【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及制造装置用旋转机的寿命的预测、诊断技术，特别是涉及真空泵等旋转机的寿命的预测方法、以及具有该旋转机的制造装置。
技术介绍
为了有效地进行半导体器件的制造，半导体制造装置的故障诊断变得重要起来。另外，近年来，在系统LSI中，特别是少量、多品种的生产倾向增强，与此相应灵活高效的半导体器件的制造方法也变得必要起来。在高效的半导体生产中有采用小规模的生产线的方法。但是，如果只是单纯地使大规模生产线减小则会产生制造装置的运转率下降等问题，因此存在有投资效率下降的问题。作为其对策，具有用一台制造装置进行多个制造工序的方法，但是，例如，在将干式泵用于排气系统的减压化学气相生长(LPCVD)装置中，伴随工艺的种类的不同，反应气体、反应生成物不同，泵内部的生成物的发生状况也不相同。由此，当工艺的种类变化时，会导致寿命也发生变动。如果在特定的制造工艺中泵停止，则不仅会导致制造中的一批产品不良，而且会在制造装置内部产生微小灰尘。因此，必须对制造装置进行额外的维护，使半导体器件的制造效率大幅度地降低。为了防止该工艺中的突然的停机，泵的维护时间需要预留有裕度，这会使泵的维...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种旋转机的寿命预测方法，其特征在于包括下述步骤从监视器用制造工序中使用的监视器用旋转机的特征量的监视时间序列数据，判定上述监视器用旋转机即将停止之前的异常状态的开始时刻，统计地对上述监视时间序列数据进行解析，将上述特征量的上述异常状态的开始时刻的值作为异常判断的阈值求出；在制造工序中测定诊断对象旋转机的马达电流的特征量的时间序列数据；根据上述制造工序中上述特征量变动的时间序列数据，作成评价用诊断数据；将上述评价用诊断数据超过上述阈值的时刻，判定为上述诊断对象旋转机的寿命。2.如权利要求1所述的旋转机的寿命预测方法，其特征在于上述阈值根据上述马氏距离确定。3.如权利要求1所述的旋转机的寿命预测方法，其特征在于上述马达电流的特征量包括在上述制造工序中产生的电流峰值数量。4.如权利要求1所述的旋转机的寿命预测方法，其特征在于上述评价用诊断数据，由与在变为异常状态前的正常状态下超过阈值而被误诊断为异常的错误的危险率不同的多个特征量作成。5.如权利要求1所述的旋转机的寿命...
【专利技术属性】
技术研发人员：佐俣秀一，牛久幸广，中尾隆，古畑武夫，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：
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