一种真空下金属蒸汽流量控制装置及其控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种真空下金属蒸汽流量控制装置及其控制方法，包括阀体、智能控制器和PLC；所述阀体上设有金属蒸汽入口管道、金属蒸汽出口管道，所述金属蒸汽入口管道和所述金属蒸汽出口管道连通；所述阀体内开设有内孔，所述内孔与所述金属蒸汽入口管道、所述金属蒸汽出口管道连通，所述内孔中有阀芯；所述阀体内设有加热系统和测温系统；所述阀体顶部设有与所述阀芯相连的阀芯位移控制系统，用以控制所述阀芯在所述内孔中的位移；所述智能控制器用以接受加热系统、测温系统和阀芯位移控制系统的数据，并输出结果至所述PLC，所述PLC控制所述阀芯位移控制系统运行。本发明专利技术实现金属蒸汽精确调节和开关，有利于提高真空镀膜质量和工艺顺行。艺顺行。艺顺行。

【技术实现步骤摘要】
一种真空下金属蒸汽流量控制装置及其控制方法


[0001]本专利技术涉及真空镀膜技术，更具体地说，涉及一种真空下金属蒸汽流量控制装置及其控制方法。

技术介绍

[0002]物理气相沉积技术是当前广泛应用的材料表面处理技术，在真空环境中将金属、合金或化合物进行蒸发，形成的金属蒸汽在基板上凝固沉积。采用该技术对材料表面进行镀膜，镀层具有较好的耐磨性、耐腐蚀性、硬度和干润性，可显著提高材料性能和使用寿命。采用该技术进行镀膜处理，无“三废”产生，对环境无污染。该技术在机械、电子、五金、航空航天、化工等材料领域得到广泛应用，成为绿色制造的一项重要应用技术。
[0003]在物理气相沉积技术应用中，镀层材料有多种，如锌、铝、镁、铬等，镀膜速度一般较快，通常可达1～3m/s，为了得到较好的镀层表面质量和喷镀效果，要求喷镀过程的金属蒸汽流量和压力保持相对恒定。另外，对于不同的材料，镀层厚度要求不同，为了得到合理的镀层厚度，通过设置待镀材料的运行速度，实现镀层厚度和蒸发量的工艺匹配。但是，当待喷镀产线出现异常情况时，已经蒸发出的金属蒸汽无法关闭，蒸发出的金属蒸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空下金属蒸汽流量控制装置，其特征在于：包括阀体、智能控制器和PLC；所述阀体上设有金属蒸汽入口管道、金属蒸汽出口管道，所述金属蒸汽入口管道和所述金属蒸汽出口管道在所述阀体内部连通；所述阀体内开设有内孔，所述内孔与所述金属蒸汽入口管道、所述金属蒸汽出口管道均连通，所述内孔中设有阀芯；所述阀体内设有加热系统和测温系统，所述加热系统用以对所述阀体进行加热，所述测温系统用以测量所述阀体的温度，并将测得温度信号反馈至所述加热系统中，实现温度闭环控制；所述阀体的顶部设有与所述阀芯相连的阀芯位移控制系统，用以控制所述阀芯在所述内孔中的位移，实现对所述金属蒸汽入口管道和所述金属蒸汽出口管道的启闭控制；所述智能控制器用以接受加热系统、测温系统和阀芯位移控制系统的数据，并进行计算输出结果至所述PLC，由所述PLC控制所述阀芯位移控制系统的运行。2.如权利要求1所述的真空下金属蒸汽流量控制装置，其特征在于：所述金属蒸汽出口管道设于所述阀体的侧面，所述金属蒸汽入口管道设于所述阀体的底部或侧面。3.如权利要求2所述的真空下金属蒸汽流量控制装置，其特征在于：所述加热系统包括1～6个阀体加热器，和/或所述测温系统的数量与所述加热系统的数量一致。4.如权利要求1所述的真空下金属蒸汽流量控制装置，其特征在于：所述阀芯位移控制系统包括设于所述阀体顶部的平台高度调节器，所述平台高度调节器上设有安装平台，所述安装平台上设有阀芯升降控制器，所述阀芯升降控制器通过阀芯传动杆与所述阀芯相连；所述阀芯传动杆的上方具有位移传感器。5.如权利要求4所述的真空下金属蒸汽流量控制装置，其特征在于：所述内孔垂直向设于所述阀体内，所述阀芯的尾部位于所述阀体的顶部，和/或所述阀体与所述阀芯的接触面上设有应变片,和/或所述内孔与所述阀芯的接触面上设有多道密封槽，所述密封槽内设有陶瓷纤维棉。6.一种真空下金属蒸汽流量控制方法，其特征在于，包括以下步骤：1)设定如权利要求1-5任一项所述的真空下金属蒸汽流量控制装置中的所述阀芯的位置参数，和所述阀体的加热温度T
a
；2)启动所述加热系统，所述阀体的温度数据实时传输至所述智能控制器，当所述阀体加热至设定温度时，所述智能控制器...

【专利技术属性】
技术研发人员：金小礼，周月明，李山青，熊斐，汪义如，任三兵，
申请(专利权)人：宝山钢铁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：