一种TFT-LCD玻璃基板双面镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种TFT

【技术实现步骤摘要】
一种TFT
‑
LCD玻璃基板双面镀膜装置


[0001]本技术涉及玻璃镀膜涂层加工
，尤其涉及一种TFT
‑
LCD玻璃基板双面镀膜装置。

技术介绍

[0002]在玻璃上进行镀膜的方式现常采用溅射法进行加工，其中射频激射法能同时实现对两面进行加工，溅射法是使等离子体气氛中的离子朝着根据要在处理基板表面上成膜的膜的组成制作成规定形状的靶加速冲击，使靶原子飞散，从而在处理基板表面上形成薄膜。该情形下，通过直流电源或交流电源等溅射电源给作为阴极电极的靶施加电压，使得在阴极电极和阳极电极或接地电极之间产生辉光放电，从而形成等离子体气氛，尤其是采用交流电源时，通过施加反相的电压抵消掉在阴极表面上累积的电荷，得到稳定的放电；在真空腔内设置一对靶，通过交流电源按照规定的频率交替改变极性地给该对靶施加电压，将各个靶交替切换为阳极电极、阴极电极，使得在阳极电极和阴极电极之间产生辉光放电，从而形成等离子体气氛，对各个靶进行溅射。
[0003]在溅射贯穿中离子会向两侧移动，当电极面距离过近时，离子在移动过程中的路途较短，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TFT
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LCD玻璃基板双面镀膜装置，包括设置有溅射部件的真空加工室(1)，其特征在于，所述溅射部件包括真空泵(2)、带有射频发生器的高压电源(3)、溅射气体输送管(4)、射频溅射靶(5)和基座(6)，所述真空泵(2)与溅射气体输送管(4)均与真空加工室(1)连通，所述真空加工室(1)底部设置有支撑座(7)，所述支撑座(7)内设置有液压缸(8)，所述液压缸(8)输出端通过支撑板连接有真空密封盖(9)，所述真空密封盖(9)通过伸缩支架与基座(6)连接。2.根据权利要求1所述的一种TFT
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LCD玻璃基板双面镀膜装置，其特征在于，所述基座(6)底部设置有呈密集设置的加热电阻层(10)。3.根据权利要求1所述的一种TFT
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LCD玻璃基板双面镀膜装置，其特征在于，所述伸缩支架包括与真空密封盖(9)转动连接的多个底部支杆(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：江涛，胡凡，轩吉超，刘思亮，
申请(专利权)人：孟州市康耀电子有限公司，
类型：新型
国别省市：