本实用新型专利技术公开了一种用于调节晶振探头角度的装置，包括：调节管，晶振探头能够装设于调节管内部，蒸发腔的腔壳上设置有管孔，调节管的一部分通过管孔进入蒸发腔内；基座，基座位于蒸发腔外部，调节管铰接在基座上，管孔的孔径大于调节管的外径，以允许调节管转动；锁紧件，锁紧件能够将调节管锁紧在基座上，且锁紧件可拆卸。在本实用新型专利技术中，调节管可以转动，而晶振探头装设在调节管内，因此可以通过转动调节管的方式来使晶振探头对着蒸发舟，以利于探测到蒸发物料。在调节管调节到预期的位置后，利用锁紧件将调节管锁紧在基座上。本实用新型专利技术中的调节装置能够规避对晶振探头的弯折，因此规避了线缆的断裂，延长了晶振探头的使用寿命。寿命。寿命。
【技术实现步骤摘要】
一种用于调节晶振探头角度的装置
[0001]本技术涉及真空蒸发镀膜领域，更具体地说，涉及一种用于调节晶振探头角度的装置。
技术介绍
[0002]晶振探头能够检测蒸发舟的蒸发速率。现有的晶振探头装置包括晶振探头、冷却水管、夹具、振荡器等部件。蒸发舟位于蒸发腔内。晶振探头也位于蒸发腔内，并且蒸发腔的腔壳上设置有用于固定晶振探头装置的固定部。但是，将晶振探头装置固定后，晶振探头往往不会恰好对着蒸发舟，如此就不利于晶振探头探测到蒸发气体。为解决该问题，本领域技术人员通常会将晶振探头弯折，以使晶振探头对着蒸发舟。但是，在弯折的过程中，很可能会将内部电缆折断，从而造成断路。另外，还有可能将晶振探头的内部零件折断，那么就需要更换新的晶振探头。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是使晶振探头恰好正对蒸发舟，同时能够规避弯折晶振探头。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：
[0004]一种用于调节晶振探头角度的装置，包括：
[0005]调节管，晶振探头能够装设于所述调节管内部，蒸发腔的腔壳上设置有管孔，所述调节管的一部分通过所述管孔进入所述蒸发腔内；
[0006]基座，所述基座位于所述蒸发腔外部，所述调节管铰接在所述基座上，所述管孔的孔径大于所述调节管的外径，以允许所述调节管转动；
[0007]锁紧件，所述锁紧件能够将所述调节管锁紧在所述基座上，且所述锁紧件可拆卸。
[0008]优选地，还包括调节杆，所述调节杆的一端铰接在所述调节管上，另一端铰接有滑块，所述基座上设置有滑槽，所述滑块沿着所述滑槽滑动以推动所述调节管转动，所述锁紧件用于将所述滑块与所述滑槽锁紧。
[0009]优选地，所述滑槽的侧壁上设置有第一螺栓孔，所述第一螺栓孔为多个，多个所述第一螺栓孔沿着所述侧壁的长度方向排布，所述滑块上设置有第二螺栓孔，所述锁紧件为第一锁紧螺栓，所述第一锁紧螺栓与所述第一螺栓孔和所述第二螺栓孔配合使用。
[0010]优选地，所述滑槽的侧壁上设置有第三螺栓孔，所述第三螺栓孔为长条孔，所述第三螺栓孔沿着所述侧壁的长度方向延伸，所述滑块上设置有第四螺栓孔，所述锁紧件为第二锁紧螺栓，所述第二锁紧螺栓与所述第三螺栓孔和所述第四螺栓孔配合使用。
[0011]优选地，所述调节管上固连有第一铰接座，所述第一铰接座上设置有第一铰接耳，所述第一铰接耳上设置有第一销轴孔，且所述第一铰接耳为两个；
[0012]所述调节杆的一端设置有第一销轴，所述第一销轴的两端分别插设在两个所述第一销轴孔内。
[0013]优选地，所述调节杆的另一端设置有第二销轴，所述滑块上设置有第二铰接耳，所
述第二铰接耳上设置有第二销轴孔，所述第二铰接耳为两个，所述第二销轴的两端分别插设在两个所述第二销轴孔内。
[0014]优选地，所述调节管上固连有第三销轴，所述基座上设置有第三销轴孔，所述第三销轴配合于所述第三销轴孔内。
[0015]优选地，在所述基座靠近所述蒸发腔的一端，所述滑槽的侧壁相对于所述滑槽的底壁向着所述蒸发腔的方向凸出，形成侧壁凸出部，所述第三销轴孔设置在所述侧壁凸出部上。
[0016]优选地，所述管孔内设置有弹性件，所述弹性件上设置有弹性孔，所述弹性孔的孔径小于所述调节管的外径，所述调节管通过所述弹性孔进入所述蒸发腔内。
[0017]优选地，振荡器装设于所述调节管内。
[0018]优选地，所述调节管位于所述蒸发腔内的部分的端部为喇叭状。
[0019]从上述技术方案可以看出，在本技术中，调节管可以转动，而晶振探头装设在调节管内，因此可以通过转动调节管的方式来使晶振探头对着蒸发舟，以利于探测到蒸发物料。在调节管调节到预期的位置后，利用锁紧件将调节管锁紧在基座上。与现有技术中弯折晶振探头的技术方案相比，本技术中的调节装置能够规避对晶振探头的弯折，因此规避了线缆的断裂，延长了晶振探头的使用寿命。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例中的方案，下面将对实施例中描述所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术一具体实施例提供的晶振探头调节装置的主视图；
[0022]图2为本技术一具体实施例提供的基座的俯视图。
[0023]其中，1为调节管、2为调节杆、3为第一铰接耳、4为侧壁、5为第一螺栓孔、6为第三销轴孔、7为蒸发舟、8为蒸发腔室、9为侧壁凸出部、10为第三销轴、11为滑块、12为第二铰接耳。
具体实施方式
[0024]本技术公开了一种用于调节晶振探头角度的装置，该装置能够调节晶振探头的角度，以使晶振探头恰好正对蒸发舟，规避了对晶振探头的弯折。
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]本技术公开了一种用于调节晶振探头角度的装置，该调节装置包括：调节管1、基座以及锁紧件。其中，晶振探头能够装设于调节管1内部。蒸发腔8的腔壳上设置有管孔，调节管1的一部分通过管孔进入到蒸发腔8内。基座位于蒸发腔8外部，调节管1铰接在基座上，即调节管1能够相对于基座转动。管孔的孔径大于调节管1的外径，以允许调节管1进
行转动。转动调节管1就能够实现对调节管1角度的调节，晶振探头装设于调节管1内，转动调节管1以使晶振探头恰好对着蒸发腔8内的在蒸发舟7。
[0027]在本技术中，调节管1可以转动，而晶振探头装设在调节管1内，因此可以通过转动调节管1的方式来使晶振探头对着蒸发舟7，以利于探测到蒸发物料。在调节管1调节到预期的位置后，利用锁紧件将调节管1锁紧在基座上。与现有技术中弯折晶振探头的技术方案相比，本技术中的调节装置能够规避对晶振探头的弯折，因此规避了线缆的断裂，延长了晶振探头的使用寿命。
[0028]调节管1与基座之间存在如下关系：调节管1上铰接有调节杆2，调节杆2远离调节管1的一端铰接有滑块11。基座上设置有滑槽，滑块11与滑槽相配合。滑槽的一端靠近蒸发腔8，另一端远离蒸发腔8。在滑块11向着靠近蒸发腔8的方向滑动时，调节管1顺时针转动。在滑块11向着远离蒸发腔8的方向滑动时，调节管1逆时针转动。锁紧件用于将滑块11与滑槽锁紧。
[0029]滑槽的侧壁4上设置有第一螺栓孔5，第一螺栓孔5为多个，多个第一螺栓孔5沿着侧壁4的长度方向排布。滑块11上设置有第二螺栓孔。锁紧件为第一锁紧螺栓，第一锁紧螺栓与第一螺栓孔5和第二螺栓孔配合使用。在滑块11滑动到预期的位置后，将第一锁紧螺栓旋拧入对应的第一螺栓孔5以及第二本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于调节晶振探头角度的装置，其特征在于，包括：调节管，晶振探头能够装设于所述调节管内部，蒸发腔的腔壳上设置有管孔，所述调节管的一部分通过所述管孔进入所述蒸发腔内；基座，所述基座位于所述蒸发腔外部，所述调节管铰接在所述基座上，所述管孔的孔径大于所述调节管的外径，以允许所述调节管转动；锁紧件，所述锁紧件能够将所述调节管锁紧在所述基座上，且所述锁紧件可拆卸。2.根据权利要求1所述的用于调节晶振探头角度的装置，其特征在于，还包括调节杆，所述调节杆的一端铰接在所述调节管上，另一端铰接有滑块，所述基座上设置有滑槽，所述滑块沿着所述滑槽滑动以推动所述调节管转动，所述锁紧件用于将所述滑块与所述滑槽锁紧。3.根据权利要求2所述的用于调节晶振探头角度的装置，其特征在于，所述滑槽的侧壁上设置有第一螺栓孔，所述第一螺栓孔为多个，多个所述第一螺栓孔沿着所述侧壁的长度方向排布，所述滑块上设置有第二螺栓孔，所述锁紧件为第一锁紧螺栓，所述第一锁紧螺栓与所述第一螺栓孔和所述第二螺栓孔配合使用。4.根据权利要求2所述的用于调节晶振探头角度的装置，其特征在于，所述滑槽的侧壁上设置有第三螺栓孔，所述第三螺栓孔为长条孔，所述第三螺栓孔沿着所述侧壁的长度方向延伸，所述滑块上设置有第四螺栓孔，所述锁紧件为第二锁紧螺栓，所述第二锁紧螺栓与所述第三螺栓孔和所述第四螺栓孔配合使用。5.根据权利要求2所述的用于调节晶振探头角度的装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：李梦洁，赵志国，赵东明，秦校军，冯笑丹，刘家梁，熊继光，
申请(专利权)人：华能新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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