡板能够改善蒸发速率在不同角度的渐变性，提高蒸发镀膜的均匀性。
[0004]现有技术中，蒸发镀膜设备常用的挡板一般为半圆形或者矩形形状的挡板，且个数为两个，两个挡板通过气动装置控制开合，两个挡板只能在特定的方向开合，挡板遮挡调节范围小，适应的蒸镀场景有限。
技术实现思路
[0005]有鉴于此，本技术提供了一种蒸发镀膜设备挡板，以增强挡板遮挡范围的调节。本技术还提供了一种蒸发镀膜设备。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种蒸发镀膜设备挡板，包括挡板组件和调节组件，
[0008]所述挡板组件用于提高蒸发镀膜的均匀性，所述调节组件用于调节所述挡板组件，
[0009]所述调节组件包括内轴和外轴，
[0010]所述外轴内开设...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，包括挡板组件(1)和调节组件(2)，所述挡板组件(1)用于提高蒸发镀膜的均匀性，所述调节组件(2)用于调节所述挡板组件(1)，所述调节组件(2)包括内轴(21)和外轴(22)，所述外轴(22)能够绕自身轴线转动，所述外轴(22)内开设有与所述外轴(22)同轴布置的第一安装孔，所述内轴(21)能够绕自身轴线转动，所述内轴(21)安装在所述第一安装孔内且与所述第一安装孔间隙配合，或者，所述内轴(21)通过轴承安装在所述第一安装孔内，所述轴承的外圈与所述第一安装孔的孔壁连接，所述轴承的内圈与所述内轴(21)连接，所述挡板组件(1)包括扇形挡板(11)、第一扇骨(12)、第二扇骨(13)和中间扇骨(14)，所述第一扇骨(12)与所述扇形挡板(11)的第一边连接，且所述第一扇骨(12)位于所述扇形挡板(11)的第一面，所述第一扇骨(12)对应所述扇形挡板(11)的圆心的位置与所述内轴(21)固定连接，所述第一扇骨(12)能够随所述内轴(21)同步运动，所述第二扇骨(13)与所述扇形挡板(11)的第二边连接，且所述第二扇骨(13)位于所述扇形挡板(11)的第二面，所述第二扇骨(13)对应所述扇形挡板(11)的圆心的位置与所述外轴(22)固定连接，所述第二扇骨(13)能够随所述外轴(22)同步运动，所述中间扇骨(14)的个数至少为一个，所述中间扇骨(14)位于所述第一扇骨(12)和所述第二扇骨(13)之间，所述中间扇骨(14)与所述扇形挡板(11)的第一面或者第二面连接且沿所述扇形挡板(11)的半径方向设置，所述扇形挡板(11)能够在所述中间扇骨(14)的位置发生折叠，所述中间扇骨(14)对应所述扇形挡板(11)的圆心的位置开设有第二安装孔，所述中间扇骨(14)通过所述第二安装孔套设在所述内轴(21)或者所述外轴(22)上且所述第二安装孔与所述内轴(21)或者外轴(22)间隙配合，其中，所述第一边和所述第二边分别为所述扇形挡板(11)的外圆弧对应的两条半径所在的边，所述第一面和所述第二面分别为所述扇形挡板(11)的两个面，所述第一面与所述第二面相对。2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述第二扇骨(13)通过轴套(23)与所述外轴(22)连接，所述轴套(23)套设在所述外轴(22)上且与所述外轴(22)过盈配合，所述轴套(23)的外轴(22)与所述第二扇骨(13)对应所述圆心的位置连接。3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述轴套(23)的外壁设置有挡杆(24)，所述挡杆(24)能够与所述第二扇骨(13)远离所述中间扇骨(14)的一侧相抵。4.根据权利要求3所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述挡杆(24)为L型挡杆。5.根据权利要求3所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述挡杆(24)上设置有第一角度传感器，所述第一角度传感器用于检测所述第一扇骨(12)和所述第二扇骨(13)之间的角度。6.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备挡板，其特征在于，所述第二扇骨(13)对应所述圆心的位置设置有第三安装孔，所述第二扇骨(13)通过第三安装孔套设在所述外轴(22)上，所述第三安装孔与所述外轴(22)过盈配合；或者，所述第二扇骨(13)对应所述圆心的位置与所述外轴(22)胶粘连接，
或者，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：熊继光，李卫东，赵志国，刘家梁，李梦洁，赵东明，秦校军，董超，夏渊，文军，汪强，丁坤，
申请(专利权)人：华能新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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